ISO 3529-3:2014

NORME ISO
INTERNATIONALE 3529-3
Deuxième édition
2014-04-15
Technique du vide — Vocabulaire —
Partie 3:
Manomètres de pression totale et
analyseurs de pressions partielles
Vacuum technology — Vocabulary —
Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
Numéro de référence
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ISO 2014
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
1 Domaine d’application . 1
2 Termes et définitions . 1
2.1 Termes généraux . 1
2.2 Catégories générales de manomètres à vide . 2
2.3 Caractéristique des manomètres à vide . 2
2.4 Manomètres de pression totale . 3
2.5 Analyseurs de pressions partielles . 7
Annexe A (informative) Diagramme arborescent des manomètres de pression totale .9
Bibliographie .10
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/CEI, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2, www.iso.
org/directives.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant les
références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de l’élaboration
du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou sur la liste ISO des déclarations de brevets reçues,
www.iso.org/patents.
Les éventuelles appellations commerciales utilisées dans le présent document sont données pour
information à l’intention des utilisateurs et ne constituent pas une approbation ou une recommandation.
Pour une explication de la signification des termes et expressions spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de
la conformité, aussi bien que pour des informations au-sujet de l’adhésion de l’ISO aux principes de l’OMC
concernant les obstacles techniques au commerce (OTC) voir le lien suivant: Foreword – Supplementary
information.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 112, Technique du vide.
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (ISO 3529-3:1981), qui a fait l’objet d’une
révision technique afin d’intégrer les termes actuels communs des manomètres à vide et de s’adapter
aux termes des nouveaux développements et aux termes généralement utilisés dans les publications.
L’ISO 3529 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Technique du vide —
Vocabulaire:
— Partie 1: Termes généraux
— Partie 2: Pompes à vide et des termes associés
— Partie 3: Manomètres de pression totale et analyseurs de pressions partielles
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NORME INTERNATIONALE ISO 3529-3:2014(F)
Technique du vide — Vocabulaire —
Partie 3:
Manomètres de pression totale et analyseurs de pressions
partielles
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 3529 donne les définitions des manomètres de pression totale et des
analyseurs de pressions partielles. Elle fait suite à l’ISO 3529-1, qui définit les termes généraux utilisés
en technique du vide, et à l’ISO 3529-2, qui donne les définitions des pompes à vide et les termes associés.
La présente partie définit les termes relatifs aux manomètres dont l’utilité s’est autrefois révélée ou se
révèle actuellement être essentielle, aux manomètres généralement disponibles dans le commerce ou
(aux manomètres) dont le principe physique revêt encore aujourd’hui un caractère important.
2 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s’appliquent.
NOTE Un diagramme arborescent des manomètres de pression totale est illustré en Figure A.1.
2.1 Termes généraux
2.1.1
manomètre
instrument de mesure d’une pression de gaz ou de vapeur, qu’elle soit supérieure, égale ou inférieure à
la pression de l’atmosphère ambiante
2.1.2
manomètre à vide
instrument destiné à mesurer des pressions de gaz ou de vapeurs inférieures à la pression de l’atmosphère
ambiante
Note 1 à l’article: Un manomètre à vide forme un sous-ensemble d’un manomètre.
Note 2 à l’article: Certains types de manomètres à vide habituellement utilisés ne mesurent pas véritablement une
pression (au sens d’une force s’exerçant sur une surface) mais une autre grandeur physique qui, dans certaines
conditions particulières, dépend de la pression.
2.1.2.1
capteur
partie de l’appareil qui est raccordée directement à l’enceinte à
vide et qui contient l’élément sensible à la pression
2.1.2.1.1
capteur inséré
capteur sans une enveloppe propre
Note 1 à l’article: Dans ce cas, l’élément sensible est inséré directement dans l’enceinte à vide.
2.1.2.2
unité de contrôle
régulateur
partie de l’appareil comprenant l’alimentation et les circuits
électriques qui permettent le fonctionnement du manomètre
2.1.2.2.1
indicateur
unité d’affichage
partie de l’appareil comprenant le dispositif de lecture,
habituellement gradué en unités de pression
2.2 Catégories générales de manomètres à vide
2.2.1
manomètre différentiel
manomètre à vide mesurant la différence des pressions qui s’exercent simultanément des deux côtés
d’un élément sensible séparateur, par exemple une membrane élastique (diaphragme) ou un liquide
mobile
2.2.2
manomètre absolu
manomètre à vide grâce auquel la pression peut être déterminée uniquement à l’aide des résultats de
mesurage de grandeurs physiques
2.2.3
manomètre de pression totale
manomètre à vide mesurant la pression totale d’un gaz ou d’un mélange gazeux
2.2.4
manomètre de pressions partielles
analyseur de pressions partielles
manomètre à vide mesurant les courants dérivés des constituants ionisés d’un mélange gazeux
Note 1 à l’article: Ces courants représentent des pressions partielles dont les constantes de proportionnalité
diffèrent d’un constituant à l’autre.
Note 2 à l’article: Quelque fois, ce manomètre est, parfois désigné «analyseur de gaz résiduel». Comme ce terme
caractérise une seule des diverses applications des analyseurs des de pressions partielles, il est recommandé de
ne pas l’utiliser.
2.3 Caractéristique des manomètres à vide
2.3.1
étendue de mesurage
étendue entre une pression minimale et une pression maximale dans laquelle
l’indication du manomètre se situe dans les limites d’incertitude de mesure spécifiées
Note 1 à l’article: Pour certains types de manomètres, cette étendue dépend de la nature du gaz. Dans ce cas,
l’étendue de mesurage pour l’azote doit toujours être spécifiée.
2.3.2
Sensibilité
coefficient de sensibilité
quotient de la variation du signal du manomètre à vide par la
variation correspondante de la pression et, le cas échéant, par des paramètres ne dépendant pas de la
pression
Note 1 à l’article: Pour certains types de manomètres, la sensibilité dépend de la nature du gaz. Dans ce cas, la
sensibilité pour l’azote doit toujours être spécifiée.
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2.3.3
facteur de sensibilité relative
rapport de la sensibilité du manomètre pour ce gaz à la
sensibilité pour l’azote, pour une même pression et dans les mêmes conditions de fonctionnement
2.3.4
sensibilité à l’ionisation
quotient de la variation du courant d’ions par la variation correspondante de la
pression
2.3.5
pression équivalente d’azote
pression d’azote qui donnerait le même résultat de
mesurage
2.3.6
limite due aux rayons X
pression d’azote pur qui donnerait, en l’absence de rayons X, le
même résultat de mesurage que le courant résiduel dû aux photo-électrons émis principalement par le
collecteur d’ions
Note 1 à l’article: Pour les manomètres à ionisation avec décharge par champs électrique et magnétique croisés, la
limite due aux rayons X est généralement négligeable.
2.4 Manomètres de pression totale
2.4.1 Manomètres à vide basés sur des phénomènes mécaniques
2.4.1.1
manomètre à liquide
manomètre différentiel absolu, habituellement un tube en U, dans lequel l’élément sensible est un liquide
(par exemple, du mercure) utilisé comme élément séparateur mobile
Note 1 à l’article: La différence de pression est déterminée par le mesurage des niveaux de liquide
2.4.1.2
manomètre à déformation
manomètre à vide différentiel dont l’élément séparateur est un élément élastique
EXEMPLE Manomètre de Bourdon, manomètre à membrane, manomètre capacitif à membrane, etc.
Note 1 à l’article: On peut déterminer la différence de pression soit par mesurage du déplacement de l’élément
élastique (méthode directe), soit par mesurage de la force nécessaire pour compenser ce déplacement (méthode
du zéro).
2.4.1.2.1
manomètre de Bourdon
manomètre à déformation dont l’élément élastique est un tube en forme de spirale ou d’hélice
2.4.1.2.2
manomètre à diaphragme
manomètre à membrane
manomètre à déformation dont l’élément élastique est une membrane qui change de forme lorsqu’elle
est soumise à une différence de pression
EXEMPLE Un exemple est un manomètre piézorésistif dans lequel la force exercée sur la membrane est
mesurée par un élément piézoélectrique. Un autre exemple est le manomètre capacitif à membrane (2.4.1.2.3) et le
manomètre à silicium résonant.
2.4.1.2.3
manomètre capacitif à membrane
manomètre à membrane dans lequel la membrane fait partie d’un condensateur
Note 1 à l’article: Un manomètre capacitif à membrane est aussi parfois appelé un « manomètre capacitif ».
2.4.1.3
manomètre à compression
manomètre de McLeod
manomètre à vide dans lequel on prélève un volume connu de gaz à la pression que I’on doit mesurer
et on Ie comprime dans un rapport connu, par exemple par Ie déplacement d’une colonne de liquide
(habituellement du mercure). La pression plus élevée ainsi obtenue est alors mesurée
Note 1 à l’article: Si cette pression finale est mesurée par un manomètre à liquide, le manomètre à compression
est absolu pour un gaz qui satisfait à la loi des gaz parfaits.
2.4.1.4
balance de p
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