IEC 62047-41:2021

IEC 62047-41 ®
Edition 1.0 2021-06
INTERNATIONAL
STANDARD
NORME
INTERNATIONALE
colour
inside
Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 41: RF MEMS circulators and isolators

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 41: Circulateurs et isolateurs à MEMS RF

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Part 41: RF MEMS circulators and isolators

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –

Partie 41: Circulateurs et isolateurs à MEMS RF

INTERNATIONAL
ELECTROTECHNICAL
COMMISSION
COMMISSION
ELECTROTECHNIQUE
INTERNATIONALE
ICS 31.080.99 ISBN 978-2-8322-9886-2

– 2 – IEC 62047-41:2021 © IEC 2021
CONTENTS
FOREWORD . 5
1 Scope . 7
2 Normative references . 7
3 Terms and definitions . 7
3.1 General terms . 8
3.2 RF characteristics parameters . 8
4 Essential ratings and characteristics . 9
4.1 Identification and types . 9
4.2 Application and specification description . 9
4.3 Limiting values and operating conditions . 10
4.4 RF characteristics . 10
4.5 Reliability characteristics . 10
4.6 Additional information . 11
5 Measuring methods . 11
5.1 General . 11
5.1.1 General precautions . 11
5.1.2 Characteristic impedance . 11
5.1.3 Measurement procedure . 11
5.1.4 Handling precautions . 12
5.2 Insertion loss (L ) . 12
ins
5.2.1 Purpose . 12
5.2.2 Circuit diagram . 12
5.2.3 Principle of measurement . 15
5.2.4 Precautions to be observed . 15
5.2.5 Measurement procedure . 15
5.2.6 Specified conditions . 16
5.3 Isolation (L ) . 17
iso
5.3.1 Purpose . 17
5.3.2 Circuit diagram . 17
5.3.3 Principle of measurement . 17
5.3.4 Precautions to be observed . 18
5.3.5 Measurement procedure . 18
5.3.6 Specified conditions . 19
5.4 Return loss (L ) . 19
ret
5.4.1 Purpose . 19
5.4.2 Circuit diagram . 19
5.4.3 Principle of measurement . 19
5.4.4 Precautions to be observed . 20
5.4.5 Measurement procedure . 20
5.4.6 Specified conditions . 21
5.5 Voltage standing wave ratio (VSWR) (optional) . 21
5.5.1 Purpose . 21
5.5.2 Circuit diagram . 21
5.5.3 Principle of measurement . 21
5.5.4 Precautions to be observed . 22
5.5.5 Measurement procedure . 22

5.5.6 Specified conditions . 23
5.6 Input impedance (Z ) (optional) . 23
in
5.6.1 Purpose . 23
5.6.2 Circuit diagram . 23
5.6.3 Principle of measurement . 23
5.6.4 Precautions to be observed . 24
5.6.5 Measurement procedure . 24
5.6.6 Specified conditions . 25
5.7 Magnetic leakage (optional) . 25
5.7.1 Purpose . 25
5.7.2 System diagram . 25
5.7.3 Principle of measurement . 26
5.7.4 Precautions to be observed . 26
5.7.5 Measurement procedure . 26
5.7.6 Specified conditions . 26
6 Reliability (performance) test . 26
6.1 General . 26
6.2 Power handling capability . 27
6.3 Life time . 27
6.4 Operating temperature . 27
6.5 Shock testing . 27
6.6 Vibration testing . 28
6.7 Bond/Solder shear testing . 28
Annex A (informative) General description of circulators and isolators . 29
Bibliography . 32

Figure 1 – Terminals of RF MEMS circulators . 9
Figure 2 – RF MEMS isolator with terminated load .
...