ISO 14644-16:2019
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments — Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
This document gives guidance and recommendations for optimizing energy usage and maintaining energy efficiency in new and existing cleanrooms, clean zones and separative devices. It provides guidance for the design, construction, commissioning and operation of cleanrooms. This document covers all cleanroom-specific features and can be used in different areas to optimize energy use in electronic, aerospace, nuclear, pharmaceutical, hospital, medical device, food industries and other clean air applications. It also introduces the concept of benchmarking for the performance assessment and comparison of cleanroom energy efficiencies, while maintaining performance levels to ISO 14644 requirements[2][3].
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 16: Efficacité énergétique dans les salles propres et les dispositifs séparatifs
Le présent document donne des lignes directrices et recommandations relatives à l'optimisation de la consommation énergétique et au maintien de l'efficacité énergétique dans les salles propres nouvelles et existantes, les zones propres et les dispositifs séparatifs. Il fournit des recommandations relatives à la conception, la construction, la mise en service et l'exploitation des salles propres. Il couvre toutes les caractéristiques spécifiques aux salles propres et peut être utilisé dans différents domaines pour optimiser l'usage énergétique dans les industries électronique, aérospatiale, nucléaire, pharmaceutique, établissements de santé, des dispositifs médicaux et agroalimentaires, ainsi que dans d'autres applications à air propre. Il intègre également le concept d'analyse comparative des performances pour l'évaluation des performances et la comparaison des efficacités énergétiques des salles propres, tout en maintenant les niveaux de performance aux exigences de l'ISO 14644[2][3].
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INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-16
First edition
2019-05
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 16:
Energy efficiency in cleanrooms and
separative devices
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 16: Efficacité énergétique dans les salles propres et les
dispositifs séparatifs
Reference number
©
ISO 2019
© ISO 2019
All rights reserved. Unless otherwise specified, or required in the context of its implementation, no part of this publication may
be reproduced or utilized otherwise in any form or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting
on the internet or an intranet, without prior written permission. Permission can be requested from either ISO at the address
below or ISO’s member body in the country of the requester.
ISO copyright office
CP 401 • Ch. de Blandonnet 8
CH-1214 Vernier, Geneva
Phone: +41 22 749 01 11
Fax: +41 22 749 09 47
Email: copyright@iso.org
Website: www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2019 – All rights reserved
Contents Page
Foreword .v
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 General terms . 1
3.2 Terms related to installation . 3
3.3 Terms related to energy efficiency . . 4
3.5 Abbreviated terms . 4
4 Energy reduction evaluation and implementation process . 5
4.1 General . 5
4.2 New or existing cleanrooms . 6
4.3 Energy performance comparison . 7
4.3.1 General. 7
4.3.2 Compare energy performance . 7
4.3.3 Determine the business case . 7
4.3.4 Monitor and review . 7
4.4 Existing cleanroom retrofit or renovation . 7
4.5 Process for existing cleanrooms . 8
4.5.1 Select project team . 8
4.5.2 Review user requirements and project scope . 8
4.5.3 Collate information on cleanroom performance criteria . 9
4.6 Process for design/construction of new build or updating cleanrooms . 9
4.6.1 Review user requirements and project scope . 9
4.6.2 Undertake energy performance design review . 9
4.7 Comparative review of cleanroom environmental performance . 9
4.8 Identify energy reduction opportunities .10
4.9 Assess the impact of energy reduction opportunities .10
4.10 Select energy reduction opportunities for implementation .10
4.11 Implementation .10
4.12 Monitor, review and feedback .11
4.13 Decommissioning .11
5 Impact of user requirement specification (URS) on energy consumption .11
5.1 Principle .11
5.2 Garment levels .11
6 Airflow volume and compensating factors .12
6.1 Fresh air supply .12
6.2 Airflow volume rate .12
6.3 Source strength and airflow rate calculation for non-unidirectional rooms .12
6.3.1 Determining air volume flow rate .12
6.3.2 Ventilation effectiveness index .13
6.3.3 Compensation factors (C ) .13
f
6.4 Flexible procedure for airflow rate estimation in non-UDAF rooms.14
6.4.1 General.14
6.4.2 Design stage .14
6.4.3 Testing stage .15
6.4.4 Operational stage .15
6.5 Air velocity reduction for unidirectional air flow systems. .15
7 Power management: turn-down, turn-off and recovery. .15
7.1 Turn-down .15
7.2 Turn-off .16
8 Adaptive control .16
9 Heating and cooling loads .17
10 Fan and filter selection .17
10.1 Air movement fans .17
10.2 Selection of air filters .17
11 Lighting levels .18
12 Training .18
13 Operation .18
14 Maintenance .19
15 Decommissioning .20
Annex A (informative) Source strength: Air volume and worked example .21
Annex B (informative) Energy saving opportunities .26
Annex C (informative) Impact assessment .32
Annex D (informative) Benchmarking: Energy performance indicators for cleanrooms .33
Annex E (informative) Useful measures to minimize excess heating and cooling losses or gains .38
Annex F (informative) Critical area reduction example .40
Bibliography .42
iv © ISO 2019 – All rights reserved
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified d
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2019-05
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 16:
Energy efficiency in cleanrooms and
separative devices
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 16: Efficacité énergétique dans les salles propres et les
dispositifs séparatifs
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Foreword .v
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 General terms . 1
3.2 Terms related to installation . 3
3.3 Terms related to energy efficiency . . 4
3.5 Abbreviated terms . 4
4 Energy reduction evaluation and implementation process . 5
4.1 General . 5
4.2 New or existing cleanrooms . 6
4.3 Energy performance comparison . 7
4.3.1 General. 7
4.3.2 Compare energy performance . 7
4.3.3 Determine the business case . 7
4.3.4 Monitor and review . 7
4.4 Existing cleanroom retrofit or renovation . 7
4.5 Process for existing cleanrooms . 8
4.5.1 Select project team . 8
4.5.2 Review user requirements and project scope . 8
4.5.3 Collate information on cleanroom performance criteria . 9
4.6 Process for design/construction of new build or updating cleanrooms . 9
4.6.1 Review user requirements and project scope . 9
4.6.2 Undertake energy performance design review . 9
4.7 Comparative review of cleanroom environmental performance . 9
4.8 Identify energy reduction opportunities .10
4.9 Assess the impact of energy reduction opportunities .10
4.10 Select energy reduction opportunities for implementation .10
4.11 Implementation .10
4.12 Monitor, review and feedback .11
4.13 Decommissioning .11
5 Impact of user requirement specification (URS) on energy consumption .11
5.1 Principle .11
5.2 Garment levels .11
6 Airflow volume and compensating factors .12
6.1 Fresh air supply .12
6.2 Airflow volume rate .12
6.3 Source strength and airflow rate calculation for non-unidirectional rooms .12
6.3.1 Determining air volume flow rate .12
6.3.2 Ventilation effectiveness index .13
6.3.3 Compensation factors (C ) .13
f
6.4 Flexible procedure for airflow rate estimation in non-UDAF rooms.14
6.4.1 General.14
6.4.2 Design stage .14
6.4.3 Testing stage .15
6.4.4 Operational stage .15
6.5 Air velocity reduction for unidirectional air flow systems. .15
7 Power management: turn-down, turn-off and recovery. .15
7.1 Turn-down .15
7.2 Turn-off .16
8 Adaptive control .16
9 Heating and cooling loads .17
10 Fan and filter selection .17
10.1 Air movement fans .17
10.2 Selection of air filters .17
11 Lighting levels .18
12 Training .18
13 Operation .18
14 Maintenance .19
15 Decommissioning .20
Annex A (informative) Source strength: Air volume and worked example .21
Annex B (informative) Energy saving opportunities .26
Annex C (informative) Impact assessment .32
Annex D (informative) Benchmarking: Energy performance indicators for cleanrooms .33
Annex E (informative) Useful measures to minimize excess heating and cooling losses or gains .38
Annex F (informative) Critical area reduction example .40
Bibliography .42
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Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/directives).
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patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
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NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-16
Première édition
2019-05
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 16:
Efficacité énergétique dans les salles
propres et les dispositifs séparatifs
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
Numéro de référence
©
ISO 2019
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
© ISO 2019
Tous droits réservés. Sauf prescription différente ou nécessité dans le contexte de sa mise en œuvre, aucune partie de cette
publication ne peut être reproduite ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie, ou la diffusion sur l’internet ou sur un intranet, sans autorisation écrite préalable. Une autorisation peut
être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 401 • Ch. de Blandonnet 8
CH-1214 Vernier, Genève
Tél.: +41 22 749 01 11
Fax: +41 22 749 09 47
E-mail: copyright@iso.org
Web: www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2019 – Tous droits réservés
Sommaire Page
Avant-propos .v
Introduction .vi
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Termes généraux . 1
3.2 Termes relatifs à l’installation . 3
3.3 Termes relatifs à l’efficacité énergétique. 4
3.4 Termes abrégés . 5
4 Évaluation de la réduction d’énergie et processus de mise en œuvre .5
4.1 Généralités . 5
4.2 Salles propres nouvelles ou existantes . 6
4.3 Comparaison de la performance énergétique . 7
4.3.1 Généralités . 7
4.3.2 Comparer la performance énergétique . 7
4.3.3 Détermination de l’analyse de rentabilité . 7
4.3.4 Surveillance et examen . 7
4.4 Rénovation ou modernisation d’une salle propre existante . 7
4.5 Processus pour des salles propres existantes . 8
4.5.1 Sélection de l’équipe de projet . 8
4.5.2 Examen des exigences de l’utilisateur et du périmètre du projet . 8
4.5.3 Collecte des informations sur les critères de performance de la salle propre . 9
4.6 Processus de conception/construction de nouvelles salles propres et de salles
propres existantes en cours de rénovation . 9
4.6.1 Examen des exigences de l’utilisateur et du périmètre du projet . 9
4.6.2 Examen de la conception au regard de la performance énergétique . 9
4.7 Analyse comparative des performances environnementales de la salle propre . 9
4.8 Identification des opportunités de réduction d’énergie .10
4.9 Évaluation de l’impact des opportunités de réduction d’énergie .10
4.10 Sélection des opportunités de réduction d’énergie pour mise en œuvre .10
4.11 Mise en œuvre.11
4.12 Surveillance, examen et retour d’expérience .11
4.13 Mise hors service .11
5 Impact de la spécification relative aux exigences de l’utilisateur (URS) sur la
consommation énergétique .11
5.1 Principe .11
5.2 Niveaux de protection des tenues.12
6 Volume d’air et facteurs de compensation .12
6.1 Soufflage d’air neuf .12
6.2 Débit d’air soufflé .12
6.3 Calcul de l’intensité de la source des émissions et du débit d’air pour les salles non
unidirectionnelles .13
6.3.1 Détermination du débit d’air soufflé .13
6.3.2 Indice d’efficacité de la ventilation .13
6.3.3 Facteurs de compensation (C ) .13
f
6.4 Mode opératoire flexible d’estimation du débit d’air dans des salles FANUD .14
6.4.1 Généralités .14
6.4.2 Étape de conception .15
6.4.3 Étape d’essais.15
6.4.4 Étape de fonctionnement .15
6.5 Réduction de la vitesse de l’air pour les systèmes à flux d’air unidirectionnel .15
7 Gestion de la puissance électrique: régime réduit, arrêt et temps de récupération .16
7.1 Régime réduit .16
7.2 Arrêt .16
8 Régulation auto-adaptative .17
9 Apports de chauffage et de refroidissement .17
10 Sélection des ventilateurs et des filtres .17
10.1 Ventilateurs pour le transport de l’air .17
10.2 Sélection des filtres à air .18
11 Niveaux d’éclairage .18
12 Formation .18
13 Fonctionnement .19
14 Maintenance .20
15 Mise hors service .20
Annexe A (informative) Intensité de la source des émissions: volume d’air et exemple pratique .21
Annexe B (informative) Opportunités d’économies d’énergie .27
Annexe C (informative) Évaluation d’impact .34
Annexe D (informative) Analyse comparative des performances: indicateurs de
performance énergétique pour les salles propres .35
Annexe E (informative) Mesures utiles pour réduire autant que possible les pertes ou
apports excessifs de chaleur et de refroidissement .41
Annexe F (informative) Exemple de réduction de zone critique .43
Bibliographie .45
iv © ISO 2019 – Tous droits réservés
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents
critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
.iso .org/directives).
L'attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne s
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INTERNATIONALE 14644-16
Première édition
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Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 16:
Efficacité énergétique dans les salles
propres et les dispositifs séparatifs
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
Numéro de référence
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Tous droits réservés. Sauf prescription différente ou nécessité dans le contexte de sa mise en œuvre, aucune partie de cette
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être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 401 • Ch. de Blandonnet 8
CH-1214 Vernier, Genève
Tél.: +41 22 749 01 11
Fax: +41 22 749 09 47
E-mail: copyright@iso.org
Web: www.iso.org
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Avant-propos .v
Introduction .vi
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Termes généraux . 1
3.2 Termes relatifs à l’installation . 3
3.3 Termes relatifs à l’efficacité énergétique. 4
3.4 Termes abrégés . 5
4 Évaluation de la réduction d’énergie et processus de mise en œuvre .5
4.1 Généralités . 5
4.2 Salles propres nouvelles ou existantes . 6
4.3 Comparaison de la performance énergétique . 7
4.3.1 Généralités . 7
4.3.2 Comparer la performance énergétique . 7
4.3.3 Détermination de l’analyse de rentabilité . 7
4.3.4 Surveillance et examen . 7
4.4 Rénovation ou modernisation d’une salle propre existante . 7
4.5 Processus pour des salles propres existantes . 8
4.5.1 Sélection de l’équipe de projet . 8
4.5.2 Examen des exigences de l’utilisateur et du périmètre du projet . 8
4.5.3 Collecte des informations sur les critères de performance de la salle propre . 9
4.6 Processus de conception/construction de nouvelles salles propres et de salles
propres existantes en cours de rénovation . 9
4.6.1 Examen des exigences de l’utilisateur et du périmètre du projet . 9
4.6.2 Examen de la conception au regard de la performance énergétique . 9
4.7 Analyse comparative des performances environnementales de la salle propre . 9
4.8 Identification des opportunités de réduction d’énergie .10
4.9 Évaluation de l’impact des opportunités de réduction d’énergie .10
4.10 Sélection des opportunités de réduction d’énergie pour mise en œuvre .10
4.11 Mise en œuvre.11
4.12 Surveillance, examen et retour d’expérience .11
4.13 Mise hors service .11
5 Impact de la spécification relative aux exigences de l’utilisateur (URS) sur la
consommation énergétique .11
5.1 Principe .11
5.2 Niveaux de protection des tenues.12
6 Volume d’air et facteurs de compensation .12
6.1 Soufflage d’air neuf .12
6.2 Débit d’air soufflé .12
6.3 Calcul de l’intensité de la source des émissions et du débit d’air pour les salles non
unidirectionnelles .13
6.3.1 Détermination du débit d’air soufflé .13
6.3.2 Indice d’efficacité de la ventilation .13
6.3.3 Facteurs de compensation (C ) .13
f
6.4 Mode opératoire flexible d’estimation du débit d’air dans des salles FANUD .14
6.4.1 Généralités .14
6.4.2 Étape de conception .15
6.4.3 Étape d’essais.15
6.4.4 Étape de fonctionnement .15
6.5 Réduction de la vitesse de l’air pour les systèmes à flux d’air unidirectionnel .15
7 Gestion de la puissance électrique: régime réduit, arrêt et temps de récupération .16
7.1 Régime réduit .16
7.2 Arrêt .16
8 Régulation auto-adaptative .17
9 Apports de chauffage et de refroidissement .17
10 Sélection des ventilateurs et des filtres .17
10.1 Ventilateurs pour le transport de l’air .17
10.2 Sélection des filtres à air .18
11 Niveaux d’éclairage .18
12 Formation .18
13 Fonctionnement .19
14 Maintenance .20
15 Mise hors service .20
Annexe A (informative) Intensité de la source des émissions: volume d’air et exemple pratique .21
Annexe B (informative) Opportunités d’économies d’énergie .27
Annexe C (informative) Évaluation d’impact .34
Annexe D (informative) Analyse comparative des performances: indicateurs de
performance énergétique pour les salles propres .35
Annexe E (informative) Mesures utiles pour réduire autant que possible les pertes ou
apports excessifs de chaleur et de refroidissement .41
Annexe F (informative) Exemple de réduction de zone critique .43
Bibliographie .45
iv © ISO 2019 – Tous droits réservés
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents
critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
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L'attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne s
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