ISO 14644-8:2022
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Assessment of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Assessment of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
This document establishes typical assessment processes to determine grading levels of air chemical cleanliness (ACC) in cleanrooms and associated controlled environments, in terms of airborne concentrations of specific chemical substances (individual, group or category), and provides a protocol to include test methods, analysis and time-weighted factors for their determination. This document currently considers only concentrations of air chemical contaminants between 100 g/m3 and 10−12 g/m3 under cleanroom operational conditions. This document is not relevant for application in those industries, processes or productions where the presence of airborne chemical substances is not considered a risk to the product or process. It is not the intention of this document to describe the nature of air chemical contaminants. This document does not give a classification of surface chemical contamination.
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 8: Évaluation de la propreté chimique de l'air
Le présent document établit les processus types d’évaluation permettant de déterminer les niveaux de gradation de la propreté chimique de l’air (ACC) dans les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, en termes de concentrations aéroportées de substances chimiques spécifiques (individuelle, groupe ou catégorie), et fournit un protocole permettant d’intégrer les méthodes d’essai, l’analyse et les facteurs de pondération pour leur détermination. Le présent document ne prend actuellement en compte que les concentrations de contaminants chimiques dans l’air comprises entre 100 g/m3 et 10−12 g/m3 dans des conditions d’exploitation de salles propres. Le présent document ne s’applique pas aux secteurs industriels, aux procédés ou aux types de production où la présence de substances chimiques en suspension dans l’air n’est pas considérée comme un risque pour le produit ou le procédé. Le présent document ne vise pas à décrire la nature des contaminants chimiques dans l’air. Le présent document ne fournit pas de classification de la contamination chimique des surfaces.
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INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-8
Third edition
2022-06
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 8:
Assessment of air cleanliness by
chemical concentration (ACC)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 8: Évaluation de la propreté chimique de l'air
Reference number
© ISO 2022
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Published in Switzerland
ii
Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 General . 1
3.2 Contaminant categories . 2
4 Testing and monitoring using grading levels . 3
4.1 General . 3
4.2 ISO-ACC descriptor format . 3
5 Demonstration of compliance with an ISO-ACC level . 5
5.1 Principle . 5
5.2 Testing . 5
5.3 Test report . 6
Annex A (informative) Parameters for consideration . 7
Annex B (informative) Typical contaminants .11
Annex C (informative) Typical methods of measurement .15
Annex D (informative) Consideration of specific requirements for separative devices .19
Bibliography .21
iii
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and
expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to
the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see
www.iso.org/iso/foreword.html.
This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled
environments, in collaboration with the European Committee for Standardization (CEN) Technical
Committee CEN/TC 243, Cleanroom technology, in accordance with the Agreement on technical
cooperation between ISO and CEN (Vienna Agreement).
This third edition cancels and replaces the second edition (ISO 14644-8:2013), of which it constitutes a
minor revision. The changes are as follows:
— the term class (classification, classified) changed to grade or assessment where appropriate;
— 3.1.2, definition revised;
— Bibliography updated;
— minor editorial changes.
A list of all parts in the ISO 14644 series can be found on the ISO website.
Any feedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A
complete listing of these bodies can be found at www.iso.org/members.html.
iv
Introduction
Cleanrooms and associated controlled environments provide for the control of airborne particulate
contamination to levels of cleanliness appropriate for accomplishing process activities sensitive to a
range of contaminants. Products and processes that benefit from the control of airborne contamination
include those in such industries as aerospace, microelectronics, pharmaceuticals, medical devices,
food, healthcare, optics, instrumentation, vacuum technology, coatings, photovoltaics, displays, LEDs,
coatings, automotive and surface analysis.
In some of these industries, the product or process can be sensitive to, or can be destroyed by, chemical
contamination resulting from chemicals that are present due to external, process or other generated
sources.
Within this document, the presence of chemicals is expressed as air chemical contamination. Chemical
contamination is a three-step event. The first step is generation due to external sources such as
process leakage, construction material, personnel or material outgassing. The second step is transport
as airborne chemical contamination. The third step is sorption on the sensitive surface, which can be
quantified as a surface chemical contamination.
The generating materials and the surfaces where sorption takes place will have a large influence on
the steps of generation and sorption in addition to the actual air contamination. Thus, for these two
steps, not only the contaminants but also the involved bulk and surfaces need to be defined. In order to
make a standard generally applicable to any type of cleanroom or associated controlled environment,
air chemical cleanliness (ACC) has been chosen for the level assessment.
This document assigns ISO grading levels to be used to specify the level of ACC within a cleanroom
and associated controlled environment, where the product or process is deemed to be at risk from air
chemical contamination.
For level assessment purposes, this document provides guidance for a range of ACC levels and provides
standard protocols for specifying such levels with regard to chemical compounds, methods of test and
analysis, and time weighted factors.
Annexes A to D contain the following information:
— parameters for consideration: Annex A;
— typical contaminating chemicals and substances: Annex B;
— typical methods of measurement and analysis: Annex C;
— considerations of specific requirements for separative devices: Annex D.
This document is one of a series of standards concerned with cleanrooms and contamination control.
Many factors besides ACC need to be considered in the design, specification, operation and control of
cleanrooms and other controlled environments. These features are recognized in this document and
covered in some detail in other parts of the International Standards prepared by ISO/TC 209, including
the ISO 14698 series. In some circumstances, relevant regulatory agencies can impose supplementary
policies or restrictions. In such situations, appropriate adaptations of this document can be required.
NOTE When assessment of ACC at critical control point(s) is used as an additional cleanliness attribute to
classification of air cleanliness by airborne particle concentration in accordance with ISO 14644-1, then the
space can be described as a cleanroom or clean-zone. If ACC is used alone, then the space must be described as a
controlled zone.
v
INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-8:2022(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 8:
Assessment of air cleanliness by chemical concentration
(ACC)
1 Scope
This document establishes typical assessment processes to determine grading levels of air chemical
cleanliness (ACC) in cleanrooms and associated controlled environments, in terms of airborne
concentrations of specific chemical substances (individual, group or category), and provides a protocol
to include test methods, analysis and time-weighted factors for their determination. This document
0 3 −12
currently considers only concentrations of air chemical contaminants between 10 g/m and 10 g/
m under cleanroom operational conditions.
This document is not relevant for application in those industries, processes or productions where the
presence of airborne chemical substances is not considered a risk to the product or process.
It is not the intention of this document to describe the nature of air chemical contaminants.
This document does not give a classification of surface chemical contamination.
2 Normative references
There are no normative references in this document.
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
ISO and IEC maintain terminology databases for use in standardization at the following addresses:
— ISO Online browsing platform: available at https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: available at https:// www .electropedia .org/
3.1 General
3.1.1
chemical contamination
non-particulate substances that can have a deleterious effect on the product, process or equipment
3.1.2
air cleanliness by chemical concentration
ACC
quantity of chemical detected in the air, expressed in terms of an ISO-ACC level N, which represents the
maximum allowable concentration of a given chemical species or a group of chemical species, expressed
in grams per cubic metre
Note 1 to entry: This definition does not include macromolecules of biological origin, which are judged to be
particles.
3.1.3
air chemical contamination
any substance in the air that can, by its chemical nature, adversely affect the product, process or
equipment
3.1.4
surface cleanliness by chemical concentration
SCC
condition of the surface cleanliness with respect to its chemical concentration
3.1.5
surface chemical contamination
any substance on the surface that can, by its chemical nature, adversely affect the product, process or
equipment
3.1.6
contaminant category
common name for a group of compounds with a specific and similar deleterious effect when deposited
on the surface of interest
3.1.7
outgassing
release of chemical substances in the gaseous or vapour state from a material
3.1.8
air cleanliness by chemical concentration level
grading number stating the maximum allowable concentration of a given chemical species or a group of
chemical species in grams per cubic metre
Note 1 to entry: The range of concentrations are defined in Table 1 or determined by the formula for N in 4.2.
Note 2 to entry: Testing and monitoring in accordance with this document is limited to the range from 0 (the
grade with the lowest cleanliness) to –12 (the cleanest level).
Note 3 to entry: The ACC grading number is only valid in connection with the ACC descriptor that specifies to
which chemical spec
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-8
Troisième édition
2022-06
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 8:
Évaluation de la propreté chimique de
l'air
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 8: Assessment of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
Numéro de référence
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Tous droits réservés. Sauf prescription différente ou nécessité dans le contexte de sa mise en œuvre, aucune partie de cette
publication ne peut être reproduite ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie, ou la diffusion sur l’internet ou sur un intranet, sans autorisation écrite préalable. Une autorisation peut
être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
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CH-1214 Vernier, Genève
Tél.: +41 22 749 01 11
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Web: www.iso.org
Publié en Suisse
ii
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Généralités . 1
3.2 Catégories de contaminants . 2
4 Essais et surveillance à l’aide des niveaux de gradation . 3
4.1 Généralités . 3
4.2 Format du descripteur ISO-ACC . 3
5 Démonstration de la conformité à un niveau ISO-ACC . 5
5.1 Principe . 5
5.2 Essais . 5
5.3 Rapport d’essai . 6
Annexe A (informative) Paramètres à prendre en compte . 7
Annexe B (informative) Contaminants types .11
Annexe C (informative) Méthodes de mesure types .14
Annexe D (informative) Exigences spécifiques à prendre en compte pour les dispositifs
séparatifs .18
Bibliographie .20
iii
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents
critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a
été rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir
www.iso.org/directives).
L'attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l'élaboration du document sont indiqués dans l'Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l'ISO (voir www.iso.org/brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions
spécifiques de l'ISO liés à l'évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l'adhésion
de l'ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles
techniques au commerce (OTC), voir www.iso.org/avant-propos.
Le présent document a été élaboré par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés, en collaboration avec le comité technique CEN/TC 243, Technologie des salles
propres, du Comité européen de normalisation (CEN) conformément à l’Accord de coopération technique
entre l’ISO et le CEN (Accord de Vienne).
Cette troisième édition annule et remplace la deuxième édition (ISO 14644-8:2013), dont elle constitue
une révision mineure. Les modifications sont les suivantes:
— modification du terme «classe» (classification, classé) en niveau ou évaluation, le cas échéant;
— révision de la définition en 3.1.2;
— mise à jour de la Bibliographie;
— modifications rédactionnelles mineures.
Une liste de toutes les parties de la série ISO 14644 se trouve sur le site web de l’ISO.
Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent
document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes
se trouve à l’adresse www.iso.org/fr/members.html.
iv
Introduction
Les salles propres et environnements maîtrisés apparentés permettent la maîtrise de la contamination
par les particules en suspension dans l’air à des niveaux de propreté appropriés à la conduite d’activités
de procédés sensibles à divers contaminants. Parmi les produits et les procédés qui bénéficient de cette
maîtrise de la contamination par les particules en suspension dans l’air figurent, entre autres, ceux
que l’on trouve dans des secteurs industriels tels que l’aérospatiale, la microélectronique, la pharmacie,
les dispositifs médicaux, l’agro-alimentaire, la santé, l’optique, l’instrumentation, la technologie sous
vide, les revêtements, les systèmes photovoltaïques, les écrans, les LEDs, l’automobile et l’analyse des
surfaces.
Dans certains de ces secteurs industriels, le produit ou le procédé peut être sensible à la contamination
chimique résultant des produits chimiques présents du fait de sources extérieures, des procédés ou
d’autres sources d’émissions, ou il peut même être détruit par elle.
Dans le présent document, la présence de produits chimiques est exprimée sous forme de contamination
chimique de l’air. Cette contamination chimique se produit en trois phases. La première phase est la
génération due à des sources extérieures telles que la fuite d’un procédé, un matériau de construction,
un dégazage de matériaux ou une émanation humaine. La deuxième phase est le transport dans l’air
sous forme de contamination chimique aéroportée. La troisième phase est la sorption sur la surface
sensible, laquelle est susceptible d’être quantifiée sous forme de contamination chimique des surfaces.
Outre la nature de la contamination de l’air, les matériaux générateurs et les surfaces sur lesquelles
intervient la sorption ont une grande influence sur les phases de génération et de sorption. Pour ces
deux phases, il est donc nécessaire de définir non seulement les contaminants, mais également le volume
et les surfaces des matériaux concernés. Dans l’objectif d’élaborer une norme pouvant s’appliquer d’une
manière générale à tous les types de salles propres ou d’environnements maîtrisés apparentés, la
propreté chimique de l’air (ACC) a été choisie pour l’évaluation du niveau de propreté.
Le présent document attribue des niveaux de gradation ISO à utiliser pour spécifier le niveau d’ACC
dans une salle propre et dans un environnement maîtrisé apparenté, lorsque le produit ou le procédé
est considéré comme menacé par la contamination chimique de l’air.
Pour les besoins de l’évaluation du niveau de propreté, le présent document fournit des recommandations
pour une plage de niveaux d’ACC et prévoit des protocoles normalisés pour spécifier ces niveaux en
termes de composés chimiques, de méthodes d’essai et d’analyse et de facteurs de pondération dans le
temps.
Les Annexes A à D comprennent les informations suivantes:
— les paramètres à prendre en compte: Annexe A;
— les produits chimiques et substances contaminants types: Annexe B;
— les méthodes types de mesure et d’analyse: Annexe C;
— les exigences spécifiques à prendre en compte pour les dispositifs séparatifs: Annexe D.
Le présent document fait partie d’une série de normes concernant les salles propres et la maîtrise
de la contamination. Outre l’ACC, il est nécessaire de prendre en considération bien d’autres facteurs
lors de la conception, de la spécification, de l’exploitation et de la maîtrise des salles propres et autres
environnements maîtrisés. Ces caractéristiques sont identifiées dans le présent document et sont
couvertes plus en détail dans d’autres parties des Normes internationales élaborées par l’ISO/TC 209,
incluant la série de normes ISO 14698. Dans certains cas, les autorités réglementaires compétentes
v
peuvent imposer des politiques ou des restrictions supplémentaires. Des adaptations appropriées du
présent document peuvent alors se révéler nécessaires.
NOTE Lorsque l’évaluation de l’ACC au(x) point(s) de contrôle critique(s) est utilisée comme attribut
de propreté supplémentaire à la classification de la propreté de l’air selon la concentration des particules en
suspension dans l’air conformément à l’ISO 14644-1, l’espace peut être décrit comme une salle propre ou une zone
propre. Si l’ACC est utilisée seule, alors l’espace doit être décrit comme une zone maîtrisée.
vi
NORME INTERNATIONALE ISO 14644-8:2022(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 8:
Évaluation de la propreté chimique de l'air
1 Domaine d’application
Le présent document établit les processus types d’évaluation permettant de déterminer les niveaux
de gradation de la propreté chimique de l’air (ACC) dans les salles propres et les environnements
maîtrisés apparentés, en termes de concentrations aéroportées de substances chimiques spécifiques
(individuelle, groupe ou catégorie), et fournit un protocole permettant d’intégrer les méthodes d’essai,
l’analyse et les facteurs de pondération pour leur détermination. Le présent document ne prend
actuellement en compte que les concentrations de contaminants chimiques dans l’air comprises entre
0 3 −12 3
10 g/m et 10 g/m dans des conditions d’exploitation de salles propres.
Le présent document ne s’applique pas aux secteurs industriels, aux procédés ou aux types de production
où la présence de substances chimiques en suspension dans l’air n’est pas considérée comme un risque
pour le produit ou le procédé.
Le présent document ne vise pas à décrire la nature des contaminants chimiques dans l’air.
Le présent document ne fournit pas de classification de la contamination chimique des surfaces.
2 Références normatives
Le présent document ne contient aucune référence normative.
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s’appliquent.
L’ISO et l’IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en
normalisation, consultables aux adresses suivantes:
— ISO Online browsing platform: disponible à l’adresse https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: disponi
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.