ISO 14644-3:2005
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
ISO 14644-3:2005 specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are specified for two types of cleanrooms and clean zones: those with unidirectional flow and those with non-unidirectional flow, in three possible occupancy states: as-built, at-rest and operational. ISO 14644-3:2005 is not applicable to the measurement of products or of processes in cleanrooms or separative devices.
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 3: Méthodes d'essai
L'ISO 14644-3:2005 spécifie des méthodes d'essai pour la classification de la propreté particulaire de l'air et pour caractériser les performances des salles propres et des zones propres. Des essais de performance sont spécifiés pour deux types de salles propres et de zones propres: des essais mettant en oeuvre un écoulement soit unidirectionnel, soit non unidirectionnel et dans trois états possibles d'occupation: après construction, au repos et en activité. L'ISO 14644-3:2005 ne s'applique pas au mesurage effectué sur des produits ou des procédés situés dans les salles propres ou dans les dispositifs séparatifs.
General Information
- Status
- Withdrawn
- Publication Date
- 05-Dec-2005
- Withdrawal Date
- 05-Dec-2005
- Technical Committee
- ISO/TC 209 - Cleanrooms and associated controlled environments
- Drafting Committee
- ISO/TC 209 - Cleanrooms and associated controlled environments
- Current Stage
- 9599 - Withdrawal of International Standard
- Start Date
- 30-Aug-2019
- Completion Date
- 13-Dec-2025
Relations
- Effective Date
- 22-Oct-2011
Frequently Asked Questions
ISO 14644-3:2005 is a standard published by the International Organization for Standardization (ISO). Its full title is "Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods". This standard covers: ISO 14644-3:2005 specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are specified for two types of cleanrooms and clean zones: those with unidirectional flow and those with non-unidirectional flow, in three possible occupancy states: as-built, at-rest and operational. ISO 14644-3:2005 is not applicable to the measurement of products or of processes in cleanrooms or separative devices.
ISO 14644-3:2005 specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are specified for two types of cleanrooms and clean zones: those with unidirectional flow and those with non-unidirectional flow, in three possible occupancy states: as-built, at-rest and operational. ISO 14644-3:2005 is not applicable to the measurement of products or of processes in cleanrooms or separative devices.
ISO 14644-3:2005 is classified under the following ICS (International Classification for Standards) categories: 13.040.35 - Cleanrooms and associated controlled environments. The ICS classification helps identify the subject area and facilitates finding related standards.
ISO 14644-3:2005 has the following relationships with other standards: It is inter standard links to ISO 14644-3:2019. Understanding these relationships helps ensure you are using the most current and applicable version of the standard.
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Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-3
First edition
2005-12-15
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 3:
Test methods
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 3: Méthodes d'essai
Reference number
©
ISO 2005
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Published in Switzerland
ii © ISO 2005 – All rights reserved
Contents Page
Foreword. iv
Introduction . v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions. 2
3.1 General. 2
3.2 Airborne particle measurement. 2
3.3 Air filters and systems . 4
3.4 Airflow and other physical states . 5
3.5 Electrostatic measurement. 5
3.6 Measuring apparatus and measuring conditions. 6
3.7 Occupancy states . 7
4 Test procedures . 8
4.1 Cleanroom tests. 8
4.2 Principle. 9
5 Test reports . 11
Annex A (informative) Choice of recommended tests of an installation and the sequence in which
to carry them out. 12
Annex B (informative) Test methods. 16
Annex C (informative) Test apparatus. 51
Bibliography . 64
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the
International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 14644-3 was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled
environements.
ISO 14644 consists of the following parts, under the general title Cleanrooms and associated controlled
environments:
⎯ Part 1: Classification of air cleanliness
⎯ Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1
⎯ Part 3: Test methods
⎯ Part 4: Design, construction and start-up
⎯ Part 5: Operations
⎯ Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)
⎯ Part 8: Classification of airborne molecular contamination
The following part is under preparation:
⎯ Part 6: Vocabulary
iv © ISO 2005 – All rights reserved
Introduction
Cleanrooms and associated controlled environments provide for the control of airborne contamination to levels
appropriate for accomplishing contamination-sensitive activities. Products and processes that benefit from the
control of airborne contamination include those in such industries as aerospace, microelectronics,
pharmaceuticals, medical devices, healthcare and food.
This part of ISO 14644 sets out test methods that may be used for the purpose of characterizing a cleanroom
as described and specified in other parts of ISO 14644.
NOTE Not all cleanroom parameter test procedures are shown in this part of ISO 14644. The procedures and
apparatus to characterize other parameters, of concern in cleanrooms and clean zones used for specific products or
processes, are discussed elsewhere in other documents prepared by ISO/TC 209 [for example, procedures for control and
measurement of viable materials (ISO 14698), testing cleanroom functionality (ISO 14644-4), and testing of separative
devices (ISO 14644-7)]. In addition, other standards can be considered to be applicable.
Statements in this part of ISO 14644 reference the standards of ASTM, CEN, DIN, IEST, JACA, JIS and SEMI.
INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-3:2005(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 3:
Test methods
WARNING — The use of this part of ISO 14644 may involve hazardous materials, operations and
equipment. This part of ISO 14644 does not purport to address all of the safety problems associated
with its use. It is the responsibility of the user of this part of ISO 14644 to establish appropriate safety
and health practices and to determine the applicability of regulatory limitations prior to use.
1 Scope
This part of ISO 14644 specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanliness
and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are specified for
two types of cleanrooms and clean zones: those with unidirectional flow and those with non-unidirectional flow,
in three possible occupancy states: as-built, at-rest and operational. The test methods recommend test
apparatus and test procedures for determining performance parameters. Where the test method is affected by
the type of cleanroom or clean zone, alternative procedures are suggested. For some of the tests, several
different methods and apparatus are recommended to accommodate different end-use considerations.
Alternative methods not included in this part of ISO 14644 may be used if based on agreement between
customer and supplier. Alternative methods do not necessarily provide equivalent measurements.
This part of ISO 14644 is not applicable to the measurement of products or of processes in cleanrooms or
separative devices.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
ISO 7726:1998, Ergonomics of the thermal environment — Instruments for measuring physical quantities
ISO 14644-1:1999, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air
cleanliness
ISO 14644-2:2000, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Specifications for testing
and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1
ISO 14644-4:2001, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and
start-up
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
3.1 General
3.1.1
cleanroom
room in which the concentration of airborne particles is controlled, and which is constructed and used in a
manner to minimize the introduction, generation and retention of particles inside the room, and in which other
relevant parameters, e.g. temperature, humidity and pressure, are controlled as necessary
[ISO 14644-1:1999, 2.1.1]
3.1.2
clean zone
dedicated space in which the concentration of airborne particles is controlled, and which is constructed and
used in a manner to minimize the introduction, generation and retention of particles inside the zone, and in
e.g.
which other relevant parameters, temperature, humidity and pressure, are controlled as necessary
NOTE This zone may be open or enclosed, and may or may not be located within a cleanroom.
[ISO 14644-1:1999, 2.1.2]
3.1.3
installation
cleanroom or one or more clean zones, together with all associated structures, air-treatment systems,
services, and utilities
[ISO 14644-1:1999, 2.1.3]
3.1.4
separative device
equipment utilizing constructional and dynamic means to create assured levels of separation between the
inside and outside of a defined volume
NOTE Some industry-specific examples of separative devices are clean air hoods, containment enclosures, glove
boxes, isolators and mini-environments.
3.2 Airborne particle measurement
3.2.1
aerosol generator
e.g.
instrument capable of generating particulate matter having appropriate size range ( 0,05 µm to 2 µm) at a
constant concentration, which may be produced by thermal, hydraulic, pneumatic, acoustic or electrostatic
means
3.2.2
airborne particle
solid or liquid object suspended in air, viable or non-viable, sized (for the purpose of this part of ISO 14644)
between 1 nm and 100 µm
NOTE For classification purposes, refer to ISO 14644-1:1999, 2.2.1.
3.2.3
count median particle diameter
CMD
median particle diameter based on the number of particles
NOTE For the count median, one half of the particle number is contributed by the particles with a size smaller than
the count median size, and one half by particles larger than the count median size.
2 © ISO 2005 – All rights reserved
3.2.4
macroparticle
particle with an equivalent diameter greater than 5 µm
[ISO 14644-1:1999, 2.2.6]
3.2.5
M descriptor
measured or specified concentration of macroparticles per cubic metre of air, expressed in terms of the
equivalent diameter that is characteristic of the measurement method used
NOTE The M descriptor may be regarded as an upper limit for the averages at sampling locations (or as an upper
confidence limit, depending upon the number of sampling locations used to characterize the cleanroom or clean zone).
M descriptors cannot be used to define airborne particulate cleanliness classes, but they may be quoted independently or
in conjunction with airborne particulate cleanliness classes.
[ISO 14644-1:1999, 2.3.2]
3.2.6
mass median particle diameter
MMD
median particle diameter based on the particle mass
NOTE For the mass median, one half of mass of all particles is contributed by particles with a size smaller than the
mass median size, and one half by particles larger than the mass median size.
3.2.7
particle concentration
number of individual particles per unit volume of air
[ISO 14644-1:1999, 2.2.3]
3.2.8
particle size
diameter of a sphere that produces a response, by a given particle-sizing instrument, that is equivalent to the
response produced by the particle being measured
NOTE For discrete-particle-counting, light-scattering instruments, the equivalent optical diameter is used.
[ISO 14644-1:1999, 2.2.2]
3.2.9
particle size distribution
cumulative distribution of particle concentration as a function of particle size
[ISO 14644-1:1999, 2.2.4]
3.2.10
test aerosol
gaseous suspension of solid and/or liquid particles with known and controlled size distribution and
concentration
3.2.11
U descriptor
measured or specified concentration in particles per cubic metre or air, including the ultrafine particles
NOTE The U descriptor may be regarded as an upper limit for the averages at sampling locations (or as an upper
confidence limit, depending upon the number of sampling locations used to characterize the cleanroom or clean zone).
U descriptors cannot be used to define airborne particulate cleanliness classes, but they may be quoted independently or
in conjunction with airborne particulate cleanliness classes.
[ISO 14644-1:1999, 2.3.1]
3.2.12
ultrafine particle
particle with an equivalent diameter less than 0,1 µm
[ISO 14644-1:1999, 2.2.5]
3.3 Air filters and systems
3.3.1
aerosol challenge
challenging of a filter or an installed filter system by test aerosol
3.3.2
designated leak
maximum allowable penetration, which is determined by agreement between customer and supplier, through
a leak, detectable during scanning of an installation with discrete-particle counters or aerosol photometers
3.3.3
dilution system
system wherein aerosol is mixed with particle-free dilution air in a known volumetric ratio to reduce
concentration
3.3.4
filter system
system composed of filter, frame and other support system or other housing
3.3.5
final filter
filters in a final position before the air enters the cleanroom
3.3.6
installed filter system
filter system mounted in the ceiling, wall, apparatus or duct
3.3.7
installed filter system leakage test
test performed to confirm that the filters are properly installed by verifying that there is absence of bypass
leakage in the installation, and that the filters and the grid system are free of defects and leaks
3.3.8
leak
〈of air filter system〉 penetration of contaminants that exceed an expected value of downstream concentration
through lack of integrity or defects
3.3.9
scanning
method for disclosing leaks in filters and parts of units, whereby the probe inlet of an aerosol photometer or
discrete-particle counter is moved in overlapping strokes across the defined test area
3.3.10
standard leak penetration
leak penetration detected by a discrete-particle counter or aerosol photometer with a standard sample flow-
rate when the sampling probe is stationary in front of the leak
NOTE Penetration is the ratio of the particle concentration downstream of the filter to the concentration upstream.
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3.4 Airflow and other physical states
3.4.1
air exchange rate
rate of air exchange expressed as number of air changes per unit of time and calculated by dividing the
volume of air delivered in the unit of time by the volume of the space
3.4.2
average airflow rate
averaged volume of air per unit of time, to determine the air exchange rate in a cleanroom or clean zone
NOTE Airflow rate is expressed in cubic metres per hour (m /h).
3.4.3
measuring plane
cross-sectional area for testing or measuring a performance parameter such as the airflow velocity
3.4.4
non-unidirectional airflow
air distribution where the supply air entering the clean zone mixes with the internal air by means of induction
[ISO 14644-4:2001, 3.6]
3.4.5
supply airflow rate
air volume supplied into an installation from final filters or air ducts in unit of time
3.4.6
total airflow rate
air volume that passes through a section of an installation in unit of time
3.4.7
unidirectional airflow
controlled airflow through the entire cross-section of a clean zone with a steady velocity and approximately
parallel streamlines
NOTE This type of airflow results in a directed transport of particles from the clean zone.
[ISO 14644-4:2001, 3.11]
3.4.8
uniformity of airflow
unidirectional airflow pattern in which the point-to-point readings of velocities are within a defined percentage
of the average airflow velocity
3.5 Electrostatic measurement
3.5.1
discharge time
time required to reduce the voltage to the level, positive or negative, to which an isolated conductive
monitoring plate was originally charged
3.5.2
offset voltage
voltage that will accumulate upon an initially uncharged isolated conductive plate when that plate is exposed
to an ionized air environment
3.5.3
static-dissipative property
capability for reducing electrostatic charge on work or product surface, as a result of conduction or other
mechanism to a specific value or nominal zero charge level
3.5.4
surface voltage level
positive or negative voltage level of electrostatic charging on work or product surface, as indicated by use of
suitable apparatus
3.6 Measuring apparatus and measuring conditions
3.6.1
aerosol photometer
light-scattering airborne particle mass concentration measuring apparatus, which uses a forward-scattered-
light optical chamber to make measurements
3.6.2
anisokinetic sampling
sampling condition in which the mean velocity of the air entering the sample probe inlet is significantly different
from the mean velocity of the unidirectional airflow at that location
3.6.3
cascade impactor
sampling device, which collects particles from an aerosol using the principle of impaction upon a series of
collector surfaces
NOTE Each successive collector surface is exposed to an aerosol stream flowing at a higher velocity than was the
previous one, thus allowing collection of smaller particles than the previous one.
3.6.4
condensation nucleus counter
CNC
instrument that is capable of enlarging ultrafine particles by means of condensation for subsequent counting
using optical particle counting techniques
3.6.5
counting efficiency
ratio of the reported concentration of particles in a given size range to the actual concentration of such
particles
3.6.6
differential mobility analyzer
DMA
instrument for measuring the particle size distribution, based on the electrical mobility of particles
3.6.7
diffusion battery element
individual component from a multi-stage particle size cutoff device, operating on the principle of diffusion to
remove smaller particles from an aerosol stream
3.6.8
discrete-particle counter
DPC
instrument having a means of displaying and recording the count and size of discrete particles (with a size
discrimination) for specific air volume
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3.6.9
false count
background noise count
zero count
count produced by a discrete-particle counter (DPC) due to internal or external unwanted electronic signal
when no particles exist
3.6.10
flowhood with flowmeter
device with apparatus to directly measure the airflow volume at each final filter or air diffuser in an installation,
set up to completely cover the filter or diffuser
3.6.11
iso-axial sampling
sampling condition in which the direction of the airflow into the sample probe inlet is the same as that of the
unidirectional airflow being sampled
3.6.12
isokinetic sampling
sampling condition in which the mean velocity of the air entering the sample probe inlet is the same as the
mean velocity of the unidirectional airflow at that location
3.6.13
particle size cutoff device
device capable of removing particles smaller than those of interest that is attached to the inlet of a DPC or
CNC
3.6.14
threshold size
selected minimum particle size chosen for measuring a concentration of particles larger than or equal to that
size
3.6.15
time-of-flight particle size measurement
measurement of aerodynamic particle diameter determined by the time required for travelling the distance of
two fixed planes
NOTE This measurement utilizes the particle velocity shift caused when a particle is introduced into the flow field with
different velocity.
3.6.16
virtual impactor
instrument to separate the particle sizing by inertial force to collide on the hypothetical (virtual) surface
NOTE Large particles pass through the surface into a stagnant volume and small particles deflected with the bulk of
the original airflow.
3.6.17
witness plate
contamination-sensitive material of defined surface area used in lieu of direct evaluation of a specific surface
that is either inaccessible or too sensitive to be handled
3.7 Occupancy states
3.7.1
as-built
condition where the installation is complete with all services connected and functioning but with no production
equipment, materials, or personnel present
[ISO 14644-1:1999, 2.4.1]
3.7.2
at-rest
condition where the installation is complete with equipment installed and operating in a manner agreed upon
by the customer and supplier, but with no personnel present
[ISO 14644-1:1999, 2.4.2]
3.7.3
operational
condition where the installation is functioning in the specified manner, with the specified number of personnel
present and working in the manner agreed upon
[ISO 14644-1:1999, 2.4.3]
4 Test procedures
4.1 Cleanroom tests
4.1.1 Required test
An airborne particle count test (see Table 1) shall be carried out in order to classify an installation in
accordance with ISO 14644-1, at the time intervals specified in ISO 14644-2.
Table 1 — Required test for installation
Reference in ISO 14644-3:2005
Required tests Referenced in
Principle Procedure Apparatus
Airborne particle count for classification
ISO 14644-1 and
and test measurement of cleanrooms and 4.2.1 B.1 C.1
ISO 14644-2
clean air devices
4.1.2 Optional tests
Table 2 lists other tests appropriate for testing of an installation. These tests can be applied in each of the
three designated occupancy states. These tests may not be all-inclusive, nor may all of the tests be required
for any given certification project. Tests and test methods should be selected in a manner agreed between the
customer and supplier. Selected tests can also be repeated on a regular basis as part of a routine facility
monitoring program (see ISO 14644-2). Guidelines for the selection of tests and a checklist of tests are given
in Annex A. Test methods are outlined in Annex B.
The test methods described in Annex B are in outline form only. Specific methods should be developed to
meet the needs of the particular application.
8 © ISO 2005 – All rights reserved
Table 2 — Optional tests for installation
Reference in ISO 14644-3:2005
Optional tests Referenced in
Principle Procedure Apparatus
Airborne particle count for ultrafine particles 4.2.1 B.2 C.2 ISO 14644-1
Airborne particle count for macroparticles 4.2.1 B.3 C.3 ISO 14644-1
ISO 14644-1 and
a
Airflow test 4.2.2 B.4 C.4
ISO 14644-2
ISO 14644-1 and
a
Air pressure difference test 4.2.3 B.5 C.5
ISO 14644-2
Installed filter system leakage test 4.2.4 B.6 C.6 ISO 14644-2
Airflow direction test and visualization 4.2.5 B.7 C.7 ISO 14644-2
Temperature test 4.2.6 B.8 C.8 ISO 7726
Humidity test 4.2.6 B.9 C.9 ISO 7726
Electrostatic and ion generator test 4.2.7 B.10 C.10
Particle deposition test 4.2.8 B.11 C.11
Recovery test 4.2.9 B.12 C.12 ISO 14644-2
ISO 14644-1 and
Containment leak test 4.2.10 B.13 C.13
ISO 14644-2
a
This is a required test based on ISO 14644-2. These optional tests are not presented in order of importance. The order in which
tests should be performed may be based upon the requirements of a specific document or after agreement between the customer and
supplier.
4.2 Principle
4.2.1 Airborne particle count
This test is performed to determine air cleanliness and may consist of three parts as follows:
a) classification test (see B.1);
b) ultrafine particle test (optional) (see B.2);
c) macroparticle test (optional) (see B.3).
Tests b) and c) may be used for descriptive purposes or as the basis for a specified requirement, but cannot
be used for classification purposes.
4.2.2 Airflow test
This test is performed to determine the supply airflow rate in a non-unidirectional cleanroom and the air
velocity distribution in a unidirectional cleanroom. Typically, either airflow velocity or airflow rate testing will be
performed, and results will be required in only one format: average velocity, average airflow rate or total
airflow rate. Total airflow rate may, in turn, be used to determine the air exchange rate (air changes per hour)
for a non-unidirectional installation. The air velocity will be determined in unidirectional cleanrooms. Test
procedures for the airflow test are given in B.4.
4.2.3 Air pressure difference test
The purpose of the air pressure difference test is to verify the capability of the cleanroom system to maintain
the specified pressure differential between the installation and its surroundings. The air pressure difference
test should be performed after the installation has met the acceptance criteria for airflow velocity or volume,
airflow uniformity and other applicable tests. Details of the air pressure difference test are given in B.5.
4.2.4 Installed filter system leakage tests
These tests are performed to confirm that the final high efficiency air filter system is properly installed by
verifying the absence of bypass leakage in the installation, and that the filters are free of defects (small holes
and other damages in the filter medium and frame seal) and leaks (bypass leaks in the filter frame and gasket
seal, leaks in the filter bank framework). These tests do not check the efficiency of the system. The tests are
performed by introducing an aerosol challenge upstream of the filters and scanning downstream of the filters
and support frame or sampling in a downstream duct. Two different leak detection techniques are given in B.6.
4.2.5 Airflow direction test and visualization
The purpose of this test is to confirm either the airflow direction or airflow pattern or both in regard to the
design and performance specifications. If required, spatial characteristics of airflow in the installation may also
be confirmed. Procedures for this test are given in B.7.
4.2.6 Temperature and humidity uniformity tests
The purpose of these tests is to demonstrate the capability of the cleanroom air-handling system to maintain
air temperature and moisture (expressed as relative humidity or dew point) levels within the control limits over
the time period specified by the customer for the area being tested. Procedures for these tests are given in
B.8 and B.9.
4.2.7 Electrostatic and ion generator tests
The purpose of these tests is to evaluate electrostatic voltage levels on objects, static-dissipative properties of
materials and the performance of ion generators (i.e. ionizers) used for electrostatic control in installations.
Electrostatic testing is performed to evaluate the electrostatic voltage level on work and product surfaces, and
the static dissipative properties of floors, workbench tops, etc. The ion generator test is performed to evaluate
the ionizer performance in eliminating static charges on surfaces. Procedures for these tests are given in B.10.
4.2.8 Particle deposition test
The purpose of this test is to measure the quantity (number or mass) or the effects (light scatter or area
coverage) of particles deposited upon surfaces at any orientation. Some procedures for this test are given
in B.11.
4.2.9 Recovery test
The recovery test is performed to determine whether the installation is capable of returning to a specified
cleanliness level within a finite time, after being exposed briefly to a source of airborne particulate challenge.
This test is not recommended for unidirectional airflow installations. The procedure for this test is given in B.12.
When an artificial aerosol is used, residue contamination of the installation should be avoided.
4.2.10 Containment leak test
This test is performed to determine if there is intrusion of unfiltered air into the cleanroom or clean zone(s)
from outside the cleanroom or clean zone enclosure(s) through joints, seams, doorways and pressurized
ceilings. The procedure for this test is given in B.13.
10 © ISO 2005 – All rights reserved
5 Test reports
The result of each test shall be recorded in a test report, and the test report shall include the following
information:
a) name and address of the testing organization, and the date on which the test was performed;
i.e.
b) number and year of publication of this part of ISO 14644, ISO 14644-3: date of current issue;
c) clear identification of the physical location of the cleanroom or clean zone tested (including reference to
adjacent areas if necessary), and specific designations for coordinates of all sampling locations;
d) specified designation criteria for the cleanroom or clean zone, including the ISO classification, the
relevant occupancy state(s), and the considered particle size(s);
e) details of the test method used, with any special conditions relating to the test or departures from the test
method, and identification of the test instrument and its current calibration certificate;
f) test result, including data reported as specifically required in the relevant clause of Annex B, and a
statement regarding compliance with the claimed designation;
g) any other specific requirements defined relevant to the clause of Annex B for particular tests.
Annex A
(informative)
Choice of recommended tests of an installation and the sequence in
which to carry them out
A.1 General
The test procedures described in this part of ISO 14644 may be used for demonstrating compliance with the
performance criteria of a user-specified installation and for performing periodic testing.
The choice of tests may be based in part on factors such as the design of the installation, operational states
and the required level of certification.
The sequence of tests should be determined beforehand between customer and supplier, and should be such
as to minimize wasted effort in the event of non-compliance.
A.2 Test checklist
Table A.1 provides a checklist of tests and apparatus. Details of the test sequence should be decided upon by
agreement between customer and supplier.
Table A.1 — Checklist of recommended tests and their sequence for a clean installation
Selection
of test Selection
Test
Apparatus
procedure Test procedure procedure of test Test apparatus Comments
reference
b
and
reference apparatus
a
sequence
Airborne particle B.1 Discrete-particle C.1
count for
counter (DPC)
classification and
test measurement
Airborne particle
B.2 Condensation nucleus C.2.1
count for ultrafine counter (CNC)
particles
Discrete-particle C.2.2
counter (DPC)
Particle size cutoff C.2.3
device
Airborne particle B.3 C.3
count for
macroparticles
Airborne particle count B.3.3.2 Microscopic C.3.1
for macroparticles with measurement on
particle collection collected filter paper
Cascade impactor C.3.2
12 © ISO 2005 – All rights reserved
Table A.1 (continued)
Selection
of test Test Selection
Apparatus
procedure of test
Test procedure procedure Test apparatus Comments
reference
b
and reference
apparatus
a
sequence
Airborne particle count B.3.3.3 Discrete-particle C.3.3
for macroparticles counter (DPC)
without particle
Time-of-flight particle C.3.4
collection
apparatus
Airflow B.4 C.4
Airflow velocity B.4.2.2 Thermal anemometer C.4.1.1
measurement in and
Ultrasonic C.4.1.2
unidirectional airflow B.4.2.3
anemometer,
installation
3-dimensional or
equivalent
Vane-type C.4.1.3
anemometer
Pitot-static tubes and C.4.1.4
manometer
Supply airflow velocity B.4.3.3 Thermal anemometer C.4.1.1
measurement in non-
Ultrasonic C.4.1.2
unidirectional airflow
anemometer,
installation
3-dimensional or
equivalent
Vane-type C.4.1.3
anemometer
Pitot-static tubes and C.4.1.4
manometer
Total airflow rate B.4.3.2 Integrating volume C.4.2.1
measurement hood meter
downstream of
Orifice meter C.4.2.2
installed filters
Venturi meter C.4.2.3
Airflow rate B.4.2.5 Integrating volume C.4.2.1
measurement in hood meter
supply air duct
Orifice meter C.4.2.2
Venturi meter C.4.2.3
Pitot-static tubes and C.4.1.4
manometer
Air pressure
B.5 Electronic micro- C.5.1
difference manometer
measurement
Inclined manometer C.5.2
Mechanical differential C.5.3
pressure gauge
Installed filter B.6 C.6
leakage
Table A.1 (continued)
Selection
of test Test Selection
Apparatus
procedure of test
Test procedure procedure Test apparatus Comments
reference
b
and reference
apparatus
a
sequence
Installed filter system B.6.2 Linear aerosol C.6.1.1
leakage scan and photometer
B.6.3
Logarithmic aerosol C.6.1.2
photometer
Discrete- particle C.6.2
counter (DPC)
Aerosol generator C.6.3
Aerosol source C.6.4
substances
Dilution system C.6.5
Condensation nucleus C.2.1
counter
Test for filters B.6.4 Linear aerosol C.6.1.1
mounted in ducts or photometer
air-handling units
Logarithmic aerosol C.6.1.2
photometer
Discrete- particle C.6.2
counter (DPC)
Aerosol generator C.6.3
Aerosol source C.6.4
substances
Dilution system C.6.5
Condensation nucleus C.2.1
counter
Airflow direction and B.7 Tracers C.7.1
visualization
Thermal anemometer C.7.2
Ultrasonic anemometer C.7.3
3-dimensional
Aerosol generator C.7.4
Fog generator C.7.4
Temperature
B.8 C.8
General Temperature B.8.2.1 Glass thermometer C.8.1
Thermometer C.8.2
Resistance C.8.3
temperature device
Thermistor C.8.4
14 © ISO 2005 – All rights reserved
Table A.1 (continued)
Selection
of test Test Selection
Apparatus
procedure of test
Test procedure procedure Test apparatus Comments
reference
b
and reference
apparatus
a
sequence
B.8.2.2 Glass thermometer C.8.1
Comprehensive
temperature
Thermometer C.8.2
Resistance C.8.3
temperature device
Thermistor C.8.4
Humidity B.9 Humidity monitor, C.9.1
capacitive
Humidity monitor, hair C.9.2
Dew point sensor C.9.3
Psychrometer C.9.4
Electrostatic and ion B.10 C.10
generator
Electrostatic B.10.2.1 Electrostatic voltmeter C.10.1
High resistance ohm- C.10.2
meter
Charged plate monitor C.10.3
Ion generator B.10.2.2 Electrostatic voltmeter C.10.1
High resistance ohm- C.10.2
meter
Charged plate monitor C.10.3
Particle deposition
B.11 Witness plate
Binocular compound
microscope
Particle fallout C.11.1
photometer
C.11.2
Surface particle
counter
Particle generator C.11.3
Recovery B.12 Discrete-particle C.12.1
counter (DPC)
Aerosol generator C.12.2
Dilution system C.12.3
Containment leak
B.13 C.13
DPC method B.13.2.1 Discrete-particle C.13.1
counter (DPC)
Aerosol generator C.13.2
Dilution system C.13.3
Photometer method B.13.2.2 Photometer C.13.4
Aerosol generator C.13.2
a
In the boxes of column 1, test planners can number the selected test methods according to the test sequence.
b
In the fourth column, test planners can select test apparatus according to the test method selected.
Annex B
(informative)
Test methods
B.1 Airborne particle count for classification and test measurement
B.1.1 Principle
This test method specifies the measurement of airborne particle concentrations with size distributions having a
threshold size between 0,1 µm and 5 µm. Measurements can be made in any of three defined occupancy
states; as-built, at-rest and operational. The measurements are made to certify or verify the cleanliness
classification of the installation in accordance with ISO 14644-1 or to make periodic measurements in
[11]
accordance with ISO 14644-2. The procedure given in B.1 has been adapted from IEST-G-CC1001:1999 .
B.1.2 Test procedure
B.1.2.1 General
The number of sample points, location selection, clean zone classification determination, and the quantity of
data required should be in accordance with ISO 14644-1. B.1 provides reference methods for air sampling at
each sample point location. Other appropriate methods of equivalent accuracy and which provide equivalent
data may be used by agreement between customer and supplier. If no other method has been agreed upon,
or in case of dispute, the reference method in this annex should be used.
NOTE Where detailed information on cleanroom testing using a discrete-particle counter (DPC) is required or further
[2] [3] [4] [11] [23] [24]
information on DPC standards is required, the standard methods may be used.
B.1.2.2 Procedure for airborne particle count
Install the DPC intake at the specified sampling location, and set up the DPC flow rate and select the particle
size threshold(s) in accordance with ISO 14644-1. A sampling probe should be selected to permit close to
[1]
isokinetic sampling in areas with unidirectional flow . The sample probe velocity should not differ from
sampled air velocity by more than 20 %. If this is not possible, set the sampling probe inlet facing into the
predominant direction of the airflow; in locations where sampled airflow being sampled is not controlled or
e.g.
predictable ( non-unidirectional airflow), the inlet of the sampling probe shall be directed vertically upward.
The transit tube from the sample probe inlet to the DPC sensor should be as short as possible. For sampling
of particles larger than and equal to 1 µm, the transit tube length should not exceed the manufacturer's
recommended length and diameter.
Sampling errors due to small particle loss by diffusion and large particle loss by sedimentation and impaction
should be no greater than 5 %.
B.1.3 Apparatus for airborne particle count
A DPC, as described in C.1, should be capable of counting and sizing particles in air with size discrimination
commensurate with the class of the installation under consideration. The DPC should be capable of displaying
or recording the particle count in those size ranges, and should have a valid calibration certificate, as
described in C.1.
16 © ISO 2005 – All rights reserved
B.1.4 Test reports
By agreement between customer and supplier, the following information and data and the test report in
Clause 5 should be recorded for classification or testing of the installation:
a) background noise count rate for the DPC;
b) type of measurement: classification or monitoring test;
c) cleanliness classification of the installation;
d) particle size range(s) and counts;
e) DPC inlet sampled flow rate and flow rate through the sensing chamber volume;
f) sample location(s);
g) sampling protocol for classification or sampling plan for monitoring;
h) occupancy state(s);
i) other data relevant for measurement.
B.2 Airborne particle count for ultrafine particles
B.2.1 Principle
B.2.1.1 General
This test method specifies the measurement of airborne particle concentrations with size distributions having
threshold sizes smaller than 0,1 µm; that concentration is referred to as the U descriptor. The procedure given
[12]
in B.2 has been adapted from IEST-G-CC1002:1999 . Measurements can be made in a cleanroom or clean
zone installation in any of the three designated occupancy states. The measurements are made to define the
concentration of ultrafine particles in the installation in accordance with ISO 14644-1:1999, Annex E, or to
make periodic measurements in accordance with ISO 14644-2:2000.
B.2.1.2 Counting efficiency
The counting efficiency of the system used to measure a U descriptor should fall within the shaded envelope
[12]
region shown in Figure B.1 . This region of acceptable performance centres on a counting efficiency of
50 % at the defined ultrafine particle size, shown as size “U”. It includes a tolerance band of ± 10 % of the
ultrafine particle size, shown as sizes “1,1U” and “0,9U” in Figure B.1. The acceptable minimum and maximum
counting efficiencies for particles above and below the ± 10 % size tolerance band are based on the
calculated penetration of a diffusion element having at least 40 % penetration efficiency for particles 10 %
larger than the defined ultrafine particle size and at least 60 % penetration efficiency for particles 10 % smaller
than the defined ultrafine particle size.
Key
X particle diameter, µm
Y counting efficiency, %
0,5U 0,9U U 1,1U 5U
Example U = 0,02 0,010 0,018 0,02 0,022 0,10
Example U = 0,03 0,015 0,027 0,03 0,033 0,15
Example U = 0,05 0,025 0,045
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-3
Première édition
2005-12-15
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 3:
Méthodes d'essai
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 3: Test methods
Numéro de référence
©
ISO 2005
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ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax. + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2005 – Tous droits réservés
Sommaire Page
Avant-propos. iv
Introduction . v
1 Domaine d'application. 1
2 Références normatives. 1
3 Termes et définitions. 2
3.1 Généralités. 2
3.2 Mesurage des particules en suspension dans l'air. 2
3.3 Filtres à air et systèmes de filtration . 4
3.4 Débit d'air et autres états physiques . 5
3.5 Mesurage des phénomènes électrostatiques.6
3.6 Appareils de mesure et conditions de mesurage. 6
3.7 États d'occupation. 8
4 Modes opératoires d'essai. 8
4.1 Essais de salle propre. 8
4.2 Principe. 9
5 Rapports d'essai . 11
Annexe A (informative) Sélection des essais recommandés pour une installation et de l'ordre
dans lequel il convient de les effectuer. 12
Annexe B (informative) Méthodes d'essai . 17
Annexe C (informative) Appareils d'essai. 53
Bibliographie . 66
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée
aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du
comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec
la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI,
Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d'élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur
publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités membres
votants.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne
pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L'ISO 14644-3 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés.
L'ISO 14644 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Salles propres et
environnements maîtrisés apparentés:
⎯ Partie 1: Classification de la propreté de l'air
⎯ Partie 2: Spécifications pour les essais et la surveillance en vue de démontrer le maintien de la
conformité avec l'ISO 14644-1
⎯ Partie 3: Méthodes d'essai
⎯ Partie 4: Conception, construction et mise en fonctionnement
⎯ Partie 5: Exploitation
⎯ Partie 7: Dispositifs séparatifs (postes à air propre, boîtes à gants, isolateurs et mini-environnements
⎯ Partie 8: Classification de la contamination moléculaire aéroportée
La partie suivante est en préparation:
⎯ Partie 6: Vocabulaire
iv © ISO 2005 – Tous droits réservés
Introduction
Les salles propres et environnements maîtrisés apparentés permettent la maîtrise de la contamination de l'air
à des niveaux appropriés à la conduite d'activités sensibles à la contamination. Parmi les produits et procédés
qui bénéficient de cette maîtrise de la contamination aérienne figurent entre autres l'aérospatial, la
microélectronique, la pharmacie, les dispositifs médicaux, la santé et l'agroalimentaire.
La présente partie de l'ISO 14644 décrit des méthodes d'essai qui peuvent être utilisées pour la
caractérisation d'une salle propre décrite et spécifiée dans d'autres parties de l'ISO 14644.
NOTE La présente partie de l'ISO 14644 n'expose pas tous les modes opératoires d'essai des paramètres d'une
salle propre. Les modes opératoires et les appareils utilisés pour caractériser d'autres paramètres, intéressant les salles
propres et zones propres destinées à des produits ou à des procédés spécifiques, sont traités dans d'autres documents
de la série préparée par l'ISO/TC 209 [par exemple des modes opératoires pour la maîtrise et le mesurage de matières
viables (ISO 14698), le contrôle du bon fonctionnement d'une salle propre (ISO 14644-4) et l'essai des dispositifs
séparatifs (ISO 14644-7)]. De plus, d'autres normes peuvent être considérées comme applicables.
Les déclarations dans la présente partie de l'ISO 14644 font référence aux normes de l'ASTM, du CEN, du
DIN, de l'IEST, du JACA, du JIS et du SEMI.
NORME INTERNATIONALE ISO 14644-3:2005(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 3:
Méthodes d'essai
AVERTISSEMENT — L'utilisation de la présente partie de l'ISO 14644 peut impliquer des matériaux,
des opérations et des équipements dangereux. La présente partie de l'ISO 14644 ne prétend pas traiter
de tous les problèmes de sécurité associés à son utilisation. Il relève de la responsabilité de
l'utilisateur de la présente partie de l'ISO 14644 d'établir des pratiques appropriées en matière
d'hygiène et de sécurité et de déterminer l'applicabilité des limitations réglementaires avant son
utilisation.
1 Domaine d'application
La présente partie de l'ISO 14644 spécifie des méthodes d'essai pour la classification de la propreté
particulaire de l'air et pour caractériser les performances des salles propres et des zones propres. Des essais
de performance sont spécifiés pour deux types de salles propres et de zones propres: des essais mettant en
œuvre un écoulement soit unidirectionnel, soit non unidirectionnel et dans trois états possibles d'occupation:
après construction, au repos et en activité. Les méthodes d'essai recommandent des exigences en matière
d'instruments et de modes opératoires d'essai, en vue de déterminer des paramètres de performance. Quand
la méthode d'essai est susceptible de modification en fonction du type de salle propre ou de zone propre dont
il est question, des modes opératoires alternatifs sont proposés. Pour certains essais, plusieurs méthodes et
appareils sont recommandés afin de tenir compte des considérations spécifiques de plusieurs applications.
Des méthodes alternatives ne figurant pas dans la présente partie de l'ISO 14644 peuvent être utilisées, si
elles ont fait l'objet d'un accord entre le client et le fournisseur. Des méthodes alternatives ne fournissent pas
nécessairement des mesurages équivalents.
La présente partie de l'ISO 14644 ne s'applique pas au mesurage effectué sur des produits ou des procédés
situés dans les salles propres ou dans les dispositifs séparatifs.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l'application du présent document. Pour les
références datées, seule l'édition citée s'applique. Pour les références non datées, la dernière édition du
document de référence s'applique (y compris les éventuels amendements).
ISO 7726:1998, Ergonomie des ambiances thermiques — Appareils de mesure des grandeurs physiques
ISO 14644-1:1999, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 1: Classification de la
propreté de l'air
ISO 14644-2:2000, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 2: Spécification pour les
essais et la surveillance en vue de démontrer le maintien de la conformité avec l'ISO 14644-1
ISO 14644-4:2001, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 4: Conception,
construction et mise en fonctionnement
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s'appliquent.
3.1 Généralités
3.1.1
salle propre
salle dans laquelle la concentration des particules en suspension dans l'air est maîtrisée et qui est construite
et utilisée de façon à minimiser l'introduction, la production et la rétention des particules à l'intérieur de la
pièce et dans laquelle d'autres paramètres pertinents, tels que la température, l'humidité et la pression sont
maîtrisés comme il convient
[ISO 14644-1:1999, 2.1.1]
3.1.2
zone propre
espace dédié dans lequel la concentration des particules en suspension dans l'air est maîtrisée et qui est
construit et utilisé de façon à minimiser l'introduction, la production et la rétention des particules à l'intérieur de
la pièce et dans laquelle d'autres paramètres pertinents, tels que la température, l'humidité et la pression sont
maîtrisés comme il convient
NOTE Cet espace peut être clos ou ouvert, et peut ou non être situé à l'intérieur d'une salle propre.
[ISO 14644-1:1999, 2.1.2]
3.1.3
installation
salle propre ou une ou plusieurs zone(s) propre(s) avec toutes les structures associées, les systèmes de
traitement d'air, les services et servitudes
[ISO 14644-1:1999, 2.1.3]
3.1.4
dispositif séparatif
appareil utilisant des effets de structure et des moyens dynamiques pour créer des niveaux de séparation
entre l'intérieur et l'extérieur d'un volume défini
NOTE Certains exemples spécifiques à l'industrie de dispositifs de séparation sont les postes à air propre, les
enceintes de confinement, les boîtes à gants, les isolateurs et les mini-environnements.
3.2 Mesurage des particules en suspension dans l'air
3.2.1
générateur d'aérosol
appareil capable de générer une matière particulaire possédant une étendue granulométrique appropriée (par
exemple entre 0,05 µm et 2 µm) à une concentration constante, qu'on peut produire par des moyens
thermiques, hydrauliques, pneumatiques, acoustiques ou électrostatiques
3.2.2
particule en suspension dans l'air
objet solide ou liquide, viable ou non viable, en suspension dans l'air, dont la taille se situe généralement
(pour les besoins de la présente partie de l'ISO 14644) dans l'étendue granulométrique entre 1 nm et 100 µm
NOTE Pour les besoins de classification, se référer à l'ISO 14644-1:1999, 2.2.1.
2 © ISO 2005 – Tous droits réservés
3.2.3
diamètre particulaire médian en nombre de particules
CMD
diamètre particulaire fondé sur le nombre de particules
NOTE Pour la médiane en nombre, une moitié du nombre total des particules est composée par les particules de
taille inférieure à la taille de la médiane en nombre et l'autre moitié par les particules de taille supérieure à la taille de la
médiane en nombre.
3.2.4
macroparticule
particule dont le diamètre équivalent est supérieur à 5 µm
[ISO 14644-1:1999, 2.2.6]
3.2.5
descripteur M
concentration, mesurée ou spécifiée, des macroparticules par mètre cube d'air, exprimée en termes de
diamètre équivalent auquel accède la méthode de mesurage mise en œuvre
NOTE Le descripteur M peut être considéré comme une limite supérieure des moyennes obtenues aux points
d'échantillonnage ou une limite supérieure de confiance, en fonction du nombre de ces points utilisés pour caractériser la
salle ou la zone propre. Un descripteur M ne peut servir à caractériser une classe de propreté particulaire de l'air mais
peut être utilisé indépendamment ou conjointement à une classe de propreté particulaire de l'air.
[ISO 14644-1:1999, 2.3.2]
3.2.6
diamètre particulaire médian en masse
MMD
diamètre particulaire fondé sur la masse des particules
NOTE Pour la médiane en masse, une moitié de la masse totale des particules est composée par les particules de
taille inférieure à la taille de la médiane en masse et l'autre moitié par les particules de taille supérieure à la taille de la
médiane en masse.
3.2.7
concentration de particules
nombre de particules individuelles par unité de volume d'air
[ISO 14644-1:1999, 2.2.3]
3.2.8
taille de particule
diamètre d'une sphère, qui dans un instrument donné de mesurage des tailles de particules, donne une
réponse qui est équivalente à la réponse de la particule à mesurer
NOTE Pour les compteurs de particules qui utilisent la diffusion de la lumière, le terme diamètre optique est employé.
[ISO 14644-1:1999, 2.2.2]
3.2.9
distribution granulométrique
distribution cumulée des concentrations de particules en fonction de leur taille
[ISO 14644-1:1999, 2.2.4]
3.2.10
aérosol d'essai
suspension dans un gaz de particules solides et/ou liquides possédant une distribution granulométrique et
une concentration connues et maîtrisées
3.2.11
descripteur U
concentration, mesurée ou spécifiée, exprimée en particules par mètre cube d'air et comprenant les particules
ultrafines
NOTE Le descripteur U peut être considéré comme une limite supérieure des moyennes obtenues aux points
d'échantillonnage ou une limite supérieure de confiance, en fonction du nombre de ces points utilisés pour caractériser la
salle ou la zone propre. Un descripteur U ne peut servir à caractériser une classe de propreté particulaire de l'air mais
peut être utilisé indépendamment ou conjointement à une classe de propreté particulaire de l'air.
[ISO 14644-1:1999, 2.3.1]
3.2.12
particule ultrafine
particule dont le diamètre équivalent est inférieur à 0,1 µm
[ISO 14644-1:1999, 2.2.5]
3.3 Filtres à air et systèmes de filtration
3.3.1
essai par aérosol
contrôle d'un filtre ou d'un dispositif de filtration installé par exposition à un aérosol d'essai
3.3.2
fuite admissible
pénétration maximale autorisée à travers une fuite, détectable par balayage d'un dispositif au moyen d'un
compteur discret de particules ou d'un photomètre d'aérosols, déterminée par accord entre le client et le
fournisseur
3.3.3
dispositif de dilution
dispositif servant à mélanger un aérosol à un air de dilution ne comportant pas de particules, dans un rapport
volumétrique connu, afin d'en réduire la concentration
3.3.4
dispositif de filtration
dispositif constitué d'un filtre, d'un cadre et de tout autre moyen de support ou caisson
3.3.5
filtre terminal
filtres montés en position terminale avant que l'air ne pénètre dans la salle propre
3.3.6
élément de filtration installé
dispositif constitué d'un filtre monté dans un plafond, une paroi, un appareil ou un conduit de ventilation
3.3.7
recherche de fuite dans l'élément de filtration installé
essai effectué pour confirmer le montage correct des filtres par vérification de l'absence de fuite de passage
direct dans l'installation et de l'absence de défauts et de fuites dans les filtres et dans la structure de montage
3.3.8
fuite
〈d'un élément de filtration〉 pénétration de contaminants dépassant une valeur de concentration en aval
attendue par suite d'une absence d'intégrité ou d'un défaut
3.3.9
balayage
méthode de recherche de fuites dans des filtres et parties d'un ensemble de filtration, par laquelle la sonde
d'entrée d'un photomètre d'aérosols ou d'un compteur discret de particules est déplacée par passes
successives, se recouvrant partiellement, sur la surface définie pour l'essai
4 © ISO 2005 – Tous droits réservés
3.3.10
pénétration de fuite standard
pénétration à travers une fuite, qui serait détectée par un compteur discret de particules ou un photomètre
d'aérosols aspirant à un débit d'échantillonnage standard, lorsque la sonde d'échantillonnage est tenue
directement devant la fuite
NOTE La pénétration est le rapport entre la concentration en nombre de particules en aval du filtre et celle en amont.
3.4 Débit d'air et autres états physiques
3.4.1
taux de renouvellement de l'air
taux de renouvellement d'un volume d'air exprimé par unité de temps, et calculé en divisant le volume d'air
soufflé pendant cette unité de temps par le volume de l'espace
3.4.2
débit d'air moyen
volume moyen d'air exprimé par unité de temps permettant de déterminer le taux de renouvellement de l'air
d'une salle propre ou d'une zone propre
NOTE Le débit de l'air est exprimé en mètres cubes par heure (m /h).
3.4.3
section de mesurage
aire de coupe transversale considérée pour mesurer ou contrôler un paramètre de performance tel que la
vitesse de l'air
3.4.4
flux d'air non unidirectionnel
régime de distribution d'air où l'air soufflé dans la zone propre se mélange à l'air déjà présent au moyen de
l'induction
[ISO 14644-4:2001, 3.6]
3.4.5
débit d'air soufflé
volume d'air soufflé à l'intérieur d'une installation à partir de filtres terminaux ou de conduits de ventilation par
unité de temps
3.4.6
débit d'air total
volume d'air traversant une coupe transversale de l'installation par unité de temps
3.4.7
flux d'air unidirectionnel
flux d'air maîtrisé traversant l'ensemble d'un plan de coupe d'une zone propre, possédant une vitesse
régulière et des filets à peu près parallèles
NOTE Ce régime d'écoulement de l'air a pour effet l'évacuation dirigée des particules de la zone propre.
[ISO 14644-4:2001, 3.11]
3.4.8
flux d'air uniforme
régime d'écoulement unidirectionnel de l'air dans lequel les mesures point par point des vitesses se situent
dans la fourchette du pourcentage défini de la vitesse moyenne de l'air
3.5 Mesurage des phénomènes électrostatiques
3.5.1
temps de décharge
temps requis pour réduire la tension à un niveau de la tension initiale, positive ou négative, de charge initiale
d'une plaque conductrice isolée disposée pour l'essai
3.5.2
différence de tension
tension susceptible de s'accumuler sur une plaque conductrice isolée, disposée sans charge initiale au
contact d'une atmosphère ionisée
3.5.3
propriété de dissipation de charge électrostatique
capacité à réduire une charge électrostatique accumulée en surface d'un plan de travail ou d'un produit à une
valeur spécifique ou à un niveau de charge nominale nulle, grâce à la conduction ou à tout autre mécanisme
3.5.4
niveau de tension superficielle
niveau de tension, négative ou positive, de la charge électrostatique accumulée en surface d'un plan de
travail ou d'un produit, indiqué au moyen d'un instrument approprié
3.6 Appareils de mesure et conditions de mesurage
3.6.1
photomètre d'aérosol
appareil de mesure de la concentration en masse de particules en suspension dans l'air, utilisant la diffusion
de la lumière dans une chambre optique pour effectuer le mesurage
3.6.2
échantillonnage anisocinétique
condition de prélèvement dans laquelle la vitesse moyenne de l'air aspiré dans la sonde d'échantillonnage
diffère de manière significative de la vitesse moyenne du flux d'air unidirectionnel au même emplacement
3.6.3
impacteur en cascade
appareil de prélèvement qui piège des particules dans un aérosol en utilisant le principe de l'impaction sur
une série de surfaces de prélèvement
NOTE Chaque surface de prélèvement successif se trouve exposée à une veine d'air s'écoulant à une vitesse
supérieure à celle de la, veine précédente et, permettant ainsi le piégeage de particules de taille inférieure à celles
prélevées sur la surface précédente.
3.6.4
compteur de noyaux de condensation
CNC
appareil capable de grossir des particules ultrafines par la technique de la condensation afin de les compter
ensuite au moyen de techniques de comptage utilisant la diffusion de la lumière
3.6.5
efficacité de comptage
rapport de la concentration mesurée de particules d'une taille ou d'un niveau granulométrique donné à la
concentration réelle de ces particules
3.6.6
analyseur de mobilité différentielle
DMA
appareil de mesure de la distribution granulométrique, fondé sur la mobilité électrique des particules
6 © ISO 2005 – Tous droits réservés
3.6.7
élément de batterie de diffusion
composant individuel d'un dispositif à étages multiples de séparation des particules en fonction de leur taille,
utilisant le principe de la diffusion pour éliminer des particules plus petites de la veine d'air
3.6.8
compteur discret de particules
DPC
appareil de mesure disposant d'un moyen d'affichage et d'enregistrement du nombre et de la taille des
particules prises une par une (avec une capacité de tri des tailles), dans un volume d'air déterminé
3.6.9
bruit de fond de comptage
comptage faux
comptage nul
comptage produit par un compteur discret de particules par l'effet d'un signal électronique indésirable, interne
ou externe, alors qu'aucune particule n'existe
3.6.10
hotte de mesure avec débitmètre
balomètre
dispositif équipé d'un appareil permettant de mesurer directement le débit d'air à chaque filtre terminal ou
bouche de soufflage dans une installation et installé de façon à recouvrir complètement le filtre ou la bouche
de soufflage
3.6.11
échantillonnage iso-axial
condition de prélèvement dans laquelle l'orientation de la veine d'air aspirée dans la sonde d'échantillonnage
est identique à celle du flux d'air unidirectionnel échantillonné
3.6.12
échantillonnage isocinétique
condition de prélèvement dans laquelle la vitesse moyenne de l'air aspiré dans la sonde d'échantillonnage est
identique à la vitesse moyenne du flux unidirectionnel de l'air à cet endroit
3.6.13
dispositif de séparation des particules en fonction de leur taille
dispositif monté à l'aspiration d'un compteur discret de particules ou d'un compteur de noyaux de
condensation, possédant la capacité d'éliminer des particules de taille inférieure à celles prises en
considération
3.6.14
taille limite inférieure de classe
taille minimale de particule sélectionnée afin de mesurer une concentration de particules de taille égale ou
supérieure à celle-ci
3.6.15
mesurage de la taille des particules par temps de vol
mesurage du diamètre de particules aérodynamiques déterminé par le temps nécessaire aux particules pour
parcourir la distance correspondant à deux plans fixes
NOTE Ce mesurage utilise le changement de la vitesse des particules produit lorsqu'une particule est introduite dans
le champ d'écoulement à une vitesse différente.
3.6.16
impacteur virtuel
appareil destiné à trier les particules en fonction de leur granulométrie en utilisant la force d'inertie pour
provoquer une impaction sur la surface hypothétique (virtuelle)
NOTE Les grosses particules traversent la surface et passent dans un volume stagnant et les petites particules sont
déviées avec la majeure partie du flux d'air initial.
3.6.17
plaque témoin
matériau sensible à la contamination, de surface définie, utilisé à la place de l'évaluation directe d'une surface
spécifique quand cette surface est soit inaccessible, soit trop sensible pour accepter la manipulation
3.7 États d'occupation
3.7.1
installation après construction
installation complète avec toutes les servitudes connectées et en fonctionnement, mais sans équipement ni
matières de production et sans personnel présent
[ISO 14644-1:1999, 2.4.1]
3.7.2
installation au repos
installation complète avec l'équipement de production installé et fonctionnant comme convenu entre le client
et le fournisseur, mais sans personnel présent
[ISO 14644-1:1999, 2.4.2]
3.7.3
installation en activité
installation fonctionnant selon le mode prescrit, avec l'effectif spécifié travaillant dans les conditions
convenues
[ISO 14644-1:1999, 2.4.3]
4 Modes opératoires d'essai
4.1 Essais de salle propre
4.1.1 Essais exigés
Un essai de comptage des particules en suspension dans l'air (voir Tableau 1) doit être réalisé afin de classer
une installation conformément à l'ISO 14644-1, à des intervalles de temps spécifiés dans l'ISO 14644-2.
Tableau 1 — Essais exigés pour l'installation
Référence dans l'ISO 14644-3:2005
Essais exigés Référencé dans
Appareil
Principes Mode opératoire
à employer
Comptage des particules en
suspension dans l'air pour la
ISO 14644-1
classification et le mesurage d'essai 4.2.1 B.1 C.1
et ISO 14644-2
des salles propres et dispositifs à air
propre
4.1.2 Essais facultatifs
Le Tableau 2 présente d'autres essais adaptés à la qualification d'une installation. Ces essais sont
susceptibles d'être appliqués à chacun des trois états d'occupation désignés. Ces essais peuvent ne pas
couvrir tous les besoins et il est possible que tous les essais ne soient pas requis pour un projet de
certification donné. Il convient que les essais et méthodes d'essai soient sélectionnés selon les termes d'un
accord conclu entre le client et le fournisseur. Les essais sélectionnés peuvent également être répétés de
8 © ISO 2005 – Tous droits réservés
façon régulière dans le cadre d'un programme de surveillance normale de l'installation (voir l'ISO 14644-2).
Des conseils pour la sélection des essais et une liste de contrôle des essais sont donnés dans l'Annexe A.
Les méthodes d'essai sont décrites dans l'Annexe B.
Les méthodes d'essai décrites dans l'Annexe B sont uniquement exposées sommairement. Il convient que
des méthodes spécifiques soient développées pour satisfaire aux besoins d'une application particulière.
Tableau 2 — Autres essais pour l'installation
Référence dans l'ISO 14644-3:2005
Essais facultatifs Référencé dans
Appareil
Principes Mode opératoire
à employer
Comptage des particules
ultrafines en suspension dans 4.2.1 B.2 C.2 ISO 14644-1
l'air
Comptage des macroparticules
4.2.1 B.3 C.3 ISO 14644-1
en suspension dans l'air
ISO 14644-1 et
a
Mesurage du débit d'air 4.2.2 B.4 C.4
ISO 14644-2
Mesurage de la pression ISO 14644-1 et
4.2.3 B.5 C.5
a
différentielle de l'air ISO 14644-2
Recherches de fuite sur un
4.2.4 B.6 C.6 ISO 14644-2
élément de filtration installé
Essai de la direction du flux d'air
4.2.5 B.7 C.7 ISO 14644-2
et sa visualisation
Mesurage de la température 4.2.6 B.8 C.8 ISO 7726
Mesurage de l'humidité 4.2.6 B.9 C.9 ISO 7726
Essai électrostatique et essai
4.2.7 B.10 C.10
d'un générateur d'ions
Essai de sédimentation de
4.2.8 B.11 C.11
particules
Essai de récupération 4.2.9 B.12 C.12 ISO 14644-2
ISO 14644-1 et
Essai de fuite de confinement 4.2.10 B.13 C.13
ISO 14644-2
a
Ceci est un essai exigé fondé sur l'ISO 14644-2. Ces essais facultatifs ne sont pas présentés par ordre d'importance. L'ordre dans
lequel il convient d'effectuer les essais peut se fonder sur les exigences d'un document spécifique ou après accord entre le client et le
fournisseur
4.2 Principe
4.2.1 Comptage des particules en suspension dans l'air
Cet essai est effectué en vue de déterminer la propreté de l'air et peut consister en trois parties, comme suit:
a) essai de classification (voir B.1);
b) comptage des particules ultrafines (facultatif) (voir B.2);
c) comptage des macroparticules (facultatif) (voir B.3).
Les essais b) et c) peuvent servir à des fins de description ou pour sous-tendre une exigence spécifiée, mais
ne peuvent servir à la classification de l'installation.
4.2.2 Mesurage du débit d'air
Cet essai est effectué en vue de déterminer le débit-volume de l'air soufflé dans une salle propre à flux d'air
non unidirectionnel et la distribution des vitesses de l'écoulement de l'air dans une salle propre à flux d'air
unidirectionnel. L'essai portera typiquement soit sur la vitesse de l'écoulement de l'air, soit sur le débit-volume
de l'air et l'expression des résultats ne sera exigée que dans un seul format: vitesse moyenne, débit moyen
ou débit total. Le débit total peut être utilisé, ensuite, pour le calcul du taux de renouvellement horaire (nombre
de renouvellements du volume d'air par heure) d'une installation à écoulement non unidirectionnel. La vitesse
d'écoulement sera déterminée dans des salles propres à flux d'air unidirectionnel. Les modes opératoires
d'essai pour le mesurage du débit d'air sont donnés en B.4.
4.2.3 Mesurage de la pression différentielle de l'air
L'objet de cet essai est de vérifier la capacité du système salle propre à maintenir la pression différentielle
spécifiée entre l'installation et son environnement. Il convient d'effectuer cet essai une fois que l'installation a
satisfait aux critères d'acceptation en termes de vitesse ou de débit de l'air, d'uniformité de l'écoulement et à
tout autre essai applicable. Les détails de cet essai sont donnés en B.5.
4.2.4 Recherches de fuite sur un élément de filtration installé
Ces essais sont effectués en vue de confirmer que l'élément de filtration terminal à très haute efficacité a été
bien installé, en vérifiant l'absence de fuites de passage direct dans l'installation, ainsi que l'absence de
défauts au niveau des filtres (petits trous et autres dommages survenus dans le média filtrant et dans le joint
d'étanchéité du cadre) et de fuites (fuites de passage direct dans le cadre ou le joint mécanique, fuites dans le
châssis de la batterie de filtres). Ces essais ne vérifient pas l'efficacité du système. Les essais sont effectués
en introduisant un aérosol d'essai en amont des filtres et en effectuant la recherche par balayage à l'aval
direct des filtres et de leur structure de support ou en procédant à l'échantillonnage dans un conduit de
ventilation en aval. Deux techniques différentes de détection de fuite sont données en B.6.
4.2.5 Essai de la direction du flux d'air et sa visualisation
L'objet de cet essai est de vérifier la direction ou le régime de l'écoulement de l'air, ou les deux, par rapport
aux spécifications de conception et de performance. Si cela s'avère nécessaire, les caractéristiques spatiales
de l'écoulement de l'air dans l'installation peuvent également être vérifiées. Les modes opératoires sont
donnés en B.7.
4.2.6 Essais de l'uniformité de la température et de l'humidité
L'objet de ces essais est de démontrer la capacité du système de traitement d'air de la salle propre à
maintenir les niveaux de température de l'air et de son humidité (exprimée en terme d'humidité relative ou de
point de rosée) à l'intérieur des limites de maîtrise, pendant la période de temps spécifiée par le client, pour la
zone soumise à essai. Les modes opératoires de ces essais sont donnés en B.8 et en B.9.
4.2.7 Essais électrostatiques et essai d'un générateur d'ions
L'objet de ces essais est d'évaluer les niveaux de tension électrostatique présents sur des objets, les
propriétés de dissipation de charge des matériaux et les performances des générateurs d'ions (c'est-à-dire
des ioniseurs) utilisés pour la maîtrise électrostatique dans les installations. Les essais électrostatiques
s'effectuent afin d'évaluer le niveau de tension électrostatique présent en surface des plans de travail et des
produits, ainsi que les propriétés de dissipation de charge des sols, plans de travail, etc. L'essai d'un
générateur d'ions s'effectue afin d'évaluer les performances de l'ioniseur dans l'élimination des charges
électrostatiques présentes sur des surfaces. Les modes opératoires pour ces essais sont donnés en B.10.
4.2.8 Essai de sédimentation de particules
L'essai de sédimentation de particules mesure la quantité (en nombre ou en masse) ou les effets (diffusion de
la lumière ou aire recouverte) des particules déposées par sédimentation sur des surfaces, quelle que soit
l'orientation de celles-ci. Quelques modes opératoires pour cet essai sont donnés en B.11.
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4.2.9 Essai de récupération
L'essai de récupération s'effectue afin de déterminer si l'installation est capable de revenir à la classe
spécifiée de propreté dans un laps de temps fini, après une brève exposition à un aérosol d'essai composé de
particules. Cet essai n'est pas recommandé pour des installations à flux d'air unidirectionnel. Le mode
opératoire de cet essai est donné en B.12.
Lorsqu'un aérosol artificiel est utilisé, il convient de veiller à l'absence de contamination de l'installation par
des résidus.
4.2.10 Essai de recherche de fuite de confinement
Cet essai s'effectue en vue de déterminer s'il y a entrée d'air non-filtré dans la salle propre ou dans la/les
zone(s) propre(s), en provenance de l'extérieur de l'/des enceinte(s) de la salle propre ou de la/des zone(s)
propre(s), à travers des joints, raccords, portes et plafonds sous pression. Le mode opératoire de cet essai
est donné en B.13.
5 Rapports d'essai
Le résultat de chaque essai doit être enregistré dans un rapport d'essai, et ce dernier doit comporter les
informations suivantes:
a) nom et adresse de l'organisme chargé d'effectuer l'essai et date à laquelle l'essai a été effectué;
b) numéro et année de la présente partie de l'ISO 14644, c'est-à-dire ISO 14644-3: date de la version en
vigueur;
c) identification claire de l'emplacement physique de la salle propre ou zone propre soumise à essai (en
faisant également référence aux zones adjacentes si nécessaire), avec les coordonnées des
emplacements où les mesurages ont été effectués;
d) critères de désignation spécifiques pour la salle propre ou zone propre, y compris la classification ISO,
état(s) d'occupation concerné(s) et taille(s) de particules considérée(s);
e) détails de la méthode d'essai adoptée, avec mention de toute condition particulière concernant l'essai ou
de déviation par rapport à la méthode d'essai et identification de l'appareil d'essai et de son certificat
d'étalonnage en cours de validité;
f) résultat de l'essai, avec les données obtenues enregistrées selon l'exigence particulière du paragraphe
approprié de l'Annexe B et déclaration sur l'état de conformité à la désignation cible;
g) toutes autres exigences particulières définies par référence à l'Annexe B en vue d'essais particuliers.
Annexe A
(informative)
Sélection des essais recommandés pour une installation et de l'ordre
dans lequel il convient de les effectuer
A.1 Généralités
Les modes opératoires d'essai décrits dans la présente partie de l'ISO 14644 peuvent être utilisés pour
démontrer la conformité aux critères de performance d'une installation spécifiée par l'utilisateur et pour
effectuer des essais périodiques.
La sélection des essais peut être fondée en partie sur des facteurs tels que la conception de l'installation, les
états d'activité et le niveau requis de certification.
Il convient que l'ordre de réalisation des essais fasse l'objet d'un accord initial entre le client et le fournisseur
afin d'économiser un travail important en cas de non-conformité.
A.2 Liste de contrôle des essais
Le Tableau A.1 fournit une liste des essais et appareils recommandés. Il convient que les détails de l'ordre
dans lequel les essais seront effectués fassent l'objet d'un accord entre le client et le fournisseur.
Tableau A.1 — Checklist des essais recommandés et de l'ordre dans lequel il convient de les
effectuer pour une installation propre
Sélection du
mode Référence Sélection
Référence
opératoire Mode opératoire du mode de
Appareil d'essai de Commentaires
d'essai et de d'essai opératoire l'appareil
l'appareil
b
l'ordre des d'essai d'essai
a
essais
Comptage des B.1 Compteur discret de C.1.1
particules en particules
suspension dans l'air
pour la classification
et le mesurage
d'essai
Comptage des B.2 Compteur de noyaux C.2.1
particules ultrafines de condensation
en suspension dans
Compteur discret de C.2.2
l'air
particules
C.2.3
Dispositif de
séparation des
particules en
fonction de leur taille
12 © ISO 2005 – Tous droits réservés
Tableau A.1 (suite)
Sélection du
mode Référence Sélection
Référence
opératoire Mode opératoire du mode de
Appareil d'essai Commentaires
de
d'essai et de d'essai opératoire l'appareil
l'appareil
b
l'ordre des d'essai d'essai
a
essais
Comptage des B.3 C.3
macroparticules en
suspension dans l'air
Comptage des B.3.3.2 Mesurage sur papier C.3.1
macroparticules en filtrant au moyen du
suspension dans l'air microscope
avec collecte de
Impacteur en C.3.2
particules
cascade
Comptage des B.3.3.3 Compteur discret de C.3.3
macroparticules en particules
suspension dans l'air
Appareil de mesure C.3.4
sans collecte de
du temps de vol des
particules
particules
Mesurage du flux B.4 C.4
d'air
Mesurage de la vitesse B.4.2.2 et Anémomètre C.4.1.1
de l'air dans B.4.2.3 thermique
l'installation à flux
Anémomètre C.4.1.2
unidirectionnel
tridimensionnel à
ultrasons ou
équivalent
Anémomètre à C.4.1.3
hélice
Tubes de Pitot et C.4.1.4
manomètre
Mesurage de la vitesse B.4.3.3 Anémomètre C.4.1.1
du soufflage dans un thermique
régime non
Anémomètre C.4.1.2
unidirectionnel de
tridimensionnel à
l'installation
ultrasons ou
équivalent
Anémomètre à C.4.1.3
hélice
Tubes de Pitot et C.4.1.4
manomètre
Mesurage du débit B.4.3.2 hotte de mesure C.4.2.1
total en aval des filtres avec débitmètre
installés (balomètre)
Débitmètre à orifice C.4.2.2
déprimogène
Tube Venturi C.4.2.3
Mesurage du débit B.4.2.5 hotte de mesure C.4.2.1
d'air dans un conduit avec débitmètre
de soufflage (balomètre)
Débitmètre à orifice C.4.2.2
déprimogène
Tube Venturi C.4.2.3
Tubes de Pitot et C.4.1.4
manomètre
Tableau A.1 (suite)
Sélection du
mode Référence Sélection
Référence
opératoire Mode opératoire du mode de
Appareil d'essai Commentaires
de
d'essai et de d'essai opératoire l'appareil
l'appareil
b
l'ordre des d'essai d'essai
a
essais
Mesurage de la B.5 Micromanomètre C.5.1
pression différentielle électronique
de l'air
Manomètre à tube C.5.2
incliné
Manomètre C.5.3
mécanique de
pression
différentielle
Recherche de fuite B.6 C.6
sur filtre installé
Recherche de fuite par B.6.2 et Photomètre C.6.1.1
balayage sur élément B.6.3 d'aérosols linéaire
de filtration installé
C.6.1.2
Photomètre
d'aérosols
logarithmique
Compteur discret de C.6.2
particules
Générateur d'aérosolC.6.3
Fluide aérosolisable C.6.4
Dispositif de dilution C.6.5
Compteur de noyaux C.2.1
de condensation
Essai de filtres installés B.6.4 Photomètre C.6.1.1
à l'intérieur de conduits d'aérosols linéaire
ou de centrales de
Photomètre C.6.1.2
traitement de l'air
d'aérosols
logarithmique
Compteur discret de C.6.2
particules
Générateur d'aérosolC.6.3
Fluide aérosolisable C.6.4
Dispositif de dilution C.6.5
C.2.1
Compteur de noyaux
de condensation
Direction et B.7 Traceurs C.7.1
visualisation du flux
Anémomètre C.7.2
d'air
thermique
Anémomètre C.7.3
tridimensionnel à
ultrasons
Générateur d'aérosolC.7.4
Générateur de C.7.4
brouillard
14 © ISO 2005 – Tous droits réservés
Tableau A.1 (suite)
Sélection du
mode Référence Sélection
Référence
opératoire Mode opératoire du mode de
Appareil d'essai Commentaires
de
d'essai et de d'essai opératoire l'appareil
l'appareil
b
l'ordre des d'essai d'essai
a
essais
Mesurage de la B.8 C.8
température
Température générale B.8.2.1 Thermomètre en C.8.1
verre
Thermomètre C.8.2
Dispositif mesurant C.8.3
la température par
résistivité
Thermistance C.8.4
Température détaillée B.8.2.2 Thermomètre en C.8.1
(cartographie) verre
Thermomètre C.8.2
Dispositif mesurant C.8.3
la température par
résistivité
Thermistance C.8.4
Humidité B.9 Hygromètre capacitif C.9.1
Hygromètre à C.9.2
cheveux
C.9.3
Thermomètre à point
de rosée
Psychromètre C.9.4
Électrostatisme et B.10 C.10
générateur d'ions
Électros
...
ISO 14644-3:2005は、クリーンルームおよび関連する制御環境の試験方法を定めた標準であり、その適用範囲は、空気中の微粒子の清浄度を指定された分類に基づいて測定し、クリーンルームおよびクリーンゾーンの性能を評価するためのものです。この標準は、流れが一方向のクリーンルームと非一方向のクリーンルームの2つのタイプに対して性能試験を規定しており、試験は「築造状態」、「静止状態」、「運転状態」という3つの占有状態で行われます。 ISO 14644-3:2005の大きな強みは、その明確で詳細な試験方法を提供している点です。これにより、クリーンルームのパフォーマンスを精確に評価することができ、業界標準として信頼性の高い基準を提供します。また、標準に基づいた試験は、クリーンルームの設計や運用において重要な役割を果たす情報を提供し、様々な分野での応用が可能です。 さらに、ISO 14644-3:2005は、特定の製品やプロセスの測定には適用されないため、クリーンルームおよびクリーンゾーンの一般的な性能を重視している点が評価されます。この特性は、クリーンルームの管理や品質保証の観点からも重要であり、適切な運用と維持が求められる環境において、確固たる基準を示しています。 このように、ISO 14644-3:2005は、クリーンルームの性能評価における標準化の重要な役割を果たしており、その構造的なアプローチと明確な試験基準は、業界全体における衛生管理と性能確認において非常に重要です。
La norme ISO 14644-3:2005 est un document crucial qui établit des méthodes d'essai pour la classification de la propreté de l'air en termes de particules en suspension et pour la caractérisation des performances des salles blanches et des zones contrôlées. Son étendue permet d'évaluer deux types de configurations de salles blanches : celles à flux unidirectionnel et celles à flux non unidirectionnel, abordant ainsi les différentes modalités de fonctionnement. En effet, elle considère trois états d'occupation : en construction, au repos et en opération, ce qui constitue un atout majeur pour les utilisateurs cherchant à valider la performance environnementale de leurs installations dans différents contextes. Les forces de la norme résident également dans sa capacité à standardiser les méthodes de test, garantissant ainsi une approche uniforme pour la caractérisation des espaces contrôlés. Cela facilite non seulement la conformité réglementaire, mais assure également une qualité des environnements de production, essentielle dans des secteurs critiques tels que l'industrie pharmaceutique et l'électronique. De plus, la norme ISO 14644-3:2005 ne s'applique pas à la mesure des produits ou des processus, ce qui précise son champ d'application et évite toute ambigüité quant à son utilisation. En somme, l'ISO 14644-3:2005 représente un outil de référence indispensable pour les entreprises souhaitant maintenir des niveaux de propreté rigoureux et assurer la performance de leurs salles blanches. La clarté de ses méthodes de test et son approche structurée en font une norme pertinente et essentielle dans un monde de plus en plus axé sur la qualité et la conformité.
ISO 14644-3:2005는 청정실 및 관련 제어 환경의 성능을 평가하기 위한 시험 방법을 명시하고 있습니다. 이 표준은 공기 중 입자 청정도를 지정된 분류로 평가하고, 청정실 및 청정 구역의 성능 특성을 규명하는 데 중점을 두고 있습니다. 특히, 일방향 흐름과 비일방향 흐름을 가지는 두 가지 종류의 청정실 및 청정 구역에 대해 세 가지 점유 상태(구축 시, 안정 상태, 운영 상태)에서 수행되는 성능 시험 방법이 규정되어 있습니다. ISO 14644-3:2005의 강점은 그 체계적 접근 방식입니다. 이 표준은 청정실의 운영과 유지 관리에 필수적인 기준을 제공하여, 산업 전반에 걸쳐 안전하고 효율적인 작업 환경을 조성하는 데 기여합니다. 더불어, 청정실 설계 및 운영에 있어 필요한 실제적이고도 유효한 측정 방법을 제시함으로써, 벤치마크 역할을 수행합니다. 또한, ISO 14644-3:2005의 관련성은 건축, 제약, 반도체, 생명 과학 및 식품 공정과 같은 다양한 분야에서 청정 환경의 필요성이 증가하고 있다는 점에서 더욱 강조됩니다. 이 표준은 각 분야에서 요구되는 청정도 기준을 만족시키기 위해 꼭 필요한 시험 방법을 마련하는 데 중요한 역할을 합니다. 가능성이 있는 모든 청정 환경을 조성하기 위한 기반을 다지는 만큼, 이는 산업 생산성과 고객 안전을 동시에 증진시키는 데 필수적인 문서라 할 수 있습니다.
ISO 14644-3:2005 provides a comprehensive framework for the testing of cleanrooms and associated controlled environments, specifically focusing on methods for assessing airborne particulate cleanliness. The standard’s primary scope encompasses the classification of cleanliness levels within cleanrooms and clean zones, ensuring that environments meet the stringent requirements necessary for various sensitive processes and operations. One of the significant strengths of ISO 14644-3:2005 is its detailed specification of performance tests tailored for different types of cleanrooms, namely unidirectional and non-unidirectional flow systems. This distinction allows for a thorough analysis of airflow patterns and particulate distribution, which is critical to maintaining the integrity of cleanroom environments. By defining performance tests based on three occupancy states- as-built, at-rest, and operational- the standard ensures a holistic evaluation of the cleanroom’s performance throughout its lifecycle. This adaptability is particularly relevant for industries such as pharmaceuticals, biotechnology, and semiconductor manufacturing, where contamination control is paramount. Moreover, ISO 14644-3:2005 emphasizes the importance of precise methodology in testing, thereby enhancing the reproducibility and reliability of results. This fosters confidence among stakeholders in the cleanroom’s operational capabilities and its compliance with industry standards. The exclusion of measurements related to products or processes in cleanrooms or separative devices allows the standard to concentrate specifically on environmental assessments, further solidifying its relevance to cleanroom practitioners. In essence, ISO 14644-3:2005 stands as a vital resource for organizations involved in the design, operation, and validation of cleanrooms. Its structured approach to test methods not only meets regulatory and quality assurance demands but also promotes best practices within the industry, making it an indispensable reference for professionals seeking to ensure high levels of cleanliness in controlled environments.
ISO 14644-3:2005の標準では、クリーンルームおよび関連する制御環境における空気中の微粒子清浄度の指定された分類と、クリーンルームやクリーンゾーンの性能を評価するための試験方法が規定されています。この標準の強みは、クリーンルームの特性に応じた明確な試験プロセスを提供する点にあります。 具体的には、ISO 14644-3:2005は、一方向性流れのクリーンルームと非一方向性流れのクリーンルームの2種類について、3つの異なる占有状態（構築後、静止時、運用中）での性能試験を指定しています。このように、多彩な実施条件に対応しているため、実際の運用環境に即した信頼性のあるデータを得やすいのが特徴です。 さらに、ISO 14644-3:2005は、クリーンルームそのものの性能評価に焦点を当てているため、製品やプロセスの測定には適用されません。この明確な範囲設定は、クリーンルームの設計や運用の基準を理解する上での利点となります。そのため、クリーンルーム業界の専門家や研究者にとって非常に有益な資源であり、標準適用範囲の明確化は、業界全体の一貫性を確保する手助けとなります。 ISO 14644-3:2005は、クリーンルームの清浄度管理を効率的かつ効果的に実施するための基盤となる標準です。その詳細な試験方法と関連情報は、クリーンルームの空気品質の向上に寄与し、製造過程における品質管理の重要性を再確認させるものです。また、国際的な合意やコミュニケーションを促進することで、グローバルなクリーンルーム基準の強化にも寄与しています。
The ISO 14644-3:2005 standard provides a comprehensive approach to test methods for assessing airborne particulate cleanliness in cleanrooms and associated controlled environments. Its scope includes the classification of airborne particulate cleanliness, ensuring that cleanrooms and clean zones meet stringent quality and performance criteria. One of the noteworthy strengths of ISO 14644-3:2005 is its detailed guidance on performance testing for two distinct types of cleanrooms: those with unidirectional flow and those with non-unidirectional flow. This differentiation allows for tailored testing procedures that reflect the operational realities of various cleanroom environments. Additionally, the standard recognizes three critical occupancy states- as-built, at-rest, and operational- which are essential for accurately characterizing the performance of cleanrooms under different conditions. ISO 14644-3:2005 is particularly relevant in industries where cleanliness is paramount, such as pharmaceuticals, biotechnology, and semiconductor manufacturing. By adhering to this standard, organizations can ensure a consistent methodology for evaluating cleanroom performance, thereby enhancing reliability and compliance with regulatory requirements. Moreover, while ISO 14644-3:2005 is not intended for the measurement of products or processes within cleanrooms or separative devices, its focused approach allows for clear delineation of responsibilities in maintaining the integrity of cleanroom environments. This makes it an essential reference for professionals involved in the design, operation, and qualification of cleanrooms, highlighting its significance in establishing best practices and ensuring operational excellence. Overall, ISO 14644-3:2005 stands out as a definitive standard that facilitates the effective monitoring and validation of cleanroom performance, thereby contributing to the overall reliability of processes dependent on controlled environments.
Die ISO 14644-3:2005 stellt einen wesentlichen Standard im Bereich der Reinräume und der damit verbundenen kontrollierten Umgebungen dar, da sie spezifische Prüfmethoden zur Klassifizierung der airborne particulate cleanliness festlegt. Der Standard ist entscheidend für die Gewährleistung der Qualität und Reinheit in verschiedenen Reinraumtypen, indem er die Leistungsfähigkeit von Reinräumen und Reinzonen charakterisiert. Ein herausragendes Merkmal von ISO 14644-3:2005 ist die Differenzierung zwischen Reinräumen mit unidirektionalem und nicht unidirektionalem Luftstrom. Diese Klassifizierung ermöglicht es Fachleuten, gezielte Prüfmethoden auszuwählen, die den spezifischen Anforderungen ihrer Reinraumgestaltung gerecht werden. Der Standard berücksichtigt drei verschiedene Belegungszustände – as-built, at-rest und operational – was eine umfassende Bewertung der Reinraumleistung zu unterschiedlichen Betriebsbedingungen ermöglicht. Die Relevanz von ISO 14644-3:2005 ist in der heutigen Industrie von großer Bedeutung, insbesondere in Bereichen wie der Pharmazeutik, Biotechnologie und Halbleiterproduktion, wo die Kontrolle von Kontaminationen von höchster Wichtigkeit ist. Die revisionsfähigen Prüfmethoden bieten eine solide Basis zur Sicherstellung, dass die Reinräume die notwendigen Standards für die Luftreinheit erfüllen. Allerdings ist es wichtig zu beachten, dass ISO 14644-3:2005 nicht anwendbar für die Messung von Produkten oder Prozessen innerhalb von Reinräumen oder separativen Geräten ist. Diese Einschränkung hebt die Notwendigkeit hervor, dass Unternehmen auch andere Standards und Richtlinien in Erwägung ziehen müssen, um eine vollständige Bewertung und Kontrolle ihrer Reinraumumgebungen zu gewährleisten. Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die ISO 14644-3:2005 einen unerlässlichen Rahmen für die Testmethoden in Reinräumen bietet und somit zur Aufrechterhaltung hoher Standards in kontrollierten Umgebungen beiträgt. Ihre umfassende Herangehensweise und detaillierten Prüfmethoden machen diesen Standard zu einer wichtigen Ressource für Fachleute in der Reinraumindustrie.
ISO 14644-3:2005는 청정실 및 관련 제어 환경에 대한 표준으로, 공기 중 입자 오염도를 분류하고 청정실 및 청정 영역의 성능을 평가하기 위한 테스트 방법을 명확히 규정하고 있습니다. 이 표준의 강점은 다양한 종류의 청정실과 청정 영역에 대한 테스트 방법을 포함한다는 점입니다. 특히, 일방향 및 비일방향 흐름을 갖는 청정실 각각에 대해 세 가지 점유 상태인 '건축 상태', '정지 상태', '작동 상태'에서의 성능 테스트를 제공함으로써, 청정 환경의 실질적인 평가를 가능하게 합니다. 이러한 포괄적인 접근은 사용자들이 자신의 청정실의 성능을 다양한 상황에서 검증할 수 있도록 해 줍니다. 또한, ISO 14644-3:2005는 청정실 내에서의 제품이나 공정의 측정을 위한 것이 아니므로, 청정실 내의 조건을 평가할 때 명확하고 집중적인 초점을 유지합니다. 이는 사용자들이 원하는 정보에 더욱 쉽게 접근할 수 있게끔 도와주며, 테스트 결과를 해석하는 데 있어 혼란을 줄여줍니다. 이 표준은 청정실 환경을 운영하는 다양한 산업 분야에서 매우 중요한 참고자료로 자리 잡고 있으며, 테스트 방법의 객관성을 확보하는 데 기여하고 있습니다. ISO 14644-3:2005는 청정실의 성공적인 운영과 유지 관리를 위해 필수적으로 참고해야 할 문서입니다.
Questions, Comments and Discussion
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