ISO 3529-2:1981

INTERNATIONAL STANDARD
NORME INTERNATIONALE
MEXAYHAPO~Hbllil CTAHAAPT
INTERNATIONAL ORGANIZATION FOR STANDARDIZATIONWlE~YHAPO~HAR OPTAHM3ALWlR I-IO CTAHAAPTM3Al&lWORGANISATION INTERNATIONALE DE 6lORMALISATION
Vacuum technology - Vocabulary -
Part 2 : Vacuum Pumps and related terms
First edition - 1981-12-15
Technique du vide - Vocabulaire -
Partie 2 : Pompes ti vide et termes associes
Premiere Edition - 1981-12-15
BaKyyMtiasi TeXHHKa - CJlOBapb -
%CTb 2: BaKyyMHble HaCOCbl Pl OTHOCfl~aSlCfl K HVIM TePMHHOnOWlPl
rlepBoe HsAaHHe - 19814245
Verzeichnis von Fachausdrücken und Definitionen -
Vakuumtechnik -
Teil 2 : Vakuumpumpen und zugehörige Begriffe
\eL
UDClCDUlYAK 621.52.001.4 Ref. No./Rhf. no : ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
kk!g
CCblflKa No : MC0 3529/2=1981(A/@/P)
45s
Pr
Descriptors : vacuum apparatus, vacuum Pumps, vocabulary./Descripteurs : appareil 3 vide, pompe 3 vide, vocabulaire./~ecKpwTopbi :
dJ+
YCTBHOBKM BBKyyMHble, HXOCbl BaKyyMHble, CJlOBBpb.
4%
~ln
mrn
*0
Price based on 31 pages/Prix base sur 31 pages/L(ei!a paccrwatia Ha 31 CTp.
v,s
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of
national Standards institutes (ISO member bodies). The work of developing lnter-
national Standards is carried out through ISO technical committees. Every member
body interested in a subject for which a technical committee has been set up has the
right to be represented on that committee. International organizations, governmental
and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
Draft International Standards adopted by the technical committees are circulated to
the member bodies for approval before their acceptance as International Standards by
the ISO Council.
International Standard ISO 3529/2 was developed by Technical Committee
ISO/TC 112, Vacuum technology, and was circulated to the member bodies in
October 1978.
lt has been approved by the member bodies of the following countries :
Australia Italy South Africa, Rep. of
Belgium Japan Spain
Czechoslovakia United Kingdom
Mexico
France Netherlands USA
Germany, F. R. Poland
India Romania
No member body expressed disapproval of the document.
@ International Organkation for Standardization, 1981 0
Printed in Switzerland
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une federation mondiale
d’organismes nationaux de normalisation (comites membres de I’ISO). L’eiaboration
des Normes internationales est confiee aux comites techniques de I’ISO. Chaque
comite membre interesse par une etude a Ie droit de faire Partie du comite technique
correspondant. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouverne-
mentales, en liaison avec I’ISO, participent 6galement aux travaux.
Les projets de Normes internationales adoptes par les comites techniques sont soumis
aux comites membres pour approbation, avant leur acceptation comme Normes inter-
nationales par Ie Conseil de I’ISO.
La Norme internationale ISO 3529/2 a etc elaboree par Ie comite technique
ISO/TC 112, Technique du vide, et a etc soumise aux comites membres en octobre
1978.
Les comites membres des pays suivants I’ont approuvee :
Afrique du Sud, Rep. d’ Inde Roumanie
Allemagne, R. F. Italie Royaume-Uni
Australie Tchecoslovaquie
Japon
Mexique
Belgique USA
Espagne Pays- Bas
France Pologne
Aucun comite membre ne I’a desapprouvee.
0 Organisation internationale de normalisation, 1981
Imprimb en Suisse
MC0 (Mex,qyHapoAtiaR Oprawma~m no CTati,qapTtmaqbw) s!BmeTcfi BceMupHoti @e,qepa-
ql+leh HaQldOHaJlbHblX OpraHM3aL@ fl0 CTaHfiapTl43aLJWl (WeHOB MCO). fle5lTeflbHOCTb fl0
pa3pa60TKe Mek,qyHapO,qHblX CTaHAapTOB npOBO#lTUI TeXHtWeCKMMM KOMMTeTaMM MCO.
flm60M WleH OpraHM3a4Ml4, 3aIlHTepeCOBaHHblh B ~eSITenbHOCTi4, pF4 KOTOpOti 6bm CO3AaH
TeXHWleCKMfi KOMMTeT, MMeeT flpaB0 6blTb llpedCTaBfleHHblM B 3TOM KOMMTeTe. npaBb+lTeflb-
CTBeHHble M HenpaBIlTenbcTBeHHble MeX$!JyHapOAHble OpraHM3a4MM, IlMetO~kle CBF13M C HCO,
TaKme IipMHMMatOT yqaCTkle B paoo-re.
flpOeKTbl Me~yHapO~Hblx CTaHAapTOB, flpMH5ITble TeXHWleCKMMM KOMMTeTaMM, paCCbl-
natomx weHaM oprawmaqw Ha o,qo6pewe nepeA y-rBepx,qeHMeM MX CoseToM MC0
B KaqeCTBe Me~yHapO~Hblx CTaHAapTOB.
fVk~yHapO~HblI8 CTaHAapT MC0 352912 6bln paspa60TaH TeXHweCKMM KOMMTeTOM
MCOA-K 112, &iKyyhwaR TeXHHKa, M pa3OCnaH KOMMTeTaM-WeHaM B OKTfl6pe 1978 ro,qa.
OH 6bln oAo6peH KOMUTeTaMM-WleHaMM CneAytOqMX CTpaH:
ABCT~~~WI HblJqepnaH/JoB @paHqwl
6enbrvu4 rlonbLwl qexocnoBaKw4
MH#Nl PyMblHMM DAP
McnaHm COeflMHeHHOrO KOpOneBCTBa FlnOHMM
MTanw CLLIA
bktaxta @eAepaTMBHoM Pecny6mKM repMaHku4
HH O#IH KOMMTeT-WeH He Bblpa3kIn HeO,qO6petitM 3TOMy JJOKyMeHTy.
0 MemgyHapoAHan OpratwsaqHA no CTaH~apmnaqw, 1981 l
VlsAaHo B UJBefiqapw
iv
Page
Contents
Scope and field of application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2 Vacuum Pumps and related terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Annexes
..................................
A Classification table of vacuum Pumps.
A.l English .
A.2 French .
A.3 Russian .
A.4 German .
Indexes
English .
...........................................................
French.
Russian .
German .

Page
Sommaire
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Objet et domaine d’application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2 Pompes h vide et termes associhs . . . . . . . . . . . . . . . . .
Annexes
............................. 18
A Tableau de classification des pompes a vide
A.1 Anglais .
A.2 Francais .
A.3 Russe .
A.4 Allemand .
Index
Anglais .
Francais .
..............................................................
Russe
Allemand .
vi
CTP.
06beKT VI 06nacTb npMMeHeHm . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
2 BaKyyMHble HaCOCbl M OTHOC~llJa5WI K HMM TepMl4HOJlOWl5l . . . . . . . . . . 3
llpbmomews4
A Ta6mqa KJIaCCMC@KC\tyM BaKYYMHblX HaCOCOB . . 18
A.l AHrnMtiCKMti . . 18
A.2 @paHQI3CKi@l . . 19
A.3 PYCCKML;i . . . . . . . ‘. . . . . .
....... 20
t-heqtwh . .
A.4 . 21
hct>aBMTHblti yKa3aTenb
AHrnidr(rCKMti . . . . . . . . . . . . . . . . 22
@paHqY3CKMti . 25
PYCCKLlti .
tieMeqK~h .
vii
Seite
Inhalt
Zweck und Anwendungsbereich. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2 Vakuumpumpen und zugehörige Begriffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Anhänge
A Einteilung der Vakuumpumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
A.l Englisch .
....................................................... 19
A.2 Französisch
A.3 Russisch .
........................................................ 21
A.4 Deutsch.
Alphabetisches Stichwortverzeichnis
Englisch . 22
Französisch .
Russisch .
............................................................ 29
Deutsch
. . .
VIII
INTERNATIONAL STANDARD
ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
NORME INTERNATIONALE
VI CO 3529124 981 (AIWP)
MEXAYHAPOJJHblül CTAHAAPT
Vacuum technology - Vocabulary -
Part 2 : Vacuum Pumps and related terms
Technique du vide - Vocabulaire -
Partie 2 : Pompes A vide et termes associes
BaKyyMtiaFI TeXHldKa - CJIOBapb -
L(aCTb 2: BaKyyMHble HaCOCbl Pl OTHOCSI~WICSI K HeAM TePMHHOflOWlFl
Vakuumtechnik - Verzeichnis von Fachausdrücken und Definitionen -
Teil 2 : Vakuumpumpen und zugehörige Begriffe

ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
VI CO 3529124 981 (AIWP)
Scope and field of application Objet et domaine d’application
La presente Partie de I’ISO 3529 donne les definitions des diffe-
This part of ISO 3529 gives definitions of vacuum Pumps and
related terms. It is a continuation of ISO 3529/1 which defines rentes pompes a vide et des termes associes. Elle fait Suite a
general terms used in vacuum technology. I’ISO 3529/1 qui definit les termes generaux utilises en techni-
que du vide.
NOTES
NOTES
1 En Supplement aux termes donnes dans les trois langues officielles
1 In addition to terms used in the three official ISO languages
de I’ISO (anglais, francais et russe), Ia presente Norme internationale
(English, French and Russian), this International Standard gives the
donne les termes equivalents en allemand; ces termes ont etc inclus a
equivalent terms in the German language; these have been included at
Ia demande du comite technique ISO/TC 112 et sont publies sous Ia
the request of Technical Committee ISO/TC 112, and are published
responsabilite du comite membre de I’Allemagne, R. F. (DIN).
under the responsibility of the Member Body for Germany, F.R. (DIN).
Toutefois, seuls les termes et definitions donnes dans les langues of-
However, only the terms and definitions given in the official languages
ficielles peuvent etre consideres comme termes et definitions ISO.
tan be considered as ISO terms and definitions.
2 Les abreviations suivantes sont utilisees pour les termes francais et
allemands :
2 The following abbreviations are used in connection with the F
and German terms in this docu ment :
(m) masculin
feminin
(fl
(nd masculi ne
(n) neutre
feminine
(fl
(n) neuter
2 Vacuum and related terms 2 Pompes ZI vide et termes associh
2.1 Vacuum Pumps Pompes 2 wide
2.1.0 vacuum pump : A device for creating, improving pompe G vide (f) : Dispositif permettant de faire, d’ameliorer
ou de maintenir Ie vide. On peut considerer deux categories
and/or maintaining a vacuum. Two basically distinct categories
may be considered : gas transfer Pumps (2.1.1 and 2.1.2) and essentiellement distinctes : les pompes a transfert (2.1 .l et
entrapment or Capture Pumps (2.1.3). 21.2) et celles a fixation (2.1.3).
pompe (5 vide) volumetrique (f) : Pompe a vide dans
2.1.1 positive displacement (vacuum) pump : A vacuum
laquelle un volume rempli de gaz est isole cycliquement de
pump in which a volume filled with gas is cyclically isolated
I’admission, ce gaz etant ensuite transfere vers un refoulement.
from the inlet, the gas being then transferred to an outlet. In
most types of positive displacement Pumps the gas is com- Dans Ia plupart des types de pompes volumetriques, Ie gaz est
comprime avant son refoulement. On distingue les pompes
pressed before the discharge at the outlet. Two categories tan
be considered : reciprocating positive displacement Pumps volumetriques alternatives (2.1.1.1) et les pompes volumetri-
(2.1 .l .l) and rotary positive displacement Pumps (2.1 .1.2 to ques rotatives (2.1.1.2 a 2.1.1.4).
2.1.1.4).
2.1.1.0 Terms relating to positive displacement Pumps Termes relatifs auw pompes volum6triques
2.1.1.0.1 gas ballast (vacuum) pump : A positive displace- pompe (ti vide) ti injection de gan If) : Pompe volumetrique
dans laquelle un dispositif permet I’injection d’une quantite
ment pump in which a controlled quantity of a suitable non-
reglable d’un gaz non condensable au cours de Ia Phase de
condensable gas is admitted during the compression part of the
compression du cycle de pompage, afin de reduire les conden-
cycle so as to reduce the extent of condensation within the
sations a I’interieur de Ia pompe. Ce dispositif peut etre incor-
pump. This device may be incorporated in any types of Pumps
pore a chacun des types de pompes definis en 2.1 .1.3.1 a
in 2.1.1.3.1 to 2.1.1.3.3.
2.1.1.3.3.
psmpe 5 vide 5 bain d’huile [6 bain de liquide] (f) : Pompe
2.1.1.0.2 oil-sealed [liquid-sealedl vacuum pump : A
rotary positive displacement pump in which oil is used to seal volumetrique rotative dans laquelle on utilise un bain d’huile,
the gap between Parts which move with respect to one another pour assurer I’etancheite relative des volumes a pressions diffe-
rentes et pour diminuer Ie volume nuisible a Ia fin de Ia Phase de
and to reduce the residual free volume in the pump chamber at
the end of the compression part of the cycle. compression du cycle.
2.1.1.0.3 dry-sealed vacuum pump : A positive iV tide SMW Pompe volumetrique bain
displace- (f) : sans
PomPe
ment pump which is not oil-sealed (liquid-sealed). d’huile ( sans bain de liq uide).
ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
MC0 352912~1981 (AIWP)
06beKT M 06naCTb llfNlMeHt?HWl Zweck und Anwendungsbereich
B HaCTOfitqeti ‘iaCTI/I L’lCO 3529 JJaHbl Onpe~eneHi4~ BaKyyMHblX Dieser Teil von ISO 3529 enthält Definitionen von Va-
HaCOCOB Pl OTHOCFl~lAXCSl K HMM TepMMHOB. 3TOT 4OKyMeHT FIBJWeTCFi kuumpumpen und zugehörigen Begriffen. Sie ist die
ilpO,4OJDKeHVleM AOKyMeHTa HC0 3!%?9/1, KOTOpblti Ollpe~en5le-r 061.4yto Fortsetzung von ISO 3529/1, in welcher die allgemei-
TepMVlHOnOrVltO, WlOnb3yeMytO B BaKyyMHOil TeXHVlKe. nen, in der Vakuumtechnik üblichen Begriffe definiert
werden.
I-lPklMEEL-IAHWl
Die Fachausdrücke sind in Englisch, Französisch, Russisch
1 KpoMe TepMWiOB Ha TpeX OC@lL(MaJlbHblX F13blKaX MC0 (aHrJWltiCKOM, @paH-
und Deutsch angegeben, die Definitionen nur in Englisch,
L/y3CKOM kl pyCCKOM) B 3TOM Me>KflytiapOAHOM CTaHAapTe AaHbl 3KBklBaJleHTbl
Französisch und Russisch.
TepMMHOB Ha HeMeL/KOM 543blKe. OHM 6buw BKfltOqeHbl l-l0 npocb6e TexHw-iec-
KOTO KOMnrnTeTa l’lCO/TK 112 VI ny6nuKytOTCR t-IO4 OTBeTCTBeHHOCTb KOMviTeTa-
Im Dokument benutzte Abkürzungen :
qneHa @eAepaTldBHoil Pecny6nuKM repMaHw4 (DIN). OJJHaKO, TepMviHaMVl M
(m) maskulin
Ol-lpe,fJeneH~fiM~ IKO MOryT WMTaTbCF1 TOJ-lbKO TepMMHbl M OllpeAeneHVl54,
(f) feminin
,LJaHHble Ha OC@‘ll+laJlbHblX R3blKaX 3TOti OpraHkl3aqHU.
(n) neutrum
2 B HeMeqKOtl M qaCTFTX JOKyMeHTa t’WlOJlb3yKITC54 CJle,4ytOqkle
CoKpalqeHvlfl:
(m) My>KCKOrO poAa
MeHcKoro pofia
(0
(n) cpeAHer0 poAa
2 Vakuumpumpen und zugehörige
2 BaKyyMHble HaCOCbl M OTHOC5lU(aSlC5ll K HMM
Begriffe
Tf?pMMHOJlOWl~
Vakuumpumpen
2.1 BaKyyMtible HaCOCbl
2.1 .O saKyywibiH Hacoc: YCT~OMCTBO AnFt co3AaHw noBbiweHi4fi Vakuumpumpe (f)
IdWWI flO&qep~aHWI BaKyyMa. t-iacocbl MOryT 6blTb pa3AeneHbi Ha
ABe OCHOBHble rpyllf-lbl: nepeKawBatoqMe Hacocbl (2.1 .l-2.1.2) M
ynasnvrsatotqfle w-iti 3axBaTblBaawi4e Hacocbl (2.1.3).
Verdrängervakuumpumpe (f)
2.1.1 HacOC (BaKYYMHbl#) 06beMHOr0 @iCTBH% BaKyyMHblIi HaCOC,
B K~TOPOM o6beM, 3anonHeHHblti ra30M, nepi4oflwecKM oTceKaeTc9
OT BXOAa, a ra3 3aTeM nepeMeqaeTcfi K BblXOAy. B 60nbUJHHCTBe
Tt’ll-lOB 06beMHblX HaCOCOB ra3 nepep, Bbl6paCbiBaHIAeM Ha BblXOAe
C>KMMaeTCFI. MO>KHO BblAenMTb ,qBe rpynnbl HaCOCOB 06beMHoro Aeil-
CTBMFI: llOpUlHeBble HaCOCbl(2.1.1.1) M BpaqaTenbHble HaCOCbl(2.1 .1.2-
2.1 .l .4).
2.1.1.0 TepMHH OJ-lOWlFI, OTHOCS’lllJa5lC~ K H acocaM 06beMHOrO Ausdrücke, die si ch auf Verdrängerva kuum-
~eih@TBHR pumpen beziehen
Gasballastvakuumpumpe (f)
2.1 .a .O.l i-a306aJ’IJIaCTHblti (BaKYYMHbl@i) HaCOC: Hacoc 06beMHOrO
,iIjetiCTBolA, B KOTOpbli BO BpeMFl llpOqeCCa C>KaTMFl IlOAaeTCFl ,403W
pyeMOe KOnMqeCTBO COOTBeTCTBytO~erO HeKOH~eHCVlpyKIlqerOCFl ra3a
C TeM, wO6bl yMeHbWVITb CTerleHb KOH,4eHCaqWl B HaCOCe. ra3o6an-
naCTHblMl4 yCTpOtiCTBaMl4 MOryT 6blTb OCHaqeHbl nto6bie Tl’lllbl HaCO-
COB, yKa3aHHble B 2.1 .l .3.1-2.1 .l .3.3.
2.1.1.0.2 BaKyYMHbliii HaCOC C MaCJlfiHblM (Wl~KOCTHblM) YNlOTHe- ölgedichtete (flüssigkeitsgedichtete) Vakuum-
HHeM: BpaLL/aTenbHblii HaCOC 06-beMtiOrO AetiCTBldFI, B KOTOpOM MaCnO pumpe (f)
wnonbsyercfi An9 3anonHeHwi 3a30poB MexAy Bpa~atq~M~cfi
OTHOCMTenbHO P,pyr Apyra qaCTfiMM Ll ,4JlFl yMeHbl.UeHWI BpeAHOrO
flpOCTpaHCTBa B KaMepe Hacoca B KOHqe npoqecca C>KaTvlFI.
2.1 .l CYXYIM YrUlOTHeHkleM: Hacoc o6beM- trockenlaufende Vakuumpumpe (f)
.8.3 BilK’yyMHblii HaCOC C
HOTO ,qeicrem 6e3 Mac~~HorO (>KVIjJKOCTHOrO) yllnOTHeHW4.

ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
VI CO 352912-1981 (A/@/P)
2.1.1.1 Piston vacuum pump : A positive displacement pompe a vide 6 Piston alternatif (f) : Pompe volumetrique
pump in which the gas is compressed and expelled due to the dans laquelle Ie gaz est comprime et expulse par Ie mouvement
alternatif d’un Piston dans un cylindre.
movement of a reciprocating Piston moving in a cylinder.
2.1.1.2 liquid ring vacuum pump : A rotary positive pompe 6 vide a anneau liquide (f) : Pompe volumetrique
displacement pump in which an eccentric rotor with fixed rotative dans laquelle un rotor excentre a ailettes projette un
blades throws a liquid against the Stator Wall. The liquid takes liquide contre Ia paroi du Stator. Ce liquide prend Ia forme d’un
anneau concentrique au Stator et coopere avec les ailettes du
the form of a ring concentric to the Stator and combines with
rotor pour definir un volume variable.
the rotor blades to define a varying volume.
2.1.1.3 Rotary Pumps using sliding separators
Pompes rotatives a separateurs coulissants
2.1.1.3.1 sliding vane rotary vacuum pump : A rotary
pompe a vide 6 palettes (f) : Pompe volumetrique rotative
positive displacement pump in which an eccentrically placed
dans laquelle un rotor excentre tourne en restant tangent a une
rotor is turning tangentially to the fixed sutface of the Stator.
Two or more vanes sliding in Slots of the rotor (usually radial) generatrice ou a une surface fixe du Stator. Dans des fentes
and rubbing on the internal wall of the Stator, divide the Stator habituellement radiales du rotor, coulissent deux ou plusieurs
chamber into several Parts of varying volume. palettes qui glissent sur Ie Stator et qui divisent ainsi Ia chambre
statorique en plusieurs compat-timents de volume variable.
2.1.1.3.2 rotary Piston vacuum pump : A rotary displace- pompe a vide a Piston tournant (f) : Pompe volumetrique
ment pump in which a rotor is turning eccentrically, in contact rotative dans laquelle un rotor tourne excentriquement en con-
with the internal wall of the Stator. A device moving relative to tact avec Ia paroi interne du Stator. Un dispositif qui se deplace
the Stator is pressed against the rotor and divides the Stator par rapport au Stator s’appuie sur Ie rotor et divise Ia chambre
chamber into Parts of varying volume. statorique en compartiments de volume variable.
2.1.1.3.3 rotary plunger vacuum pump : A rotary displace- pompe a vide a Piston oscillant (f) : Pompe volumetrique
rotative dans laquelle un rotor roule excentriquement sur Ia
ment pump in which a rotor is turning eccentrically to the inter-
paroi interne du Stator. Une Palette liee rigidement au rotor
nal wall of the Stator. The Stator chamber is divided into two
Parts of varying volume by a vane rigidily fixed to the rotor. The divise Ia chambre statorique en deux compartiments de volume
vane slides in a plug oscillating in an appropriate housing in the variable. Elle coulisse dans une noix qui oscille dans un loge-
ment adequat du Stator.
Stator.
2.1.1.4 Roots vacuum pump : A positive displacement depresseur Roots (m) : Pompe volumetrique dans laquelle
pump in which two lobed rotors, interlocked and synchronized,
deux rotors en forme de huit, imbriques et synchronises, tour-
rotate in opposite directions moving past each other and the nent en sens inverse I’un par rapport a I’autre. Les rotors ne se
housing wall with a small clearance and without touching.
touchent pas et ne touchent pas Ia paroi de Ia pompe. Le jeu
entre les pieces est faible.
2.1.1.5 trochoid pump : pompe trochoide (f) :
A rotary positive displacement Pompe volumetrique rotative dans
pump in which the Cross-section of the rotor has trochoidal laquelle Ia section droite du rotor est en forme de trocho’ide
shape (for example an ellipse) whose centre of gravity describes (par exemple une ellipse) dont Ie centre de gravite decrit un cer-
a circle. cle.
2.1.2 kinetic vacuum pump : A vacuum pump in which a
pompe a vide cinetique (f) : Pompe a vide dans laquelle une
momentum is imparted to the gas or the molecules in such a quantite de mouvement est communiquee au gaz ou aux mole-
way that the gas is transferred continuously from the inlet to cules, de teile facon que Ie gaz soit transfere, sans Solution de
the outlet. Two categories tan be considered : fluid entrain- continuite, de I’admission vers Ie refoulement. On distingue des
pompes cinetiques a fluide moteur et des pompes cinetiques a
ment Pumps and drag vacuum Pumps.
entrainement mecanique.
2.1.2.1 turbine vacuum pump : A rotary kinetic pump in depresseur a turbine (m) : Pompe cinetique tournante dans
which the transfer of a large amount of gas is obtained by a laquelle Ie transfert de grandes quantites de gaz est obtenu a
rapidly rotating device.
The dynamic sealing is obtained I’aide d’un dispositif tournant a grande vitesse. L’etancheite
without rubbing. The gas flow either may be directed parallel to dynamique est obtenue sans frottement. La circulation de gaz
the axis of rotation (axial flow pump) or at right angles to the
se fait, ou bien suivant I’axe de Ia pompe (depresseur 21 flux
axis of rotation (radial flow pump).
axial), ou bien perpendiculairement a I’axe de Ia pompe Idepres-
seur a flux radial).
ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
MC0 3529124 981 (AIWP)
2.1 .l .l nOplllHeBOti BaKYYMHblfi HaCOC: Hacoc 06beMHOrO ,4ehCTBL’lSI, Hubkolbenvakuumpumpe (f)
B ~0~0p0~ c>KaTMe M 9bl6poc ra3a npoi4cxo~~~ B pe3ynbTaTe t303-
BpaTHO-flOCTyllaTeflbHOr0 ,4BWKeHVlFI flOpLUHFI B ~WWlH~pe.
2.1.1.2 IKHJjKOCTHOKOJlb~eBO@l BaKYYMHblii HaCOC: BpaUjaTenbHblti Flüssigkeitsringvakuumpumpe (f)
HaCOC 06beMHOrO JJehCTBVIFI, B KOTOpOM 3KC~eHTpMKOBblfi pOTOp C
HellO~BM~HblMM JlOl-laTKaMM OT6paCblBaeT WlflKOCTb K CTeHKe CTaTOpa.
xl4,4KOCTb llpVlHl4MaeT @OpMy KOJlbqa, KOH~eHTpWeCKOrO OTHOCM-
TeJlbHO CTaTOpa, M BMeCTe C nOllaTKaMVI 0llpeAeflsie-r l43MeHFltO~I’lfiCR
o6beM.
2.1.1.3 POTa4HOHHble HaCOCbl CO CKOJlb35l~HMH OT~NlldTWlSIMH. Rotationstrennschiebervakuumpumpen
Drehschiebervakuumpumpe (f)
2.1.1.3.1 flJlaCTPlHWT0-pOTa~HoHHblii BZlKYYMHbl6i HFICOC: Bpaqa-
TeJlbHblti HaCOC 06beMHOrO JJetiCTBMFI, B KOTOpOM 3KC4eHTpMqHO yCTa-
HOBJleHHblti pOTOp BpaqaeTCfi TaHreHqMaJlbHO OTHOCPlTeJlbHO HenOp,-
9111~~0ti nosepxHocTH cTaTopa. pl9e w-w 6onee nnacTMHbl, cKonb3fiiq4e
B npope3Fix poTopa (06blqHo paAuranbH0) M npvrwMatotqrlrecfi K BHy-
TpeHHeti CTeHKe CTaTOpa, AeJlfiT KaMepy CTaTOpa Ha nOJlOCTVl C
MBMeHRt&lMCR 06beMOM.
2.1.1.3.2 POTa~HOHHblti BaKYYMHblti HWOC: BpaI.L/aTenbHblti HaCOC
06beMtiOrO AetiCTBMR, B KOTOpOM 3KCL/eHTpWHO yCTaHOBJleHHblti pOTOp
spai.qaeTcfi, npvwr/rMaficb K BHyTpeHHeti cTeHKe cTaTopa. YCTPOMCTBO,
fiswytqeec54 OTHOCMTeJ-lbHO c-ra-ropa, npwtwMaeTcfi K pOTOpy M AenMT
KaMepy CTaTOpa Ha nOnOCTt4 C M3MeHWO~MMC5I 06beMOM.
2.1.1.3.3 llJlyHNN!pHblti BaKyYMHbl6i HaCOC: BpaqaTenbHblti HaCOC Sperrschiebervakuumpumpe (f)
06beMHoro AetiCTBVlg, B KOTOpOM pOTOp BpalqaeTCfl 3KCqeHTpWHO
OTHOCMTeJlbHO BHyTpeHHeli CTeHKLl CTaTOpa. nJlaCTVlHOti, >KeCTKO
3aKpenneHHoi Ha po-rope, KaMepa cTaTopa AenvrTcfi Ha Ase nonocTi4
C M3MeHFItOlljMMCFI 06beMOM. f%-iaCTMHa CKOnb3MT B flnyH>Kepe, KO-
ne6ntotqeMcR B COOTBeTCTBytO~eM rHe3Ae CTaTOpa.
Wälzkolbenvakuumpumpe (f); Rootspumpe (f)
2.1.1.4 BaKyyMHbliii HaCOC PyTCa: Hacoc 06beMtiOrO AehCTBMFI, B
KOTOpOM flBa B3aMMHO CBF13aHHblX pOTOpa, n0 @OpMe HanOMtiHatOlqMX
BOCbMepKM, CMHXpOHHO Bpa~atOTCFl B npOTlABOnOJlO>KHblX HanpaBJle-
HWlX C OqeHb MaJlblM 3a30pOM Vl He KaCaACb Apyr Apyra VI CTeHOK
KaMepbl.
2.1 .1.5 TPOXOH&JlbHblh HaCOC: BpaqaTenbHblh HaCOC 06beMtiOrO Kreiskolbenvakuumpumpe (f)
fieMcT9wq y KoToporo nonepeqHoe ceqeHMe poTopa MMeeT Tpoxovr-
AanbHytO @OpMy (HallpPlMep, 3nnWlCa), L(eHTp TFl>KeCTL’l KOTOpOrO
OrlvlcblBaeT Kpyr.
2.1.2 KHHeTlWeCKHti BaKyyMHbllil HaCOC: BaKyyMHblh HaCOC, B KOTO- kinetische Vakuumpumpe (f)
POM ra3y IN-IM MOneKynaM CKOpOCTb coo6qaeTc5i TaKVlM o6pa3oM, qT0
ra3 HenpepblBHo nepeMeqaeTcfi 0~ sxoAa K 9blxoAy. 3Aecb pa3nw
qatOTC5l ABe rpynnbl HaCOCOB: 1) HaCOCbl, B KOTOpblX OTKaqKa OCyu(e-
cTBn54eTwi 3a cqeT 3axBaTa ra3a i4nM MoneKyn ra3a c-rpyeii padorero
Tena; 2) HaCOCbl, B KOTOpblX CKOpOCTb coo6qaeTcfi ABl4>KyqMMVICR
nOBepXHOCTRMM TBep,fJOrO Tena.
2.1.2.1 BaKYYMHblti Typ6OHaCOC: BpaiqaTenbHblh KMHeTWeCKMh Turbovakuumpumpe (f)
Hacoc, B K~T~POM nepeKaqKa 6onbLuoro KonwiecTBa ra3aAocTwaeTw
3a weT 6blcTpo spa~atoqerocfi ycTpoMcTsa. #HaMwecKoe ynno-r-
HeHMe AocTwaeTcfi 6e3 TpeHvw. ~OTOK ra3a HanpaBnfieTcfi nvr6o na-
pannenbH0 OCM BpaqeHwl (Hacoc c OCeBblM rlOTOKOM), nvr6o nag
np5lMblMVl yrnaMl4 K OCM BpalljeHWI (HaCOC C pa&PlaJlbHblM nOTOKOM).

ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
VI CO 3529124 981 (A/@/P)
2.1.2.2 ejector vacuum pump : A kinetic pump which uses pompe a vide 5 ejecteur (f); ejecteur (m) : Pompe cinetique
qui utilise Ia depression creee par un effet Venturi et dans
the pressure decrease due to a Venturi effect and in which the
gas is entrained in a high-speed stream towards the outiet. An laquelle Ie gaz est entraine dans un jet a grande vitesse vers Ie
refoulement. Un ejecteur fonctionne correctement dans les
ejector pump operates when viscous and intermediate flow
conditions d’un regime visqueux ou intermediaire.
conditions obtain.
2.1.2.2.1 liquid jet vacuum pump : An ejector pump in trompe 5 vide (f) : Ejecteur qui utilise un liquide (habituelle-
which the entrainment fluid is a liquid (usually wate+ ment de I’eau) comme fluide d’entrainement.
in which ejecteur a gaz pour Ie vide (m) : ijecteur qui
2.1. 2.2.2 gas jet va cuum p ump : An ejector utilise un gaz
Pump
the en tra inment fluid non condensable com me fluide d’ entrainement.
1s a non -conde nsable gas
2.1.2.2.3 vapour jet vacuum pump : An ejector pump in hjecteur 5 vapeur pour Ie vide (m) : Ejecteur qui utilise une
which the entrainment fluid is a vapour (water, mercury or oil vapeur (d’eau, de m,ercure ou d’huile) comme fluide d’entraine-
vapou r) .
ment.
2.1.2.3 diffusion pump : A kinetic pump in which a low- pompe a diffusion (f) : Pompe cinetique dans laquelle une
pressure, high-speed vapour stream provides the entrainment nappe de vapeur a faible Pression, animee d’une grande
fluid. The gas molecules diffuse into this stream and are driven vitesse, sert de fluide d’entraFnement. Les molecules de gaz dif-
to the outlet. The number density of gas molecules is always fusent dans cette nappe et sont entraFnees vers Ie refoulement.
low in the stream. A diffusion pump operates when molecular
Le nombre volumique de molecules de gaz est toujours faible
flow conditions obtain. dans Ia nappe de vapeur. Une pompe a diffusion fonctionne
correctement en regime moleculaire.
2.1.2.3.1 self-purifying diffusion pump : An oil vapour dif- pompe G diffusion autorectifiante (f) : Pompe a diffusion a
fusion pump in which the volatile impurities of the operating vapeur d’huile concue de teile facon que les impuretes volatiles
du fluide moteur soient, autant que possible, rejetees par Ie
fluid are prevented from returning to the boiler but are
refoulement 21 I’exterieur de Ia pompe et ne puissent ainsi
transported towards the outlet by a special design.
retourner a Ia chaudiere.
2.1.2.3.2 fractionating diffusion pump : A multi-stage oil pompe 2 diffusion fractionnante (f9 : Pompe a diffusion a
vapour diffusion pump in which the lowest pressure Stage is vapeur d’huile a plusieurs etages, dans laquelle I’etage a Ia plus
supplied with the more dense, low vapour pressure constit-
basse Pression est alimente par les elements les plus denses, a
uents of the operating fluid, and where the higher pressure basse Pression de vapeur, du fluide moteur, tandis que les eta-
stages are supplied with the less dense constituents of higher ges a Pression plus elevee sont alimentes par les elements les
vapour pressure.
moins denses, de Pression de vapeur plus elevee.
2.1.2.4 diffusion-ejector pump : A multi-stage kinetic pompe ti diffusion et ti ejecteur (f) : Pompe cinetique a plu-
pump in which a Stage or stages having the characteristics of a sieurs etages dans laquelle un ou plusieurs etages ayant les
diffusion pump are succeeded by a Stage or stages having the caracteristiques d’une pompe a diffusion sont suivis par un ou
characteristics of an ejector pump. plusieurs etages ayant les caracteristiques d’un ejecteur.
2.1.2.5 molecular drag pump : A kinetic pump in which a pompe mokulaire mhcanique (f) : Pompe cinetique dans
laquelle une quantite de mouvement est communiquee aux
momentum is imparted to the gas molecules by contact bet-
ween them and the surface of a high-speed rotor, causing them molecules de gaz par leur contact avec Ia surface d’un rotor
tournant a grande vitesse, ceci ayant pour effet de diriger les
to move towards the outlet of the pump.
molecules de gaz vers Ie refoulement.
pompe turbomokculaire (f) : Pompe moleculaire mecanique
2.1.2.5.1 turbo-molecular pump : A molecular drag pump
dont Ie rotor camporte des disques, dans lesquels sont mena-
in which the rotor is fitted with discs provided with Slots or
blades rotating between corresponding discs in the Stator. The gees des fentes ou des ailettes et qui tournent entre des disques
analogues portes par Ie Stator. La vitesse Iineaire d’un Point de
linear velocity of a peripheral Point of the rotor is of the same
Order of magnitude as the velocity of the gas molecules. A Ia peripher-ie du rotor est de I’ordre de grandeur de Ia vitesse des
turbo-molecular pump operates normally when molecular flow molecules du gaz. Une pompe turbomoleculaire fonctionne
conditions obtain.
correctement en regime moleculaire.
2.1.2.6 ion transfer pump : A kinetic pump in which the gas pompe 3 ionisation (f) : Pompe cinetique dans laquelle les
molecules are ionized and then transferred towards an outlet by molecules de gaz sont ionisees, puis transferees par I’action de
means of electric fields combined or not with a magnetic field. champs electriques, combines ou non a un champ magnetique,
vers un refoulement.
ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
M CO 3529124 981 (AIWP)
2.1.2.2 3XeKTOPHblti BaKyyMHblti HaCOC: KLIHeTWIeCKMti HaCOC, KO- Treibmittelstrahlvakuumpumpe (f)
TOpbiti wnonb3yeT nOt-wKeHL/le AaBneHw Bcne,qcTBMe 3@@eKTa BeH-
TypVl M B KOTOpOM ra3 yBneKaeTCsi K BblXOfly BblCOKOCKOpOCTHblM nOTO-
KAM. %eKTOpHblti Hacoc pa60TaeT, KorAa MMeeTCFI BR3KVIti M cpeAHelsr
BF13KOCTM I-IOTOK.
2.1.2.2.1 XH~KOCTHO-CTp@iHblti BaKyYMHblii HaCOC: %eKTOpHblM Flüssigkeitsstrahlvakuumpumpe (f)
Hacoc, B K0T0p0~ B Kal-lecTBe pa6orero Tena wnonb3yeTcR w4AKocTb
(06blwiO BoAa).
Gasstrahlvakuumpumpe (f)
2.1.2.2.2 ra303XeKTOpHbliii BaKyyMHblii HaCOC: %eKTOpHblti HaCOC,
9 K0T0p0~ B KaqecTBe padorero Tena wnonb3yeTcfl HeKoHAeHcMpyto-
u.ykm ra3.
2.1.2.2.3 llapO3XeKTOpHblti BaKWMHblii HaCOC: %eKTOpHblfi HaCOC, Dampfstrahlvakuumpumpe (f); Treibdampf-
B KOTOPOM B KaqecTBe pa6orero Tena wnonb3yeTcg nap (BOAFIHOW, vakuumpumpe (f); Ejektorvakuumpumpe (f)
~TS/TM w-w Macna).
2.1.2.3 ,E@C&3ltlOHHblih HaCOC: KMHeTWeCKHti HaCOC, B KOTOpOM Diffusionspumpe (f)
pa6OwM TenOM Cnyxi4-r BblCOKOCKOpOCTHa5l CTpyR llapa C HM3KMM
ga9neHMeM. MoneKynbl ra3a ~~@@y~~wpytoT B 3Ty cTpyt0 14 y9ne-
KatOTCFI et0 K BblXO,4y. KOnWieCTBeHHaFI I-InOTHOCTb MOneKyn ra3a
B CTpye BCeraa HM3Ka. ,&l@@y3MOHHblti HaCOC pa6OTaeT, KOrAa
i4MetoTc9 ycnosvw MoneKynfipHoro noToKa.
2.1.2.3.1 CaMOO~HqatOU+IikR &p@Ct)Y3HOHHbiki Hacoc: napOMa- selbstreinigende Öldiffusionspumpe (f)
cngHbl1/1 flw@@y3~0HHblM Hacoc, B KOTZIEM, 6naroAapg cneqManbHoti
KOHCTpyKqMM, neTyWe IlpPlMeCVl He 903Bpa~atOTCSI B KMlWTMJlbHMK,
a HanpasrvwTc~ K 9blxoAy.
2.1.2.3.2 Ct)PaKl+dOHYIPY)Ol@l flHC@#IY3HOHHblül HaCOC: MHOrOCTy- fraktionierende Öldiffusionspumpe (f)
neHciaTbtM napoMacnflHblti Hacoc, B ~0T0p0M oTKaw9aHue ra3a M3
cTyneHM caMor0 Hi43Koro ~asneHvrfloGecnew9aeTwi 6onee nnoTHblMM
KoMnoHeHTaMM pa6orero Tena, npe~cTa9nw-ot.qvrMvr co6oti cTpyt0 napa
HVl3KOrO AasneHwq a OTKaCIKa Pl3 cTeneHeti 6onee BblCOKOrOflaBneHWl
OCy~eCTBJWeTC54 MeHee I-lnOTHblMVl KOMllOHeHTaMM C 6onee BblCOKMM
AasneHueM napa.
2.1.2.4 ~#~~y3HOHHO=JmeKTOpHblH HaCOC: MHOrOCTyneHraTblii Diffusionsejektorpumpe (f)
KMHeTMqeCKMM HaCOC, B KOTOpOM CTyneHVl WlM CTyneHfiM, VlMetOqMM
XapaKTepPlCTPlKVl 3>KeKTOpHOrO HaCOCa, llpe#lJeCTByeT CTyneHb MnVl
CTylleHVl VlMetO~Vle XapaKTepVlCTHKVl ~VlCjI@y3l4OHHOrO HaCOca.
2.1.2.5 MOJleKyJWlpHbliii HaCOC: KvIHeTWeCKdI HaCOC, B KOTOpOM Molekularpumpe (f)
MoneKynaM ra3a B pe3ynbTaTe MX conpMKocHo9eHwi c nosepxHocTbt0
BblCOKOCKOpOCTHOrO pOTOpa coo6qaeTcR CKOpOCTb, 3aCTaBn5W~a54
MX AswaTbcfi E HanpasneHw Bblxojqa Hacoca.
Turbomolekularpumpe (f)
2.1.2.5.1 Typ6OMOJleKyJWlpHblti HaCOC: MOneKyngpHblti HaCOC, Ha
sany poTopa KoToporo 3aKpenneHbl AM~KM c npope3flMi4 wu4 nona-r-
KaMM. 3TM flMCKVl BpaqatOTCFl Me>KAy COOTBeTCTBytOLl#AMVl JJMCKaMM
cTaTopa. JlMHeMHa9 cKopocTb nep@epwecKoti T~L~KM poTopa Tor0
>Ke nOpRp(Ka, C1TO LI CKOpOCTb MOneKyn ra3a. Typ6oMoneKyn~ptiblti
tiacoc pa60TaeT HOpManbHO, ecnM MMetOTCR ycnoswl MoneKynfipHoro
nOTOKa.
2.1.2.6 HOHHblti HaCOC: KwieTweCKMti HaCOC, B KOTOpOM MCt-IOnb-
Ionentransferpumpe (f)
3yeTc9 npMHqi4n MoHM3aqw MoneKyn ra3a, KoTopble yeneKatoTwi
3aTeM 3neKTpWieCKMMM rlOnF1Mvl BMeCTe C MarHLlTHblM I-lOneM WlM 6e3
Hero B HanpasneHw 9blxoAa Hacoca.

ISO 3529/2-1981 (E/F/R 1
IA CO 3529/2-1981 (ABWP)
2.1.3 entrapment [Capture] vacuum pump : A vacuum pompe 6 vide a fixation (f9 : Pompe a vide sur les parois inte-
rieures de laquelle les molecules de gaz sont fixees par sorption
pump in which the molecules are retained by sorption or con-
densatio n on in ternal surfaces ou condensation.
2.1.3.1 adsorption pump : An entrapment pump in which pompe a physisorption (f); pompe a sorption (f9 : Pompe a
the gas is retained mainly by physical adsorption of a material fixation dans laquelle Ie gaz est principalement fixe par Ia physi-
sorption d’une substance a grande surface reelle (par exemple,
of large real area (for example a porous substance).
une sutface poreuse).
pompe ZI sorbeur (f9 : Pompe a fixation dans Iaquelle Ie gaz
2.1.3.2 getter pump : An entrapment pump in which the gas
est principalement fixe par combinaison chimique avec un sor-
is retained principally by Chemical combination with a “getter”.
This is usually a metal or a metal alloy, either in bulk or in the beur. Celui-ci est habituellement un metal ou un alliage metal-
form of a freshly deposited thin film. lique, sous forme solide ou fraichement depose en couches
minces.
2.1.3.3 sublimation [ tionl p : An entrapment pompe a Sublimation [a evaporationl (f9 : Pompe a fixation
evapora
UmP
pump in which a getter material is subli med [evaporatedl. dans laquelle un sorbeur se sublime [est evapore].
NOTE - In that context NOTE - En ce qui concerne cette dkfinition, I’kvaporation et Ia subli-
evaporation and Sublimation are similar
concepts. mation sont considerees comme des processus semblables.
2.1.3.4 getter ion pump : An entrapment pump in which the pompe ionique a sorbeur (f9 : Pompe a fixation dans laquelle
gas molecules are ionized and then transferred towards a sur- les molecules de gaz sont ionisees, puis transferees vers une
face of the pump on which they are retained by a getter, by surface de Ia pompe sur laquelle, par l’action de champs electri-
ques combines ou non a un champ magnetique, elles sont
means of electric fields, combined or not with a magnetic field.
fixees par un sorbeur.
2.1.3.4.1 Sublimation [evaporation] ion pump : A getter pompe ionique a sublimation [a evaporationl (f9 : Pompe
ionique a sorbeur dans laquelle Ie gaz ionise est transfere vers
ion pump in which the ionized gas is transferred towards a get-
ter which is produced by Sublimation or evaporation in either a un sorbeur sublime ou evapore, soit de facon continue, soit de
continuous or discontinuous way. facon discontinue.
I
sputter ion pump : A getter ion pump in which the pompe ionique a pulverisation : (f9 : Pompe ionique a sor-
2.1.3.4.2
ionized gas is transferred towards a getter which is dispersed in beur dans laquelle Ie gaz ionise est transfere vers un sorbeur
a continuous way by cathodic sputtering. disperse par pulverisation cathodique de facon continue.
,
pompe cryostatique (f9; cryopompe (f9 : Pompe a fixation
2.1.3.5 cryopump : An entrapment pump consisting of sur-
constituee par des surfaces refroidies a temperature suffisam-
faces refrigerated to a low temperature sufficient to condense
ment basse pour condenser les gaz residuels. Le condensat est
residual gases. The condensate is then maintained at a
ensuite maintenu a une temperature teile que Ia Pression de
temperature such that the equilibrium vapour pressure is equal
vapeur d’equilibre soit egale ou inferieure a Ia basse Pression
to or less than the desired low pressure in the chamber.
requise dans I’enceinte.
be in the ran below 120 K
NOTE - The temperature Chosen shall g e
depending on the nature of the gases to be pumped. NOTE - La temperature sera inferieure a 120 K et Ie choix de celle-ci
dependra de Ia nature des gaz a pomper.
2.2 Parts of Pumps ilbments de pompes
2.2.0.1 pump case : Th e externa I wall of a pump, which Corps de pompe (m9 : Enveloppe exterieure d’une pompe, qui
separates the low pressure isole Ie gaz a basse Pression de I’atmosphere.
gas from the a tmosphere.
2.2.0.2 inlet : The port by which gas to be pumped enters a admission (f9 : Ouverture par laquelle Ie gaz a evacuer est
admis dans une pompe.
Pump.
2.2.0.3 outlet : The outlet or discharge port of a pump. refoulement (m9 : Ouverture d’evacuation des gaz pompes.
Palette (f9 : Piece coulissante de certaines pompes volumetri-
ques rotatives, qui divise en compartiments Ia chambre com-
Prise entre Ie rotor et Ie Stator.

ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
MC0 3529124981 (AWP)
2.1.3 yJlaBJlldBatOl.qldi (3aXBaTblBaKI~Idih) BaKyyMHblih HaCOC: Ba- gasbindende Vakuumpumpe (f)
KyyMHblM HaCOC, B KOTOpOM lACnOnb3yeTCR rlpVlHqVln CO~~L(MM L’lnVl KOH- [Sorptionspumpe (f) und Kondensations-
AeHcaqw MoneKyn ra3a Ha BHyTpeHHVIX llOBepXHOCTflX. pumpe VII
2.1.3.1 aACOp6qHOHHblti HaCOC: YnaBnMBatOtqti HaCOC, B KOTOpOM Adsorptionspumpe (f)
ra3 yhepwwaeTcfi rnaBHblM o6pa3oM 3a CCleT c@l3wleCKOW a,qcop6qw1
MaTepMana c 6onbuoM @aKTwecKoti nnoqaAbt0 (HanpMMep, nopw
CTOTO BeqecTBa).
2.1.3.2 reTTepHblH Hacoc: Ynasnwatou(W Hacoc, 9 ~0~0p0~ ra3 Getterpumpe (f)
yAepwwaeTc9 B pe3ynbTaTe xwMwecKor0 coejqMHeHwi c <.
B KaqecTBe ra3onornoTuTenfl o6bwHo npHMeHfieTcR MeTann vInvI
MeTannwecKMM cnnas B o6beMe, ww B 9MAe cBe>KepacnblneHHoti
TOHKOti nneHKm.
2.1.3.3 Cy6flHMa4HOHHblh (IlCnapHTeJlbHbliii) HaCOC: YnaBJlMBatO- Verdampferpumpe (fl; Sublimationspumpe (f)
LI@ Hacoc, B ~0~0p0M ra30nornoqatoiqMM MaTepMan Cy6nVWIpyeTC5I
(wnapfieTc@.
llPL’lMEC1AHVlE - B AaHHOM KOHTeKCTe TePMMHbl INXIapeHMe M cy6nMMaqtiA
F1BJlF1tOTCFI CMHOHMMaMM.
2.1.3.4 reTTepHO-HOHHblti Hacoc: Ynasn~satoujlnM Hacoc, B K0T0p0~
Ionengetterpumpe (f)
IlOCpe~CTBOM 3neKTpWieCKMX I-lOneti B COcleTaHMM C MarHVlTHblM nOneM
i4nM 6e3 Hero MoneKynbl ra3a ~0~~3~pytoTcfi i4 y9neKatoTcfl 3aTeM
K nosepxHocTfiM Hacoca, rfie nornouqato-rcfi ra30nornoTmTeneM.
2.1.3.4.1 ltlCnapklTenbHO=HOHHbl&i HaCOC: reTTepHO+lOHHbl~ HaCOC, Ionenverdampferpumpe (f)
B KOTOPOM MoHi43MpoBaHHblM ra3 HanpawweTc54 K ra30nornoT~Tent0,
nonyqeHHoMy B pe3ynbTaTe HenpepbleHofi i4nM nepi4oAwecKoti cy-
6nuMaqw MnM McnapeHw.
2.1.3.4.2 MarHHTOpa3pSI~Hblih HaCOC: reTTepHO-MOHHblti HaCOC, B Ionenzerstäuberpumpe (f)
KOTOPOM MoHu3MpoBaHHblM ra3 HanpasnfieTcfi K ra30nornoTi4Tent0,
KOTOpblti HellpepblBHO paCllbln5IeTCSI MeTOhOM KaTOAHOrO paCnblneHWl.
2.1.3.5 KplrlOreHHblh HaCOC: YnaBnl4BatOlljVlti HaCOC, COCTOFILL(l&l M3 Kryopumpe (f)
nOBepXHOCTeti, Oxna>ccp,eHHblX 40 HM3KOM TeMnepaTypbl 1/1 CnOCO6HbiX
KOHfieHCMpOBaTb OCTaTOL(Hble ra3bl. KOHAeHCaT 3aTeM llO~ep>KM-
9aeTcfl npMTeMnepaType,npM ~0~opoW pasHosecHoeAasneHMenapa
pasH0 wiM MeHbi.ue XenaeMoro HM3Koro fiasneHvrfl 9 KaMepe.
llPVlME9AHllE HMxe 120°K
- Bbi6pawia~ Tehdnepa-rypa 6yAeT B Avrana3oHe
(- 153,2”C) B 38 .BMCL/IMOCTM OT COCTaBa OTKaLIMBaeMOTO Ta3a.
2.2. L(acTu tiacoca Vakuumpumpenteile
2.2.0.1 Kopnyc tiacoca : BHeI.UHFIFI CTeHKa H acoca, KoTopafl oTgen9eT Vakuumpumpenkörper
(m); Vakuumpumpen-
ra3 HM3Koro Aa BneHMFI OT aTMOC@epbl. gehäuse (n)
2.2.0.2 BXOfl: OTBepCTVle, qepe3 KOTOpOe OTKaWBaeMblti ra3 nOCTy- Einlaßöffnung (fl; Ansaugöffnung (f)
naeT B Hacoc.
2.2.0.3 BblXOC1,: BblxO#iOe wiM BblxnonHoe OTBepCTMe HaCOCa.
Auslaßöffnung (f); Auspuff (m)
2.2.1 .l nnacTb4Ha; nonaTKa: CKonb35u.qW 3neMeHT, KoTopblti flenHT Schieber (m)
pa6oqee npocTpaHcT90 Mewy p0~0p0M VI cTaTopoM 9paqaTenbHoro
Hacoca 06beMHoro AeMcTww Ha nonocTi4.

ISO 3529/2-1981 (E/F/R)
Ul CO 3529/2-1981 (AWP)
2.2.1.2 discharge valve : A valve operating automatically for soupape de refoulement (f) : Soupape s’ouvrant automati-
quement pour permettre Ie rejet du gaz hors de Ia chambre de
the discharge of gas from the compression chamber of some
compression, dans certaines pompes volumetriques.
positive displacement Pumps.
chambre de detente (f) : Dans certaines pompes volumetri-
2.2.1.3 expansion chamber : The increasing space within
ques, Partie de Ia chambre statorique, de volume Croissant,
the Stator chamber of some positive displacement Pumps, into
dans laquelle s’effectue Ia detente du gaz pompe.
which the pumped gas is expanded.
2.2.1.4 compression chamber : The decreasing space chambre de compression (f) : Dans certaines pompes volu-
metriques, Partie de Ia chambre statorique, de volume decrois-
within the Stator chamber of some positive displacement
into which the gas is compressed before being sant, dans laquelle s’effectue Ia compression avant Ie refoule-
Pumps,
discharged. ment.
huile de pompe a vide primaire (f) : Fluide utilise pour assu-
2.2.1.5 vacuu m pump oil : Liquid used for sealing, cooling
and lubrication, in oil-sealed r-er I’etancheite, Ie refroidissement et Ia lubrification des pom-
vacuum Pumps.
pes a bain d’huile.
NOTE - The term pump oil is also commonly used to describe pump
fluids used in oil vapour Pumps. This note does not apply to the Ger-
NOTE - On utilise cette expression afin d’eviter toute confusion avec
man expression.
I’huile de pompe a diffusion utilisee comme fluide moteur. Cette note
ne s’applique pas a I’expression allemande.
2.2.2.1 pump fluid : The operating fluid of an ejector or dif- fluide moteur (m) : Fluide utilise pour I’entrainement des gaz
ns une pompe a diffusion.
fusion pump. dans u ne pompe a ejecteur ou da
2.2.2.2 nozzle : The part of an ejector or diffusion pump tuyere (f) : Element d’un ejecteur dans lequel Ie fluide moteur
entraine Ie gaz a evacuer.
used to direct the flow of the pump fluid in Order to produce the est accelere en un jet qui
pumping action.
diffuseur (m) : Element d’une pompe a diffusion dans leque
...