ISO 15632:2012
(Main)Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
This International Standard defines the most important quantities that characterize an energy-dispersive X-ray spectrometer consisting of a semiconductor detector, a pre-amplifier and a signal-processing unit as the essential parts. This International Standard is only applicable to spectrometers with semiconductor detectors operating on the principle of solid-state ionization. This International Standard specifies minimum requirements and how relevant instrumental performance parameters are to be checked for such spectrometers attached to a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA). The procedure used for the actual analysis is outlined in ISO 22309[2] and ASTM E1508[3] and is outside the scope of this International Standard.
Analyse par microfaisceaux — Paramètres de performance instrumentale sélectionnés pour la spécification et le contrôle des spectromètres X à sélection d'énergie utilisés en microanalyse par sonde à électrons
La présente Norme internationale définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre X à sélection d'énergie consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. La présente Norme internationale est applicable uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l'ionisation à l'état solide. La présente Norme internationale spécifie les exigences minimales, ainsi que la façon appropriée de contrôler les paramètres de performance de l'appareil, pour de tels spectromètres reliés à un microscope électronique à balayage (MEB) ou à une microsonde électronique (EPMA). Le mode opératoire utilisé pour l'analyse effective est décrit dans l'ISO 22309[2] et dans l'ASTM E1508[3] et ne relève pas du domaine d'application de la présente Norme internationale.
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INTERNATIONAL ISO
STANDARD 15632
Second edition
2012-08-01
Microbeam analysis — Selected
instrumental performance parameters for
the specification and checking of energy-
dispersive X-ray spectrometers for use in
electron probe microanalysis
Analyse par microfaisceaux — Paramètres de performance
instrumentale sélectionnés pour la spécification et le contrôle des
spectromètres X à sélection d’énergie utilisés en microanalyse par
sonde à électrons
Reference number
ISO 15632:2012(E)
©
ISO 2012
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ISO 15632:2012(E)
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Published in Switzerland
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ISO 15632:2012(E)
Contents Page
Foreword .iv
Introduction . v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Requirements . 3
4.1 General description . 3
4.2 Energy resolution . 3
4.3 Dead time . 3
4.4 Peak-to-background ratio . 4
4.5 Energy dependence of instrumental detection efficiency . 4
5 Check of further performance parameters . 4
5.1 General . 4
5.2 Stability of the energy scale and resolution . 4
5.3 Pile-up effects . 4
5.4 Periodical check of spectrometer performance . 5
Annex A (normative) Measurement of line widths (FWHMs) to determine the energy resolution of
the spectrometer . 6
Annex B (normative) Determination of the L/K ratio as a measure for the energy dependence of the
instrumental detection efficiency . 9
Bibliography . 11
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ISO 15632:2012(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International
Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 15632 was prepared by Technical Committee ISO/TC 202, Microbeam analysis.
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 15632:2002), which has been technically revised
(see the Introduction, first paragraph, for details).
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ISO 15632:2012(E)
Introduction
Recent progress in energy-dispersive X-ray spectrometry (EDS) by means of improved manufacturing
technologies for detector crystals and the application of advanced pulse-processing techniques have increased
the general performance of spectrometers, in particular at high count rates and at low energies (below 1 keV).
A revision of this International Standard became necessary because silicon drift detector (SDD) technology
was not included. SDDs provide performance comparable to Si-Li detectors, even at considerably higher count
rates. In addition, a larger detector active area results in the capability of measuring even higher count rates.
This International Standard has therefore been updated with criteria for the evaluation of the performance of
such modern spectrometers.
In the past, a spectrometer was commonly specified by its energy resolution at high energies defined as
the full peak width at half maximum (FWHM) of the manganese Kα line. To specify the properties in the low
energy range, values for the FWHM of carbon K, fluorine K or the zero peak are given by the manufacturers.
Some manufacturers also specify a peak-to-background ratio, which may be defined as a peak-to-shelf ratio
55
in a spectrum from an Fe source or as a peak-to-valley ratio in a boron spectrum. Differing definitions of the
same quantity have sometimes been employed. The sensitivity of the spectrometer at low energies related
to that at high energies depends strongly on the construction of the detector crystal and the X-ray entrance
window used. Although high sensitivity at low energies is important for the application of the spectrometer in
the analysis of light-element compounds, normally the manufacturers do not specify an energy dependence
for spectrometer efficiency.
This International Standard was developed in response to a worldwide demand for minimum specifications
of an energy-dispersive X-ray spectrometer. EDS is one of the most applied methods used to analyse the
chemical composition of solids and thin films. This International Standard should permit comparison of the
performance of different spectrometer designs on the basis of a uniform specification and help to find the
optimum spectrometer for a particular task. In addition, this International Standard contributes to the equalization
[1]
of performances in separate test laboratories. In accordance with ISO/IEC 17025 , such laboratories have to
periodically check the calibration status of their equipment according to a defined procedure. This International
Standard may serve as a guide for similar procedures in all relevant test laboratories.
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INTERNATIONAL STANDARD ISO 15632:2012(E)
Microbeam analysis — Selected instrumental performance
parameters for the specification and checking of energy-
dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe
microanalysis
1 Scope
This International Standard defines the most important quantities that characterize an energy-dispersive X-ray
spectrometer consisting of a semiconductor detector, a pre-amplifier and a signal-processing unit as the essential
parts. This International Standard is only applicable to spectrometers with semiconductor detectors operating
on the principle of solid-state ionization. This International Standard specifies minimum requirements and how
relevant instrumental performance parameters are to be checked for such spectrometers attached to a scanning
electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA). The procedure used for the actual
[2] [3]
analysis is outlined in ISO 22309 and ASTM E1508 and is outside the scope of this International Standard.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document
(including any amendments) applies.
ISO 23833, Microbeam analysis — Electron probe microanalysis (EPMA) — Vocabulary
3 Terms and definitions
For the purposes of this International Standard, the terms and definitions given in ISO 23833 and the following apply.
NOTE With the exception of 3.1, 3.2, 3.2.1, 3.2.2, 3.11, 3.12 and 3.13, these definitions are given in the same or
[2] [4]
analogous form in ISO 22309 , ISO 18115-1 and ISO 23833.
3.1
energy-dispersive X-ray spectrometer
device for determining X-ray intensity as a function of the energy of the radiation by recording the whole X-ray
spectrum simultaneously
NOTE The spectrometer consists of a solid-state detector, a preamplifier, and a pulse processor. The detector
converts X-ray photon energy into electrical current pulses which are amplified by the preamplifier. The pulse processor
then sorts the pulses by amplitude so as to form a histogram distribution of X-ray intensity vs energy.
3.2
count rate
number of X-ray photons per second
3.2.1
input count rate
ICR
number of X-ray photons absorbed in the detector per second
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ISO 15632:2012(E)
3.2.2
output count rate
OCR
number of valid X-ray photon measurements per second that are output by the electronics and stored in memory
NOTE When the electronics measures individual X-ray photon energies, there is some dead time associated with
each individual measurement. Consequently, the number of successful measurements is less than the number of incident
photons in every practical case. Thus, the accumulation rate into the spectrum (“output count rate”, OCR) is less than the
count rate of photons that cause signals in the detector (“input count rate”, ICR). OCR may be equal to ICR, e.g. at very
low count rates and for very short measurements.
3.3
real time
duration in seconds of an acquisition as it would be measured with a conventional clock
NOTE For X-ray acquisition, in every practical case the real time always exceeds the live time.
3.4
dead time
τ
time during which the system is unable to record a photon measurement because it is busy processing a
previous event
NOTE Dead-time fraction = 1 − OCR/ICR.
3.5
live time
effective duration of an acquisition, in seconds, after accounting for the presence of dead-time
NOTE 1 Live time = real time for an analysis minus cumulative dead time.
NOTE 2 Live-time fraction = 1 − dead-time fraction.
3.6
spectral channel
discrete interval of the measured energy for the histogram of recorded measurements with a width defined by
a regular energy increment
3.7
instrumental detection efficiency
ratio of quantity of detected photons and quantity of the photons available for measurement
3.8
signal intensity
strength of the signal in counts per channel or counts per second per channel at the spectrometer output after
pulse processing
NOTE This definition permits intensity to be expressed as either “counts” or “counts per second” (CPS). The distinction
is not relevant to the procedures described in this standard so long as either one or the other is consistently employed.
3.9
peak intensity
maximum signal intensity of a spectral peak measured as height of the peak above a defined background
3.10
peak area
net peak area
sum of signal intensities of a spectral peak after background removal
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ISO 15632:2012(E)
3.11
background signal
continuous X-ray spectrum
continuum
non-characteristic component of an X-ray spectrum arising from the bremsstrahlung and other effects
NOTE Apart from the bremsstrahlung, degraded events occurring due to the operation of the spectrometer may
contribute to the background. Extraneous signals arising from one or more parts of the spectrometer, microscope chamber
or specimen itself (by X-ray scattering) may also add to the background signal.
3.12
bremsstrahlung
braking radiation
non-characteristic X-ray spectrum created by electron deceleration in the coulombic field of an atom and
having an energy distribution from 0 up to the incident beam energy
3.13
X-ray take-off angle
TOA
angle between the specimen surface and the direction where exiting X-rays will strike the center of the
detector’s sensor
NOTE With increasing solid angle encompassed by the detector, TOA may vary significantly within a range around
that TOA corresponding to the central position on the X-ray sensor.
4 Requirements
4.1 General description
The manufacturer shall describe, using appropriate reference texts, the essential design elements of the
spectrometer in order to permit the user to evaluate the performance of the spectrometer. Elements that are
indispensable for the evaluation of the suitability of a spectrometer for a certain field of application shall be
given explicitly. These are to include the type of EDS (Si-Li EDS, HpGe EDS, SDD EDS, etc.), the thickness
of the sensor, the net active sensor area (after collimation) and the type of the window (beryllium, thin film
window or windowless). Parameters which may not be encompassed by this International Standard, but that
may influence detector perform
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 15632
Deuxième édition
2012-08-01
Analyse par microfaisceaux —
Paramètres de performance instrumentale
sélectionnés pour la spécification et le
contrôle des spectromètres X à sélection
d’énergie utilisés en microanalyse par
sonde à électrons
Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters
for the specification and checking of energy-dispersive X-ray
spectrometers for use in electron probe microanalysis
Numéro de référence
ISO 15632:2012(F)
©
ISO 2012
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DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
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de l’ISO à l’adresse ci-après ou du comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
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Publié en Suisse
ii © ISO 2012 – Tous droits réservés
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ISO 15632:2012(F)
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction . v
1 Domaine d’application . 1
2 Référence normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
4 Exigences . 3
4.1 Description générale . 3
4.2 Résolution en énergie . 3
4.3 Temps mort . 4
4.4 Rapport pic sur fond . 4
4.5 Dépendance du rendement de détection instrumental en fonction de l’énergie . 4
5 Contrôle des autres paramètres de performance . 4
5.1 Généralités . 4
5.2 Stabilité de l’échelle d’énergie et de la résolution . 5
5.3 Effets d’empilement . 5
5.4 Contrôle périodique de la performance du spectromètre . 5
Annexe A (normative) Mesure des largeurs de raie (FWHM) pour déterminer la résolution en énergie
du spectromètre . 6
Annexe B (normative) Détermination du rapport L/K comme mesure représentant la dépendance
énergétique du rendement de la détection instrumentale .10
Bibliographie .12
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ISO 15632:2012(F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est en général confiée aux
comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du comité
technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales,
en liaison avec l’ISO participent également aux travaux. L’ISO collabore étroitement avec la Commission
électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d’élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur publication
comme Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des comités membres votants.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de droits
de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne pas avoir
identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L’ISO 15632 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 202, Analyse par microfaisceaux.
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (ISO 15632:2002), qui a fait l’objet d’une révision
technique (voir le premier alinéa de l’Introduction pour plus de détails).
iv © ISO 2012 – Tous droits réservés
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ISO 15632:2012(F)
Introduction
De récents progrès dans le domaine de la spectrométrie X à sélection d’énergie (EDS), notamment au moyen
de technologies de fabrication améliorées des cristaux détecteurs et de l’application des techniques avancées
de traitement de l’impulsion, ont augmenté les performances générales des spectromètres, en particulier à des
taux de comptage élevés et à de basses énergies (au-dessous de 1 keV). Une révision de la présente Norme
internationale est apparue nécessaire car la technologie des détecteurs au silicium à diffusion (SDD) n’avait
pas été incluse. Les détecteurs SDD fournissent des performances comparables aux détecteurs Si-Li même à
des taux de comptage considérablement plus élevés. De plus, une aire active de détecteur plus grande assure
la possibilité de mesurer des taux de comptage encore plus élevés. La présente Norme internationale a donc
été mise à jour avec les critères d’évaluation de la performance des spectromètres modernes.
Dans le passé, un spectromètre était généralement spécifié par sa résolution en énergie définie comme étant
la largeur à mi-hauteur (FWHM) du pic de la raie Kα du manganèse. Pour caractériser les propriétés dans la
gamme des basses énergies, les valeurs des FWHM de la raie K du carbone, de la raie K du fluor ou du pic
zéro sont données par les fabricants. Certains fabricants indiquent également le rapport pic sur fond, qui peut
55
être défini comme le rapport du pic sur le fond continu dans un spectre obtenu à partir d’une source de Fe ou
comme le rapport d’amplitude «pic à vallée» dans un spectre de bore. Des définitions différentes d’un même
paramètre ont parfois été utilisées. La sensibilité du spectromètre aux basses énergies par rapport à celle aux
hautes énergies dépend fortement de la construction du cristal détecteur et de la fenêtre d’entrée des rayons X
utilisées. Bien qu’une sensibilité élevée aux basses énergies soit importante pour l’utilisation du spectromètre
dans l’analyse des composés à élément légers, généralement les fabricants n’indiquent pas de dépendance
en fonction de l’énergie de l’efficacité du spectromètre.
La présente Norme internationale a été élaborée en réponse à une demande mondiale concernant les
spécifications minimales du spectromètre X à sélection d’énergie (EDS). L’EDS est l’une des méthodes les
plus employées pour analyser la composition chimique des solides et des couches minces. La présente Norme
internationale permet de comparer la performance de différentes conceptions de spectromètre sur la base d’une
spécification uniforme et d’aider à trouver le spectromètre optimal pour une application particulière. De plus, la
présente Norme internationale contribue à l’harmonisation des performances dans les différents laboratoires
[1]
d’essais. Selon l’ISO/CEI 17025 , de tels laboratoires doivent périodiquement contrôler l’étalonnage de leur
équipement selon un mode opératoire défini. La présente Norme internationale peut servir de guide pour
appliquer des modes opératoires semblables dans tous les laboratoires d’essais concernés.
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NORME INTERNATIONALE ISO 15632:2012(F)
Analyse par microfaisceaux — Paramètres de performance
instrumentale sélectionnés pour la spécification et le contrôle
des spectromètres X à sélection d’énergie utilisés en
microanalyse par sonde à électrons
1 Domaine d’application
La présente Norme internationale définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre X
à sélection d’énergie consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement
des signaux en tant que parties essentielles. La présente Norme internationale est applicable uniquement aux
spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l’ionisation à l’état
solide. La présente Norme internationale spécifie les exigences minimales, ainsi que la façon appropriée de
contrôler les paramètres de performance de l’appareil, pour de tels spectromètres reliés à un microscope
électronique à balayage (MEB) ou à une microsonde électronique (EPMA). Le mode opératoire utilisé pour
[2] [3]
l’analyse effective est décrit dans l’ISO 22309 et dans l’ASTM E1508 et ne relève pas du domaine
d’application de la présente Norme internationale.
2 Référence normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l’application du présent document. Pour les
références datées, seule l’édition citée s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition du
document de référence s’applique (y compris les éventuels amendements).
ISO 23833, Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (microsonde de
Castaing) — Vocabulaire
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 23833 ainsi que les suivants
s’appliquent.
NOTE À l’exception de 3.1, 3.2, 3.2.1, 3.2.2, 3.11, 3.12 et 3.13, ces définitions sont données sous la même forme ou
[2] [4]
une forme analogue dans l’ISO 22309 , l’ISO 18115-1 et l’ISO 23833.
3.1
spectromètre X à sélection d’énergie
dispositif permettant de déterminer l’intensité des rayons X en fonction de l’énergie du rayonnement, en
enregistrant simultanément tout le spectre X
NOTE Le spectromètre consiste en un détecteur à l’état solide, un préamplificateur et un processeur d’impulsions.
Le détecteur convertit les énergies des photons X en impulsions de courant électrique qui sont amplifiées par le
préamplificateur. Le processeur d’impulsions trie ensuite les impulsions selon l’amplitude afin d’établir un histogramme
représentant la distribution de l’intensité des rayons X en fonction de l’énergie des rayons X.
3.2
taux de comptage
nombre de photons X par seconde
3.2.1
taux de comptage d’entrée
ICR
nombre de photons X absorbés dans le détecteur par seconde
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ISO 15632:2012(F)
3.2.2
taux de comptage de sortie
OCR
nombre de mesures valables de photons X par seconde émis par le système électronique et enregistré
dans la mémoire
NOTE Lorsque le système électronique mesure les énergies individuelles des photons X, un temps mort est associé
à chaque mesure individuelle. En conséquence, le nombre de mesures réussies est inférieur au nombre de photons
incidents dans tous les cas pratiques. Ainsi, le taux d’accumulation dans le spectre («taux de comptage de sortie», OCR)
est inférieur au taux de comptage des photons qui engendre les signaux dans le détecteur («taux de comptage d’entrée»,
ICR). L’OCR peut être égal à l’ICR, par exemple à des taux de comptage très faibles et pour des mesurages très courts.
3.3
temps réel
durée en secondes d’une acquisition telle qu’elle serait mesurée avec une horloge conventionnelle
NOTE Pour l’acquisition des rayons X, le temps réel est supérieur au temps effectif dans tous les cas pratiques.
3.4
temps mort
τ
temps pendant lequel le système est incapable de mesurer des photons car il est occupé à traiter un
événement précédent
NOTE Fraction de temps mort = 1 - OCR/ICR.
3.5
temps effectif
durée effective d’une acquisition, en secondes, une fois la présence de temps mort prise en compte
NOTE 1 Temps effectif = temps réel pour une analyse moins temps mort cumulé.
NOTE 2 Fraction de temps effectif = 1 - fraction de temps mort.
3.6
canal spectral
intervalle discret d’énergie mesurée pour l’histogramme des mesures enregistrées, d’une largeur définie par
un incrément d’énergie régulier
3.7
rendement de détection instrumental
rapport entre la quantité de photons détectés et la quantité de photons disponibles pour la mesure
3.8
intensité du signal
intensité du signal exprimée en coups ou en coups par seconde à la sortie du spectromètre après le
traitement d’impulsion
NOTE Cette définition permet d’exprimer l’intensité en «coups» ou en «coups par seconde» (CPS). La distinction
entre ces deux unités de mesure n’est pas pertinente dans le cadre des modes opératoires décrits dans la présente Norme
internationale tant que l’unité choisie est utilisée de façon systématique.
3.9
intensité du pic
intensité maximale du signal d’un pic spectral, mesurée comme étant la hauteur du pic située au-dessus
d’un fond continu
3.10
aire de pic
aire de pic nette
somme des intensités du signal d’un pic spectral après élimination du fond continu
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ISO 15632:2012(F)
3.11
signal de fond continu
spectre continu de rayons X
continuum
composante non caractéristique d’un spectre X provenant du bremsstrahlung et d’autres effets
NOTE Outre le bremsstrahlung, l’apparition d’activités dégradées liée au fonctionnement du spectromètre peut
contribuer au bruit de fond. Des signaux étrangers provenant d’une ou de plusieurs parties du spectromètre, de la chambre
du microscope ou de l’échantillon lui-même (par diffusion des rayons X) peuvent également s’ajouter au bruit de fond.
3.12
bremsstrahlung
rayonnement de freinage
spectre de rayons X non caractéristique créé par la décélération d’électrons dans le champ coulombien d’un
atome et ayant une distribution en énergie comprise entre 0 et l’énergie du faisceau incident
3.13
angle d’émergence des rayons X
TOA
angle formé par la surface de l’échantillon et la direction selon laquelle les rayons X émergents frapperont le
centre du capteur du détecteur
NOTE Avec l’augmentation de l’angle solide représenté par le détecteur, le TOA peut varier de façon significative au
sein d’une plage proche de ce TOA correspondant à la position centrale du capteur de rayons X.
4 Exigences
4.1 Description générale
Le fabricant doit décrire, en utilisant les textes de référence appropriés, les éléments de conception essentiels
du spectromètre afin de permettre à l’utilisateur d’évaluer la performance du spectromètre. Les éléments qui
sont indispensables pour évaluer si un spectromètre est approprié pour un certain domaine d’application
doivent être donnés explicitement. Ces éléments doivent inclure le type d’EDS (Si-Li, HpGe, SDD, etc.),
l’épaisseur du capteur, l’aire active du capteur (après collimation) et le type de la fenêtre (béryllium, fenêtre
de type couche mince ou sans fenêtres). Les paramètres qui peuvent ne pas être concernés par la présente
Norme internationale, mais qui peuvent influencer la performance du détecteur; par exemple le principe du
système de refroidissement, doivent être expliqués dans le texte de référence. Certains systèmes de détection
peuvent produire des taux de comptage très élevés. Cependant, à des taux de comptage élevés, d’autres
spécifications comme la résolution en énergie peuvent être modifiées et des artefacts peuvent apparaître dans
le spectre. Il convient par conséquent que toutes les spécifications soient accompagnées d’une indication du
taux de comptage pour lequel elles sont mesurées et il convient de ne pas supposer que la spécification sera
la même à des taux de comptage d
...
Questions, Comments and Discussion
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