ISO 21360-3:2019

NORME ISO
INTERNATIONALE 21360-3
Première édition
2019-01
Technique du vide — Méthodes
normalisées pour mesurer les
performances des pompes à vide —
Partie 3:
Paramètres spécifiques aux pompes à
vide intermédiaires mécaniques
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum
pump performance —
Part 3: Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps
Numéro de référence
©
ISO 2019
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Publié en Suisse
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d'application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
4 Symboles et termes abrégés . 2
5 Conditions de mesurage . 3
6 Configuration expérimentale . 3
6.1 Généralités . 3
6.2 Représentation schématique . 4
6.3 Dôme d'essai sur la pompe d'essai . 5
6.4 Volume tampon sur la conduite de refoulement . 5
6.5 Manomètres à vide . 5
7 Méthodes d'essai . 5
7.1 Mesurage de la différence maximale de pression admissible Δp .
max 5
7.1.1 Généralités . 5
7.1.2 Méthode de mesure . 5
7.1.3 Mode opératoire de mesure . 6
7.1.4 Incertitude de mesure . 6
7.1.5 Évaluation des mesures . 6
7.1.6 Rapport d'essai . 6
7.2 Rapport de mesurage du taux de compression K .
0 6
7.2.1 Généralités . 6
7.2.2 Rapport d'essai . 6
7.3 Mesurage du taux de compression effectif K .
eff 6
7.3.1 Choix de la pompe de refoulement . 6
7.3.2 Rapport d'essai . 7
7.4 Mesurage de la différence de pression au niveau du robinet de trop-plein Δp .
1 7
7.4.1 Généralités . 7
7.4.2 Détermination de la différence de pression au niveau du robinet de trop-plein . 7
7.4.3 Méthode de mesure . 7
7.4.4 Mode opératoire de mesure . 7
7.4.5 Ouverture du robinet de trop-plein . 7
7.4.6 Incertitude de mesure . 7
7.4.7 Évaluation des mesures . 8
7.4.8 Rapport d'essai: paramètres supplémentaires . 8
8 Rapport d'essai . 8
8.1 Contenu . 8
8.2 Rapport concernant les paramètres de la pompe . 8
8.3 Rapport concernant les équipements et les conditions d'essai . 8
8.4 Rapport concernant les paramètres de fonctionnement . 8
Annexe A (informative) Dôme d'essai .10
Annexe B (informative) Conduite de refoulement et conduite de retour du gaz refroidi .11
Annexe C (informative) Incertitudes de mesure .13
Bibliographie .15
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents
critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
.iso .org/directives).
L'attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l'élaboration du document sont indiqués dans l'Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l'ISO (voir www .iso .org/brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions
spécifiques de l'ISO liés à l'évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l'adhésion
de l'ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles
techniques au commerce (OTC), voir www .iso .org/avant -propos.
Le présent document a été élaboré par le comité technique ISO/TC 112, Technique du vide.
Une liste de toutes les parties de la série ISO 21360 se trouve sur le site Web de l'ISO.
Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent
document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes
se trouve à l’adresse www .iso .org/fr/members .html.
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Introduction
Le présent document spécifie des méthodes normalisées pour mesurer les caractéristiques de
performance des pompes à vide intermédiaires mécaniques. Le présent document vient compléter
l'ISO 21360-1, qui fournit une description générale du mesurage des données de performance des
pompes à vide. En cas de litige, le présent document prévaut sur l'ISO 21360-1.
L'objet du présent document est de garantir que les mesurages des caractéristiques de performance des
pompes à vide intermédiaires mécaniques sont, autant que possible, effectuées selon des procédures et
dans des conditions identiques. Par conséquent, les mesurages effectuées par les différents fabricants
ou les différents laboratoires, ainsi que les relevés de performance cités dans la documentation des
fabricants, sont obtenus sur une base comparable, tant dans l'intérêt de l'utilisateur que du fabricant.
NORME INTERNATIONALE ISO 21360-3:2019(F)
Technique du vide — Méthodes normalisées pour mesurer
les performances des pompes à vide —
Partie 3:
Paramètres spécifiques aux pompes à vide intermédiaires
mécaniques
1 Domaine d'application
Le présent document spécifie les méthodes et les exigences particulières applicables aux pompes à vide
intermédiaires mécaniques pour le mesurage de la différence maximale de pression admissible, du taux
de compression effectif, du taux de compression avec une puissance d'aspiration nulle et de la différence
de pression au niveau du robinet de trop-plein.
Il s'applique aux pompes à vide intermédiaires mécaniques, utilisées pour des applications sous vide
moyen ou vide primaire, y compris aux pompes à vide intermédiaires mécaniques refroidies au gaz et
aux systèmes comprenant plusieurs pompes à vide intermédiaires mécaniques.
Il couvre les caractéristiques particulières des surpresseurs mécaniques, qui sont différentes de celles
des pompes à vide volumétriques habituelles. La différence maximale de pression admissible Δp , le
max
taux de compression effectif K , le taux de compression avec une puissance d'aspiration nulle K et la
eff 0
différence de pression au niveau du robinet de trop-plein Δp sont des caractéristiques particulières de
la performance des pompes à vide intermédiaires mécaniques.
2 Références normatives
Les documents suivants sont cités dans le texte de sorte qu’ils constituent, pour tout ou partie de leur
contenu, des exigences du présent document. Pour les références datées, seule l’édition citée s’applique.
Pour les références non datées, la dernière édition du document de référence s'applique (y compris les
éventuels amendements).
ISO 3529-1, Technique du vide — Vocabulaire — Partie 1: Termes généraux
ISO 3529-2, Technique du vide — Vocabulaire — Partie 2: Pompes à vide et termes associés
ISO 3567, Manomètres — Étalonnage par comparaison directe avec un manomètre de référence
ISO 21360-1:2012, Technique du vide — Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes
à vide — Partie 1: Description générale
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et les définitions donnés dans l'ISO 3529-1 et
l'ISO 3529-2 ainsi que les suivants, s'appliquent.
L'ISO et l'IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en
normalisation, consultables aux adresses suivantes:
— ISO Online browsing platform: disponible à l'adresse http: //www .iso .org/obp
— IEC Electropedia: disponible à l'adresse http: //www .electropedia .org/
3.1
pompe à vide intermédiaire mécanique
pompe à vide basée sur des principes mécaniques, placée entre la pompe primaire et la pompe
secondaire ou la chambre de procédé pour augmenter le flux gazeux du système dans des applications
sous vide moyen ou vide primaire, ou pour améliorer la compression dans le système et ainsi réduire le
débit-volume nécessaire de la pompe primaire
Note 1 à l'article: Plusieurs pompes à vide intermédiaires mécaniques peuvent être montées en cascade pour
obtenir de meilleures performances.
Note 2 à l'article: Dans certaines applications, les pompes à vide intermédiaires mécaniques sont également
utilisées pour la recirculation des gaz.
[SOURCE: ISO 3529-2:1981, 2.4.6, modifié — Les expressions «basée sur des principes mécaniques» et
«ou la chambre de procédé» ont été ajoutées, «le domaine des pressions intermédiaires» a été remplacé
par «des applications sous vide moyen ou vide primaire», «l'étagement des pressions» a été remplacé
par «la compression».]
3.2
différence de pression au niveau du robinet de trop-plein
Δp
différence de pression entre la pression de refoulement, p , et la pression d'entrée, p , juste avant que le
3 1
robinet de trop-plein ne s'ouvre
3.3
différence maximale de pression admissible
Δp
max
différence maximale de pression entre la pression de refoulement, p , et la pression d'entrée, p , que
3 1
peut supporter la pompe d'essai en marche continue, sans être détériorée ou endommagée
Δ=pp − p (1)
max3 1
3.4
taux de compression effectif
K
eff
rapport de la pression de refoulement, p , à la pression d'entrée, p , de la pompe à vide intermédiaire
3 1
mécanique
p
K = (2)
eff
p
4 Symboles et termes abrégés
Symbole Désignation Unité
D diamètre interne du dôme d'essai m
D diamètre nominal du dôme d'essai m
N
p pression de vide à l'entrée Pa (ou mbar)
p pression de vide au refoulement Pa (ou mbar)
Δp différence maximale de pression admissible de la pompe d'essai Pa (ou mbar)
max
K taux de compression de la pompe d'essai avec une puissance —
d'aspiration nulle
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K taux de compression maximal de la pompe d'essai avec une puissance —
0,max
d'aspiration nulle
K taux de compression effectif —
eff
Δp différence de pression au niveau du robinet de trop-plein de la Pa (ou mbar)
pompe d'essai
p pression de base Pa (ou mbar)
b
u incertitude de mesure —
5 Conditions de mesurage
a) Les conditions ambiantes doivent être conformes à l'ISO 21360-1.
b) Les mesurages sont réalisées avec du gaz sec. En règle générale, du gaz d'essai ou de l'air ayant une
humidité relative inférieure ou égale à 65 %.
c) La pompe de refoulement doit fournir une pression de refoulement appropriée et fonctionner dans
les limites des paramètres de fonctionnement normaux pendant la période de mesurage.
d) Il ne doit pas y avoir de liquide dans le corps de la pompe d'essai, aucun fluide autre que le gaz
d'essai ne doit être admis dans le corps de la pompe.
e) Lorsque de l'eau de refroidissement est nécessaire, elle doit être fournie conformément aux
spécifications du fabricant.
f) La vitesse de rotation du moteur et le système de contrôle des fréquences doivent être conformes
aux spécifications du fabricant. La vitesse de rotation du moteur doit correspondre à ± 3 % de la
vitesse de rotation nominale.
g) Il est recommandé que tous les mesurages soient effectués avec le même gaz. Lorsque différents
gaz sont utilisés, l'appareillage doit être purgé avec le nouveau gaz avant que ne débutent les
mesurages. De plus, il est préférable d'utiliser un manomètre indépendant du gaz ou un manomètre
étalonné pour les gaz d'essai. Un tableau d'étalonnage correspondant doit être fourni pour chaque
type de gaz.
−4 3
h) Le débit de fuite de la configuration expérimentale doit être inférieur à 10 Pa m /s. Il doit être
mesuré immédiatement avant ou immédiatement après l'essai.
6 Configuration expérimentale
6.1 Généralités
Les dômes d'essai doivent être propres et secs. La propreté de la pompe, des joints et des autres
composants doit être adaptée à la pression de base attendue. Tous les composants doivent être
assemblés tels que représentés à la Figure 1, dans un environnement propre et conformément aux
instructions du fabricant.
Tous les dispositifs de mesurage utilisés doivent être étalonnés:
a) soit suivant une traçabilité par rapport à un vide primaire ou à une norme nationale;
b) soit à l'aide d'instruments de mesure absolue présentant une traçabilité.
Les mesurages de pression sont réalisés avec des manomètres de pression totale, qui doivent être
étalonnés tel que spécifié dans l'ISO 3567 ou au moyen d'instruments traçable
...