ISO 25178-606:2015

NORME ISO
INTERNATIONALE25178-606
Première édition
2015-06-15
Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 606:
Caractéristiques nominales des
instruments sans contact (à variation
de focale)
Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation)
instruments
Numéro de référence
©
ISO 2015
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sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .vi
1 Domaine d’application .1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions .2
3.1 Termes et définitions liés à toutes les méthodes de mesure de l’état de
surface surfacique . 2
3.2 Termes et définitions liés aux systèmes de balayage x et y .10
3.3 Termes et définitions liés aux systèmes optiques .12
3.4 Termes et définitions liés aux propriétés optiques de la pièce .14
3.5 Termes et définitions spécifiques des instruments à variation de focale .15
4 Description des grandeurs d’influence .18
4.1 Généralités .18
4.2 Vue d’ensemble .18
4.3 Grandeurs d’influence.18
Annexe A (informative) Composants d’un microscope de focalisation dynamique .20
Annexe B (informative) Relation avec le modèle de matrice GPS.26
Bibliographie .28
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www.
iso.org/directives).
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant les
références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de l’élaboration
du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou dans la liste des déclarations de brevets reçues par
l’ISO (voir www.iso.org/brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la signification des termes et expressions spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de
la conformité, ou pour toute information au sujet de l’adhésion de l’ISO aux principes de l’OMC concernant
les obstacles techniques au commerce (OTC), voir le lien suivant: Avant-propos — Informations
supplémentaires.
Le comité technique responsable de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 213, Spécifications et
vérification dimensionnelles et géométriques des produits.
L’ISO 25178 comprend les parties suivantes, ayant pour titre général, Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface: surfacique:
— Partie 1: Indication des états de surface
— Partie 2: Termes, définitions et paramètres d’états de surface
— Partie 3: Opérateurs de spécification
— Partie 6: Classification des méthodes de mesurage de l’état de surface
— Partie 70: Mesures matérialisées
— Partie 71: Étalons logiciels
— Partie 72: Format de fichier XML x3p
— Partie 601: Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
— Partie 602: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
— Partie 603: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques
à glissement de franges)
— Partie 604: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à interférométrie par balayage à
cohérence)
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— Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (capteur autofocus à point)
— Partie 606: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à variation de focale)
— Partie 701: Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments à contact (à palpeur)
Les parties suivantes sont prévues au programme:
— Partie 73: Défauts sur les mesures matérialisées — Termes et définitions
— Partie 600: Caractéristiques métrologiques pour les méthodes de mesure par topographie surfacique
— Partie 607: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscope confocal)
Introduction
La présente partie de l’ISO 25178 est une norme traitant de la spécification géométrique des produits
(GPS) et doit être considérée comme une norme GPS générale (voir l’ISO/TR 14638). Elle influence le
maillon 5 de la chaîne de normes concernant l’état de surface surfacique.
Le schéma directeur ISO/GPS indiqué dans l’ISO/TR 14638 donne une vue d’ensemble du système ISO/GPS
dont fait partie la présente partie de l’ISO 25178. Les règles fondamentales de l’ISO/GPS fournies dans
l’ISO 8015 s’appliquent à la présente partie de l’ISO 25178 et les règles de décision par défaut indiquées
dans l’ISO 14253-1 s’appliquent aux spécifications élaborées conformément à la présente partie de
l’ISO 25178, sauf indication contraire.
Pour de plus amples informations sur la relation de la présente partie de l’ISO 25178 avec les autres
normes et le modèle de matrice GPS, voir l’Annexe B.
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de
focalisation dynamique conçus pour réaliser des mesurages sur des cartes topographiques de surfaces.
Pour de plus amples informations sur la technique de focalisation dynamique, voir l’Annexe A.
NOTE Certaines parties de la présente partie de l’ISO 25178, en particulier les parties informatives, décrivent
des systèmes et méthodes brevetés. Cette information est uniquement fournie pour aider les utilisateurs à
comprendre les principes de fonctionnement de la focalisation dynamique. La présente partie de l’ISO 25178 n’a
pas pour but d’établir un ordre de priorité pour les droits de propriété intellectuelle, ni d’impliquer l’octroi d’une
licence pour les technologies propriétaires décrites ici.
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NORME INTERNATIONALE ISO 25178-606:2015(F)
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de
surface: Surfacique —
Partie 606:
Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(à variation de focale)
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 25178 définit les caractéristiques métrologiques d’une méthode de mesure
sans contact particulière de l’état de surface au moyen d’un capteur à variation de focale (FV).
2 Références normatives
Les documents suivants, en tout ou partie, sont référencés de manière normative dans le présent
document et sont indispensables à son application. Pour les références datées, seule l’édition citée
s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition du document de référence s’applique (y
compris les éventuels amendements).
ISO 3274:1996, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Méthode du profil —
Caractéristiques nominales des appareils à contact (palpeur)
ISO 4287:1997, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Méthode du profil —
Termes, définitions et paramètres d’état de surface
ISO 10934-2:2007, Optique et instruments d’optique — Vocabulaire relatif à la microscopie — Partie 2:
Techniques avancées en microscopie optique
ISO 14978:2006, Spécification géométrique des produits (GPS) — Concepts et exigences généraux pour les
équipements de mesure GPS
ISO 17450-1, Spécification géométrique des produits — Concepts généraux — Partie 1: Modèle pour la
spécification et la vérification géométriques
ISO 25178-2:2012, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: surfacique — Partie 2:
Termes, définitions et paramètres d’états de surface
ISO 25178-3:2012, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: surfacique — Partie 3:
Opérateurs de spécification
ISO 25178-6:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: surfacique — Partie 6:
Classification des méthodes de mesurage de l’état de surface
ISO 25178-601, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: surfacique — Partie 601:
Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
ISO 25178-602, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: surfacique — Partie 602:
Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 3274, l’ISO 4287,
l’ISO 10934-2, l’ISO 17450-1, l’ISO 14978, l’ISO 25178-2, l’ISO 25178-3, l’ISO 25178-6, l’ISO 25178-601,
l’ISO 25178-602, ainsi que les suivants s’appliquent.
3.1 Termes et définitions liés à toutes les méthodes de mesure de l’état de surface
surfacique
3.1.1
référence surfacique
composant de l’instrument générant la surface de référence par rapport à laquelle la topographie de
surface est mesurée
3.1.2
système de coordonnées de l’instrument
système d’axes (x ,y, z) orthonormé de sens direct défini ainsi:
— (x, y) est le plan constitué par la référence surfacique (3.1.1) de l’instrument (il est à noter qu’il y a des
instruments optiques qui ne possèdent pas de guide surfacique physique),
— l’axe z est monté en parallèle de l’axe optique et est perpendiculaire au plan (x,y) pour un instrument
optique
Note 1 à l’article: Voir la Figure 1.
Note 2 à l’article: Normalement, l’axe x est l’axe d’avance et l’axe y celui de déplacement (la présente note est
valable pour les instruments à balayage dans le plan horizontal).
Note 3 à l’article: Voir aussi le système de coordonnées de spécification [ISO 25178-2:2012, 3.1.2] et le système de
coordonnées du mesurage [ISO 25178-6:2010, 3.1.1].
3.1.3
boucle de mesure
chaîne fermée comprenant tous les composants connectant la pièce et le palpeur, par exemple le matériel
de positionnement, le dispositif de serrage de la pièce, la table de mesure, les unités d’avance et de
déplacement, et le système de palpage (3.5.3)
Note 1 à l’article: Voir la Figure 1.
Note 2 à l’article: La boucle de mesure est soumise à des perturbations extérieures et intérieures qui influencent
l’incertitude de mesure.
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Légende
1 système de coordonnées de l’instrument
2 boucle de mesure
Figure 1 — Système de coordonnées et boucle de mesure de l’instrument
3.1.4
surface réelle d’une pièce
ensemble des éléments géométriques qui existent physiquement et séparent la totalité de la pièce de son
environnement
Note 1 à l’article: La surface réelle est une représentation mathématique de la surface qui est indépendante du
processus de mesurage.
Note 2 à l’article: Voir aussi surface mécanique [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1 ou ISO 14406:2010, 3.1.1] et surface
électromagnétique [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2 ou ISO 14406:2010, 3.1.2].
Note 3 à l’article: La surface électromagnétique considérée pour un type d’instrument optique peut être différente
de la surface électromagnétique pour d’autres types d’instruments optiques.
[SOURCE: ISO 17450-1:2011]
3.1.5
palpeur de surface
dispositif convertissant la hauteur de surface en un signal pendant le mesurage
Note 1 à l’article: Dans les normes internationales antérieures, ce dispositif était appelé transducteur.

3.1.6
volume de mesure
étendue de l’instrument définie par les limites de toutes les trois coordonnées mesurées par l’instrument
Note 1 à l’article: Pour les instruments mesurant l’état de surface surfacique, le volume de mesure est défini par
l’étendue de mesure de l’unité d’avance et de déplacement x et y et l’étendue de mesure du système de palpage z.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.1]
3.1.7
courbe de réponse
F , F , F
x y z
représentation graphique de la fonction décrivant la relation entre la grandeur réelle et la grandeur
mesurée
Note 1 à l’article: Voir la Figure 2.
Note 2 à l’article: Une grandeur réelle en x (respectivement y ou z) correspond à une grandeur mesurée x
M
(respectivement y ou z ).
M M
Note 3 à l’article: La courbe de réponse peut être utilisée pour l’ajustage et la correction des erreurs.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.2]
3.1.8
coefficient d’amplification
α , α , α
x y z
pente de la courbe de régression linéaire obtenue à partir de la courbe de réponse (3.1.7)
Note 1 à l’article: Voir la Figure 3.
Note 2 à l’article: Il y aura des coefficients d’amplification applicables aux grandeurs en x, y et z.
Note 3 à l’article: La réponse idéale est une droite de pente égale à 1, signifiant que les valeurs du mesurande sont
égales aux valeurs des grandeurs d’entrée.
Note 4 à l’article: Voir aussi sensibilité d’un système de mesure (ISO/IEC Guide 99:2007, 4.12).
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.3, modifié — La Note 4 à l’article a été ajoutée.]
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Légende
1 courbe de réponse 3 grandeurs mesurées
2 évaluation de l’écart de linéarité par approximation polynomiale 4 grandeurs d’entrée
Figure 2 — Exemple de courbe de réponse non linéaire
Légende
1 grandeurs mesurées
2 grandeurs d’entrée
3 courbe de réponse idéale
4 linéarisation de la courbe de réponse de la Figure 2
5 ligne à partir de laquelle le coefficient d’amplification α (pente) est dérivé
6 erreur locale résiduelle de correction
Figure 3 — Exemple de linéarisation d’une courbe de réponse
3.1.9
bruit de l’instrument
N
I
bruit interne, ajouté au signal de sortie, causé par l’instrument lorsqu’il est placé de façon idéale dans un
environnement exempt de bruit
Note 1 à l’article: Le bruit interne peut être dû au bruit électronique, tel que celui des amplificateurs, ou au bruit
optique, tel que celui de la lumière parasite.
Note 2 à l’article: Ce bruit a généralement des fréquences élevées et il limite la capacité de l’instrument à détecter
les longueurs d’onde spatiales à petite échelle de l’état de surface.
Note 3 à l’article: Le filtre S spécifié dans l’ISO 25178-3:2012 peut réduire ce bruit.
Note 4 à l’article: Pour certains instruments, le bruit de l’instrument ne peut pas être estimé car l’instrument ne
recueille des données que lorsqu’il se déplace.
3.1.10
bruit de mesure
N
M
bruit ajouté au signal de sortie, survenant en cours d’utilisation normale de l’instrument
Note 1 à l’article: Les Notes 2 et 3 en 3.1.9 s’appliquent aussi à cette définition.
Note 2 à l’article: Le bruit de mesure inclut le bruit de l’instrument (3.1.9).
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3.1.11
répétabilité des mesures de la topographie d’une surface
répétabilité de la carte topographique au cours de mesurages successifs de la même surface dans les
mêmes conditions de mesure
Note 1 à l’article: La répétabilité des mesures de la topographie d’une surface fournit une mesure de l’adéquation
probable entre des mesurages répétés, normalement exprimée sous la forme d’un écart-type.
Note 2 à l’article: Voir l’ISO/IEC Guide 99:2007, 2.15 et 2.21, pour une explication générale de la répétabilité et des
concepts associés.
Note 3 à l’article: L’évaluation de la répétabilité de la topographie d’une surface est une méthode courante de
détermination du bruit de mesure (3.1.10).
3.1.12
pas d’échantillonnage en x (respectivement en y)
D (D )
x y
distance entre deux points adjacents mesurés suivant l’axe x (respectivement l’axe y)
Note 1 à l’article: Dans de nombreux systèmes de microscopie, le pas d’échantillonnage est déterminé au travers
du grossissement optique par la distance entre les éléments du capteur d’une caméra, appelés pixels. Pour ces
systèmes, les termes pas de pixel et espacement entre les pixels sont souvent employés indifféremment avec le
terme pas d’échantillonnage. Un autre terme, la largeur de pixel, indique une longueur associée à un côté (x ou y) de
la zone sensible d’un seul pixel et est toujours plus petite que l’espacement entre les pixels. Un autre terme, zone
d’échantillonnage, peut être utilisé pour désigner la longueur ou la région dans laquelle un échantillon de hauteur
est déterminé. Cette grandeur peut être plus grande ou plus petite que le pas d’échantillonnage.
3.1.13
pas de numérisation en z
D
Z
plus petite variation de hauteur suivant l’axe z entre deux ordonnées de la surface extraite
3.1.14
résolution latérale
R
l
plus petite distance pouvant être détectée entre deux éléments de surface
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.10]
3.1.15
largeur limite pour une transmission de la hauteur totale
W
l
plus petite largeur de rainure rectangulaire dont la profondeur reste inchangée par le mesurage
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.11]
Note 1 à l’article: Les propriétés de l’instrument, telles que le pas d’échantillonnage en x et y, le pas de numérisation
en z, et le filtre de coupure de longueur d’onde courte, peuvent influencer la résolution latérale (3.1.14) et la largeur
limite pour une transmission de la hauteur totale.
Note 2 à l’article: Lors de la détermination de ce paramètre par mesurage, il convient que la profondeur de la
rainure rectangulaire soit proche de celle de la surface à mesurer.
EXEMPLE 1 Le mesurage d’une grille dont les rainures sont plus larges que la largeur limite pour une
transmission de la hauteur totale conduit à un mesurage correct de la profondeur de rainure (voir la Figure 4 et la
Figure 5).
Figure 4 — Grille avec espacement horizontal où t est supérieur ou égal à W
l
Figure 5 — Mesurage de la grille de la Figure 4; l’espacement et la profondeur de la grille sont
mesurés correctement
EXEMPLE 2 Le mesurage d’une grille dont les rainures sont plus étroites que la largeur limite pour une
transmission de la hauteur totale (3.1.15) conduit à une profondeur incorrecte de la rainure (voir les Figures 6 et
7). Dans cette situation, le signal est en général perturbé et peut contenir des points non mesurés.

l
Figure 6 — Grille à espacement horizontal t’ inférieur à W
l
Figure 7 — Mesurage de la grille de la Figure 6; l’espacement est mesuré correctement, mais la
profondeur est plus petite (d’ 8 © ISO 2015 – Tous droits réservés

3.1.16
période latérale limite
D
LIM
période spatiale d’un profil sinusoïdal pour laquelle la réponse de hauteur d’un instrument tombe à 50 %
Note 1 à l’article: La période latérale limite est un métrique permettant de décrire la résolution spatiale ou latérale
d’un instrument de mesure de la topographie d’une surface et ses capacités à distinguer et mesurer des éléments
de surface proches. Sa valeur dépend des hauteurs des éléments de surface et de la méthode utilisée pour palper
la surface. Des valeurs typiques, principalement pour supprimer le bruit, sont données dans l’ISO 25178-3:2012,
Tableau 3, en comparaison avec les valeurs recommandées pour les filtres (-s) à longueurs d’onde courtes et les
pas d’échantillonnage.
Note 2 à l’article: La période spatiale est le même concept que celui de longueur d’onde spatiale et s’oppose à celui
de fréquence spatiale.
Note 3 à l’article: Un facteur lié à la valeur de D pour les outils optiques est par exemple le critère de Rayleigh
LIM
(3.3.7). Le degré de focalisation de l’objectif sur la surface en est un autre.
Note 4 à l’article: Un facteur lié à la valeur de D pour les palpeurs de contact est le rayon de la touche du stylet,
LIM
r (voir l’ISO 25178-601).
TIP
Note 5 à l’article: D’autres termes liés à la période latérale limite sont la résolution structurelle et la résolution
spatiale topographique.
3.1.17
pente locale maximale
pente locale la plus raide d’un élément de la surface pouvant être évaluée par le système de palpage
Note 1 à l’article: Le terme « pente locale » est défini dans l’ISO 4287:1997, 3.2.9.
3.1.18
fonction de transfert de l’instrument
ITF
f
ITF
fonction ou fréquence spatiale décrivant la manière dont l’instrument de mesure de la topographie d’une
surface réagit face à la topographie de la surface d’un objet ayant une fréquence spatiale particulière
Note 1 à l’article: Idéalement, l’ITF indique quelle serait l’amplitude mesurée d’un réseau sinusoïdale à une
fréquence spatiale spécifiée ν par rapport à l’amplitude réelle du réseau.
Note 2 à l’article: Pour plusieurs types d’instruments optiques, l’ITF peut être une fonction non linéaire de la
hauteur, excepté lorsque les hauteurs sont beaucoup plus petites que la longueur d’onde optique.
3.1.19
hystérésis
x , y , z
HYS HYS HYS
propriété d’un équipement de mesure ou d’une caractéristique dont l’indication, lorsqu’il s’agit d’un
équipement de mesure, ou la valeur, lorsqu’il s’agit d’une caractéristique, dépend de l’orientation des
signaux d’entrée
Note 1 à l’article: L’hystérésis peut également dépendre, par exemple, de la longueur du déplacement après
modification de l’orientation des signaux d’entrée.
Note 2 à l’article: Pour les systèmes à balayage latéral (3.2.2), l’hystérésis est principalement une erreur de
repositionnement.
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.24]
3.1.20
caractéristique métrologique (d’un instrument de mesure)
<équipement de mesure> caractéristique d’un équipement de mesure susceptible d’avoir une influence
sur les résultats de mesurage
Note 1 à l’article: L’étalonnage des caractéristiques métrologiques peut être nécessaire.
Note 2 à l’article: Les caractéristiques métrologiques ont une contribution immédiate à l’incertitude de mesure.
Note 3 à l’article: Les caractéristiques métrologiques des instruments de mesure de l’état de surface surfacique
sont données dans le Tableau 1.
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.12]
Tableau 1 — Liste des caractéristiques métrologiques pour les méthodes de mesure de l’état de
surface
Erreur
Caractéristique métro- potentielle
Symbole Définition
logique principale
suivant l’axe
Coefficient d’amplifica- α , α , α 3.1.8 (voir Figure 3) x, y, z
X Y Z
tion
Écart de linéarité l , l , l Écart local maximal entre la x, y, z
X Y Z
droite qui sert à déterminer
le coefficient d’amplification
(voir Figure 3, point 5) et
la courbe de réponse (voir
Figure 3, point 4)
Planéité résiduelle z Planéité de la référence sur- z
FLT
facique
Bruit de mesure N 3.1.10 z
M
Période latérale limite D 3.1.16 z
LIM
Perpendicularité Δ Écart de 90° de l’angle entre x, y
PERxy
les axes x et y
3.2 Termes et définitions liés aux systèmes de balayage x et y
3.2.1
référence de guidage surfacique
composant(s) de l’instrument générant la surface de référence sur laquelle le système de palpage se
déplace suivant une trajectoire théoriquement exacte par rapport à la surface mesurée
Note 1 à l’article: Dans le cas d’instruments de mesure de l’état de surface surfacique par balayage x et y, la
référence de guidage surfacique fournit une surface de référence [ISO 25178-2:2012, 3.1.8]. Elle peut être obtenue
en utilisant deux références de guidage linéaire et perpendiculaire [ISO 3274:1996, 3.3.2] ou une référence de
guidage surfacique.
3.2.2
système de balayage latéral
système réalisant le balayage de la surface à mesurer dans le plan (x, y)
Note 1 à l’article: Il existe essentiellement quatre composants à considérer dans un instrument de mesure de
l’état de surface par balayage: l’unité d’avance (x), l’unité à déplacement transversal ( y), le palpeur de mesure (z)
et la surface à mesurer. Ceux-ci peuvent être configurés de différentes manières et les différentes configurations
présentent donc des différences, comme l’explique le Tableau 2.
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Tableau 2 — Différentes configurations possibles des références de guidage (x et y)
Unités d’avance et de déplacement
Une référence de guidage
Deux références de guidage (x et y)
surfacique
a
Px o Cy Px o Py Cx o Cy Pxy Cxy
A: sans correc-
tion de l’erreur
Px o Cy-A Px o Py-A Cx o Cy-A Pxy-A Cxy-A
Sys-
de distorsion
tème
d’arc
de
S: Sans erreur
pal-
de distorsion
page
Px o Cy-S Px o Py-S Cx o Cy-S Pxy-S Cxy-S
d’arc ou avec
erreur corrigée
.
NOTE  Pour deux fonctions données, f et g, f o g est la combinaison de ces fonctions
a
Px = système de palpage se déplaçant suivant l’axe x

Py = système de palpage se déplaçant suivant l’axe y

Cx = composant se déplaçant suivant l’axe x

Cy = composant se déplaçant suivant l’axe y
Note 2 à l’article: Lorsqu’un mesurage est composé d’un seul champ de vision d’un microscope, le balayage x et y
n’est pas utilisé. Cependant, lorsque plusieurs champs de vision sont liés entre eux par des méthodes d’assemblage
(voir l’ISO 25178-601), le système est considéré comme un système de balayage.
3.2.3
unité d’avance x (respectivement unité à déplacement transversal y)
composant de l’instrument déplaçant le système de palpage ou la surface mesurée suivant la référence
de guidage de l’axe x (respectivement de l’axe y) et fournissant la position horizontale du point mesuré
sous forme de coordonnée x latérale (respectivement coordonnée y) pour le profil
3.2.4
capteur de position latérale
composant des unités d’avance et de déplacement fournissant la position latérale du point mesuré
Note 1 à l’article: La position latérale peut être mesurée ou déduite à l’aide, par exemple, d’un encodeur linéaire,
d’un interféromètre laser ou d’un dispositif de comptage associé à une vis micrométrique.
3.2.5
vitesse de mesure
v
x
vitesse du système de palpage suivant l’axe x par rapport à la surface à mesurer, pendant le mesurage
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.13]
3.2.6
bruit statique
N
S
Combinaison du bruit de l’instrument et du bruit ambiant sur le signal de sortie lorsque l’instrument ne
balaye pas littéralement
Note 1 à l’article: Le bruit de l’environnement résulte par exemple des perturbations électromagnétiques sismiques,
acoustiques ou externes.
Note 2 à l’article: Les Notes 2 et 3 en 3.1.9 s’appliquent à la présente définition.
Note 3 à l’article:
...