ISO 1608-2:1989
(Main)Vapour vacuum pumps — Measurement of performance characteristics — Part 2: Measurement of critical backing pressure
Vapour vacuum pumps — Measurement of performance characteristics — Part 2: Measurement of critical backing pressure
The considered method of measurement deals with vapours jet vacuum pumps, diffusions pumps and diffusion-ejector pumps. The dependence of the performance of these pumps on the backing pressure can only be completely described be means of a curve relating the inlet and backing pressure over the range of operation. The recommended test dome and the principle of the test equipment are illustrated.
Pompes à vide à jet de vapeur — Mesurage des caractéristiques fonctionnelles — Partie 2: Mesurage de la pression critique de refoulement
General Information
Relations
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Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL
ISO
1608-2
STANDARD
Second edition
1989-12-01
Vapour vacuum Pumps - Measurement of
Performance characteristics -
Part 2 :
Measurement of critical back.ing pressure
Pompes 5 vide 6 jet de vapeur - Mesurage des caractbristiques fonctionneles -
Partie 2 : Mesurage de Ia Pression critique de refoufement
Reference number
ISO 1608-2 : 1989 (EI
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ISO 1608-2 : 1989 (El
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of
national Standards bodies (ISO member bedies). The work of preparing International
Standards is normally carried out through ISO technical committees. Esch member
body interested in a subject for which a technical committee has been established has
the right to be represented on that committee. International organizations, govern-
mental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO
collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all
matters of electrotechnical standardization.
Draft International Standards adopted by the technical committees are circulated to
the member bodies for approval before their acceptance as International Standards by
the ISO Council. They are approved in accordance with ISO procedures requiring at
least 75 % approval by the member bodies voting.
International Standard ISO 1608-2 was prepared by Technical Committee ISO/TC 112,
Vacuum technology.
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 1608-2 : 19781, of which
it constitutes a technical revision.
ISO 1608 will consist of the following Parts, under the general title Vapour vacuum
- Measurement of Performance characteristics :
Pumps
Part 1: Measurement of volume rate at flow (pumping Speed)
-
Part 2: Measurement of critical backing pressure
- Part 3: Gas flow rates
0 ISO 1989
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means, electronie or mechanical, including photocopying and microfilm, without Permission in
writing from the publisher.
International Organization for Standardization
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Printed in Switzerland
ii
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ISO 1608-2 : 1989 EI
Introduction
The purpose of ISO 1608 is to ensure that measurements of the Performance
characteristics of vapour vacuum Pumps are, as far as possible, carried out by uniform
procedures and under uniform conditions. lt is hoped that, as a result, measurements
conducted by different manufacturers or in different laboratories, and Statements of
Performance quoted in manufacturers’ literature, will be on a properly comparable
basis to the benefit of both user and manufacturer.
lt is envisaged that the complete International Standard will, in due course, deal com-
prehensively with the measurement of a wide range of Performance characteristics of
the main types of vapour vacuum Pumps. In Order, however, that useful agreements of
more restricted scope may be implemented with the least possible delay, ISO 1608 is
published in Parts.
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This page intentionally left blank
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ISO 1608-2: 1989 (E)
INTERNATIONAL STANDARD
Measurement of Performance
Vapour vacuum Pumps -
characteristics -
Part 2 :
pressu re
Measurement of critical backing
2.1.3 “full-load” critical backing pressure: The value of
1 Scope
the critical backing pressure corresponding to the maximum
throughput for stable Operation of the pump.
1.1 This part of ISO 1608 specifies a method of measuring
the critical backing pressure of vapour vacuum Pumps.
2.2 test dome; test header: A chamber of specific form
and dimensions attached to the inlet of the pump through
NOTE - The critical backing pressure is that backing pressure above
which the operating conditions of the pump are affected in such a which a measured flow of gas may be admitted to the pump,
manner that its Performance ceases to be satisfactory.
and which is equipped with means of pressure measurement.
The dependence of the Performance of a vapour pump on the
2.3 ultimate pressure : The limiting pressure approached
backing pressure tan only be completely described by means of
asymptotically in the dome, with the gas inlet valve closed and
a curve relating the inlet and backing pressures over the range
the pump in normal Operation.
of Operation.
NOTE - In practice, the limiting pressure is considered as having been
In many cases it is adequate to specify the critical backing
reached after pumping for sufficient time to establish that further
pressure by a Single Parameter, which is defined in 2.1. In some
reduction in pressure will be negligible.
cases, however, especially where Ultra-high vacuum perform-
ante is of interest, or where gases such as hydrogen and
helium are concerned, the complete curve may be required. 3 Apparatus
3.1 Test dome, as shown in figure 1 and described in
1.2 The Pumps considered comprise the following three
ISO 1608-1.
classes of oil and mercury vapour Pumps:
The general arrangement of the test equipment should be as
-
vapour jet vacuum pump;
shown in figure 2. The following equipment is required:
- diffusion Pumps;
1) A controllable valve (AI for admitting gas to the test
dome, combined with a suitable throughput-measuring
- diffusion-ejector Pumps.
device.
2) A controllable gas admittance valve (B), mounted at the
2 Definitions
inlet on the backing pump, to regulate the backing pressure.
For the purposes of this part of ISO 1608, the following defi-
The length of the backing line between the valve (B) and the
nitions apply.
place of attachment of the gauge tubulation attachment
should be more than 200 mm (see figure 2).
2.1 critical backing pressure :
3) A gauge (C) for measuring the pressure in the backing
2.1.1 General case - For a stated throughput, the lowest line adjacent to the outlet of the vapour pump. This gauge is
value of the backing pressure at which a small percentage
...
ISO
NORME
1608-2
INTERNATIONALE
Deuxième édition
1989-12-01
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles -
Partie 2 :
Mesurage de la pression critique de refoulement
Measuremen t of performance characteristics -
Vapour vacuum pumps -
Part 2 : Measurement of critical hacking pressure
Numéro de référence
ISO 1608-2 : 1989 (F)
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ISO 1608-2 : 1989 (F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale
d’organismes nationaux de normalisation (comités membres de I’ISO). L’élaboration
des Normes internationales est en général confiée aux comités techniques de I’ISO.
Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du comité
technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec I’ISO participent également aux travaux. L’ISO col-
labore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les projets de Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis
aux comités membres pour approbation, avant leur acceptation comme Normes inter-
nationales par le Conseil de I’ISO. Les Normes internationales sont approuvées confor-
mément aux procédures de I’ISO qui requièrent l’approbation de 75 % au moins des
comités membres votants.
La Norme internationale ISO 1608-2 a été élaborée par le comité technique
ISO/TC 112, Technique du vide.
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition IlSO 1608-2 : 19781, dont
elle constitue une révision technique.
L’ISO 1608 comprendra les parties suivantes, présentées sous le titre général Pompes à
vide à jet de vapeur - Mesurage des carat téristiques font tionneles :
- Partie 1: Mesurage du débit-volume (débit de pompage)
- Partie 2: Mesurage de la pression critique de refoulement
- Partie 3: Débit du gaz
@ ISO 1989
Droits de reproduction réservés. Aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni
utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie et les microfilms, sans l’accord écrit de l’éditeur.
Organisation internationale de normalisation
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Imprimé en Suisse
ii
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ISO 1608-2 : 1989 (FI
Introduction
L’ISO 1608 a pour objet d’assurer que le mesurage des caractéristiques de fonctionne-
ment des pompes à vide à jet de vapeur soit effectué, dans toute la mesure du possible,
selon des procédés et dans des conditions uniformes. Le résultat souhaité est que les
mesurages effectués par différents fabricants ou dans différents laboratoires, et les
indications concernant le fonctionnement fournies par la documentation des fabri-
cants, soient bien comparables tant au profit de l’utilisateur que du fabricant.
II est envisagé que la Norme internationale complète englobe, en temps voulu, tous les
mesurages des caractéristiques de fonctionnement des types principaux de pompes à
vide à jet de vapeur. Toutefois, dans le but d’obtenir à bref délai des accords utiles dans
un domaine plus restreint, I’ISO 1608 est publiée en différentes parties.
. . .
III
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Page blanche
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NORME INTERNATIONALE ISO 1608-2: 1989 (F)
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles -
Partie 2 :
de la pression critique de refoulement
Mesurage
NOTE - Pour les besoins de la présente partie de I’ISO 1608, le pourcen-
1 Domaine d’application
tage minimal spécifié est fixé à 10 %.
1.1 La présente partie de I’ISO 1608 prescrit une méthode de
2.1.2 pression critique à charge nulle: Valeur de la pression
mesurage de la pression critique au refoulement des pompes à
critique de refoulement pour une puissance d’aspiration nulle.
vide et à jet de vapeur.
NOTE - II s’agit de la pression de refoulement au-dessus de laquelle les
2.1.3 pression critique à pleine charge: Valeur de la
conditions de fonctionnement de la pompe sont affectées de telle facon
pression critique de refoulement pour la puissance d’aspiration
que son comportement cesse d’être satisfaisant.
maximale, étant entendu que le fonctionnement de la pompe
reste stable.
La dépendance entre le comportement d’une pompe à jet de
vapeur et la pression au refoulement ne peut être définie d’une
2.2 dôme d’essai: Enceinte de forme et de dimensions déter-
facon complète que par la courbe de variation de la pression à
minées, montée à l’admission de la pompe et dans laquelle un
l’admission en fonction de celle au refoulement dans toute la
débit de gaz peut être admis et mesuré. Elle est munie d’appareils
gamme considérée.
de mesurage de la pression.
Dans nombre de cas, il suffit de préciser la condition ci-dessus
par un paramètre unique défini en 2.1. Dans d’autres cas, cepen-
2.3 pression limite: Valeur vers laquelle tend asymptotique-
dant, en particulier lors de fonctionnement en ultra-vide ou du
ment la pression dans le dôme, le robinet d’admission de gaz
pompage de gaz comme l’hydrogène et l’hélium, la courbe com-
étant fermé et la pompe fonctionnant normalement.
plète peut être nécessaire.
NOTE - En pratique, la pression limite est censée être atteinte après que
la pompe ait fonctionné pendant un temps assez long pour que la réduc-
1.2 Les pompes considérées comprennent les trois catégories
tion de la pression dans le dôme soit devenue négligeable.
suivantes de pompes à jet de vapeur d’huile ou de mercure:
-
éjecteur à vapeur pour le vide;
3 Appareillage
-
pompes à diffusion;
3.1 Dôme d’essai, tel que représenté par la figure 1 et décrit
dans I’ISO 1608-I.
-
pompes à diffusion et à éjecteur.
La disposition générale du matériel d’essai doit être conforme à la
figure 2. Le matériel suivant est nécessaire:
2 Définitions
1) Robinet réglable (A) d’admission de gaz dans le dôme
Pour les besoins de la présente partie de I’ISO 1608, les défini-
d’essai combiné avec un dispositif convenable de mesurage
tions suivantes s’appliquent.
du flux.
2) Robinet réglable (B) d’admission de gaz, monté à l’entrée
2.1 pression critique de refoulement:
de la pompe primaire, pour régler la pression au refoulement.
2.1.1 Cas général - La plus petite valeur de la pression au II convient que la longueur de la tuyauterie de refoulement
refoulement pour laquelle une légère augmentation de celle-ci
entre le robinet (B) et le point d’attache du manométre-tube
détermine, du côté de l’admission de la pompe, une augmenta- soit supérieure à 200 mm (voir figure 2).
tion minimale spécifiée de la pression à l’admission pour un flux
gazeux déterminé. Cette augmentation est définie par le pour- 3) Manomètre (CI, destiné à mesurer la pression dans la
centage minimal spécifié de l’augmentation de la pression au
tuyauterie de refoulement, situé prè
...
ISO
NORME
1608-2
INTERNATIONALE
Deuxième édition
1989-12-01
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles -
Partie 2 :
Mesurage de la pression critique de refoulement
Measuremen t of performance characteristics -
Vapour vacuum pumps -
Part 2 : Measurement of critical hacking pressure
Numéro de référence
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ISO 1608-2 : 1989 (F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale
d’organismes nationaux de normalisation (comités membres de I’ISO). L’élaboration
des Normes internationales est en général confiée aux comités techniques de I’ISO.
Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du comité
technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec I’ISO participent également aux travaux. L’ISO col-
labore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les projets de Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis
aux comités membres pour approbation, avant leur acceptation comme Normes inter-
nationales par le Conseil de I’ISO. Les Normes internationales sont approuvées confor-
mément aux procédures de I’ISO qui requièrent l’approbation de 75 % au moins des
comités membres votants.
La Norme internationale ISO 1608-2 a été élaborée par le comité technique
ISO/TC 112, Technique du vide.
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition IlSO 1608-2 : 19781, dont
elle constitue une révision technique.
L’ISO 1608 comprendra les parties suivantes, présentées sous le titre général Pompes à
vide à jet de vapeur - Mesurage des carat téristiques font tionneles :
- Partie 1: Mesurage du débit-volume (débit de pompage)
- Partie 2: Mesurage de la pression critique de refoulement
- Partie 3: Débit du gaz
@ ISO 1989
Droits de reproduction réservés. Aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni
utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie et les microfilms, sans l’accord écrit de l’éditeur.
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Imprimé en Suisse
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ISO 1608-2 : 1989 (FI
Introduction
L’ISO 1608 a pour objet d’assurer que le mesurage des caractéristiques de fonctionne-
ment des pompes à vide à jet de vapeur soit effectué, dans toute la mesure du possible,
selon des procédés et dans des conditions uniformes. Le résultat souhaité est que les
mesurages effectués par différents fabricants ou dans différents laboratoires, et les
indications concernant le fonctionnement fournies par la documentation des fabri-
cants, soient bien comparables tant au profit de l’utilisateur que du fabricant.
II est envisagé que la Norme internationale complète englobe, en temps voulu, tous les
mesurages des caractéristiques de fonctionnement des types principaux de pompes à
vide à jet de vapeur. Toutefois, dans le but d’obtenir à bref délai des accords utiles dans
un domaine plus restreint, I’ISO 1608 est publiée en différentes parties.
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NORME INTERNATIONALE ISO 1608-2: 1989 (F)
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles -
Partie 2 :
de la pression critique de refoulement
Mesurage
NOTE - Pour les besoins de la présente partie de I’ISO 1608, le pourcen-
1 Domaine d’application
tage minimal spécifié est fixé à 10 %.
1.1 La présente partie de I’ISO 1608 prescrit une méthode de
2.1.2 pression critique à charge nulle: Valeur de la pression
mesurage de la pression critique au refoulement des pompes à
critique de refoulement pour une puissance d’aspiration nulle.
vide et à jet de vapeur.
NOTE - II s’agit de la pression de refoulement au-dessus de laquelle les
2.1.3 pression critique à pleine charge: Valeur de la
conditions de fonctionnement de la pompe sont affectées de telle facon
pression critique de refoulement pour la puissance d’aspiration
que son comportement cesse d’être satisfaisant.
maximale, étant entendu que le fonctionnement de la pompe
reste stable.
La dépendance entre le comportement d’une pompe à jet de
vapeur et la pression au refoulement ne peut être définie d’une
2.2 dôme d’essai: Enceinte de forme et de dimensions déter-
facon complète que par la courbe de variation de la pression à
minées, montée à l’admission de la pompe et dans laquelle un
l’admission en fonction de celle au refoulement dans toute la
débit de gaz peut être admis et mesuré. Elle est munie d’appareils
gamme considérée.
de mesurage de la pression.
Dans nombre de cas, il suffit de préciser la condition ci-dessus
par un paramètre unique défini en 2.1. Dans d’autres cas, cepen-
2.3 pression limite: Valeur vers laquelle tend asymptotique-
dant, en particulier lors de fonctionnement en ultra-vide ou du
ment la pression dans le dôme, le robinet d’admission de gaz
pompage de gaz comme l’hydrogène et l’hélium, la courbe com-
étant fermé et la pompe fonctionnant normalement.
plète peut être nécessaire.
NOTE - En pratique, la pression limite est censée être atteinte après que
la pompe ait fonctionné pendant un temps assez long pour que la réduc-
1.2 Les pompes considérées comprennent les trois catégories
tion de la pression dans le dôme soit devenue négligeable.
suivantes de pompes à jet de vapeur d’huile ou de mercure:
-
éjecteur à vapeur pour le vide;
3 Appareillage
-
pompes à diffusion;
3.1 Dôme d’essai, tel que représenté par la figure 1 et décrit
dans I’ISO 1608-I.
-
pompes à diffusion et à éjecteur.
La disposition générale du matériel d’essai doit être conforme à la
figure 2. Le matériel suivant est nécessaire:
2 Définitions
1) Robinet réglable (A) d’admission de gaz dans le dôme
Pour les besoins de la présente partie de I’ISO 1608, les défini-
d’essai combiné avec un dispositif convenable de mesurage
tions suivantes s’appliquent.
du flux.
2) Robinet réglable (B) d’admission de gaz, monté à l’entrée
2.1 pression critique de refoulement:
de la pompe primaire, pour régler la pression au refoulement.
2.1.1 Cas général - La plus petite valeur de la pression au II convient que la longueur de la tuyauterie de refoulement
refoulement pour laquelle une légère augmentation de celle-ci
entre le robinet (B) et le point d’attache du manométre-tube
détermine, du côté de l’admission de la pompe, une augmenta- soit supérieure à 200 mm (voir figure 2).
tion minimale spécifiée de la pression à l’admission pour un flux
gazeux déterminé. Cette augmentation est définie par le pour- 3) Manomètre (CI, destiné à mesurer la pression dans la
centage minimal spécifié de l’augmentation de la pression au
tuyauterie de refoulement, situé prè
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Questions, Comments and Discussion
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