Optics and optical instruments - Preparation of drawings for optical elements and systems - Part 14: Wavefront deformation tolerance

International Standard ISO 10110 applies to the presentation of design and functional requirements for optical elements and assemblies in technical drawings used for manufacturing and inspection. ISO 10110-14:2003 provides rules for the indication of the allowable deformation of a wavefront transmitted through or, in the case of reflective optics, reflected from an optical element or assembly. The deformation of the wavefront refers to its departure from the desired shape ("Nominal theoretical wavefront"). The tilt of the wavefront with respect to a given reference surface is excluded from the scope. There is no requirement that a tolerance for wavefront deformation be indicated. If such a tolerance is specified, it does not take precedence over a tolerance for the surface deformation according to ISO 10110-5. If tolerances for both the surface deformation and the wavefront deformation are given, they must both be upheld.

Optique et instruments d'optique — Indication sur les dessins pour éléments et systèmes optiques — Partie 14: Tolérance de déformation des fronts d'onde

La Norme internationale ISO 10110 s'applique à la représentation des exigences de conception et des exigences fonctionnelles des éléments et sous-ensembles optiques dans les dessins techniques utilisés pour la fabrication et le contrôle. L'ISO 10110-14:2003 fournit des règles pour indiquer la tolérance de déformation d'un front d'onde transmis à travers ou, dans le cas des systèmes optiques réfléchissants, réfléchi sur un élément ou un sous-ensemble optique. La déformation du front d'onde se réfère à sa déviation par rapport à la forme souhaitée («Front d'onde théorique nominal»). L'inclinaison du front d'onde par rapport à une surface de référence donnée est exclue du domaine d'application. Il n'y a pas d'exigence d'indication de la tolérance de déformation du front d'onde. Si une telle tolérance est spécifiée, elle ne prend pas le pas sur une tolérance de déformation de la surface, conformément à l'ISO 10110-5. Si des tolérances sont indiquées à la fois pour la déformation de surface et pour la déformation du front d'onde, elles doivent toutes les deux être respectées.

General Information

Status
Withdrawn
Publication Date
03-Apr-2003
Withdrawal Date
03-Apr-2003
Current Stage
9599 - Withdrawal of International Standard
Start Date
13-Sep-2007
Completion Date
13-Dec-2025
Ref Project

Relations

Standard
ISO 10110-14:2003 - Optics and optical instruments -- Preparation of drawings for optical elements and systems
English language
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Standard
ISO 10110-14:2003 - Optique et instruments d'optique -- Indication sur les dessins pour éléments et systemes optiques
French language
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Frequently Asked Questions

ISO 10110-14:2003 is a standard published by the International Organization for Standardization (ISO). Its full title is "Optics and optical instruments - Preparation of drawings for optical elements and systems - Part 14: Wavefront deformation tolerance". This standard covers: International Standard ISO 10110 applies to the presentation of design and functional requirements for optical elements and assemblies in technical drawings used for manufacturing and inspection. ISO 10110-14:2003 provides rules for the indication of the allowable deformation of a wavefront transmitted through or, in the case of reflective optics, reflected from an optical element or assembly. The deformation of the wavefront refers to its departure from the desired shape ("Nominal theoretical wavefront"). The tilt of the wavefront with respect to a given reference surface is excluded from the scope. There is no requirement that a tolerance for wavefront deformation be indicated. If such a tolerance is specified, it does not take precedence over a tolerance for the surface deformation according to ISO 10110-5. If tolerances for both the surface deformation and the wavefront deformation are given, they must both be upheld.

International Standard ISO 10110 applies to the presentation of design and functional requirements for optical elements and assemblies in technical drawings used for manufacturing and inspection. ISO 10110-14:2003 provides rules for the indication of the allowable deformation of a wavefront transmitted through or, in the case of reflective optics, reflected from an optical element or assembly. The deformation of the wavefront refers to its departure from the desired shape ("Nominal theoretical wavefront"). The tilt of the wavefront with respect to a given reference surface is excluded from the scope. There is no requirement that a tolerance for wavefront deformation be indicated. If such a tolerance is specified, it does not take precedence over a tolerance for the surface deformation according to ISO 10110-5. If tolerances for both the surface deformation and the wavefront deformation are given, they must both be upheld.

ISO 10110-14:2003 is classified under the following ICS (International Classification for Standards) categories: 01.100.20 - Mechanical engineering drawings; 37.020 - Optical equipment. The ICS classification helps identify the subject area and facilitates finding related standards.

ISO 10110-14:2003 has the following relationships with other standards: It is inter standard links to ISO 20347:2004/Amd 1:2007, ISO 10110-14:2007. Understanding these relationships helps ensure you are using the most current and applicable version of the standard.

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Standards Content (Sample)


INTERNATIONAL ISO
STANDARD 10110-14
First edition
2003-04-01
Optics and optical instruments —
Preparation of drawings for optical
elements and systems —
Part 14:
Wavefront deformation tolerance
Optique et instruments d'optique — Indication sur les dessins pour
éléments et systèmes optiques —
Partie 14: Tolérance de déformation des fronts d'onde

Reference number
©
ISO 2003
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Published in Switzerland
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Contents Page
Foreword. iv
Introduction . v
1 Scope. 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions. 1
4 Tolerances for wavefront deformation . 5
5 Non-circular test areas . 5
6 Specification of tolerances for wavefront deformation . 6
6.1 General. 6
6.2 Units . 6
6.3 Wavelength . 6
6.4 Target aberrations. 6
6.5 Cemented (or optically contacted) elements . 6
7 Indication in drawings . 6
7.1 General. 6
7.2 Code number . 7
7.3 Form of the indication . 8
7.4 Location . 9
7.5 Indication of type of illumination. 10
7.6 Specification of the image-point location.10
7.7 Indication of target aberrations . 11
8 Examples of tolerance indications. 11
Annex A (informative) Method for the analysis of wavefronts using digital interferogram analysis . 13
Annex B (informative) Visual interferogram analysis . 19

Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the
International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 10110-14 was prepared by Technical Committee ISO/TC 172, Optics and optical instruments,
Subcommittee SC 1, Fundamental standards.
ISO 10110 consists of the following parts, under the general title Optics and optical instruments — Preparation
of drawings for optical elements and systems:
 Part 1: General
 Part 2: Material imperfections — Stress birefringence
 Part 3: Material imperfections — Bubbles and inclusions
 Part 4: Material imperfections — Inhomogeneity and striae
 Part 5: Surface form tolerances
 Part 6: Centring tolerances
 Part 7: Surface imperfection tolerances
 Part 8: Surface texture
 Part 9: Surface treatment and coating
 Part 10: Table representing data of optical elements and cemented assemblies
 Part 11: Non-toleranced data
 Part 12: Aspheric surfaces
 Part 14: Wavefront deformation tolerance
 Part 16: Aspheric diffractive surfaces
 Part 17: Laser irradiation damage threshold
iv © ISO 2003 — All rights reserved

Introduction
This part of ISO 10110 makes it possible to specify a functional tolerance for the performance (expressed in
wavelengths of single-pass wavefront deformation) for an optical system. This tolerance therefore includes the
effect of surface deformations, inhomogeneities, and possible interactions among the various individual errors.
The quality of an optical system depends not only on the quality of the surfaces, but also on several other
factors, such as the homogeneity of the optical material and how the optical surfaces of the system interact
with each other. Because of this effect, the selection of tolerances for individual degradations (such as
surfaces and inhomogeneity) may be difficult. For instance, the effect of glass inhomogeneities upon the
optical quality of a prism depends greatly upon the form and orientation of the inhomogeneities; this is
particularly true when light passes through the glass in more than one direction, as in the case of a penta-
prism. In the case of a thin optical element, it often happens that the deformations of the rear surface
correspond closely to those of the front surface, due to bending of the system during fabrication.
Unfortunately, it is usually not known in advance that this will be the case, and for this reason, in the absence
of a wavefront deformation tolerance, the tolerances for the individual surfaces of a system must often be very
tight to guard against the possibility that the deformations might add to each other rather than cancel one
another.
It should be noted that it is possible to specify a tolerance on the wavefront deformation only, without
specifying tolerances on the individual surfaces. In this case, the manufacturer must ensure that the wavefront
satisfies the specified tolerance, but is not bound by tolerances on the individual surfaces of the element, and
is free, for instance, to allow the surface deformations to be large provided they cancel each other.
It is also possible to supply a tolerance for the wavefront deformation, according to this part of ISO 10110, in
addition to tolerances on the individual surfaces and/or inhomogeneity (according to ISO 10110-5 and
ISO 10110-4, respectively). In this case, the manufacturer must ensure that all of the individual tolerances
(surface deformations and inhomogeneity) are upheld, as well as ensuring that the wavefront is of the
specified quality.
INTERNATIONAL STANDARD ISO 10110-14:2003(E)

Optics and optical instruments — Preparation of drawings for
optical elements and systems —
Part 14:
Wavefront deformation tolerance
1 Scope
International Standard ISO 10110 applies to the presentation of design and functional requirements for optical
elements and assemblies in technical drawings used for manufacturing and inspection.
This part of ISO 10110 provides rules for the indication of the allowable deformation of a wavefront transmitted
through or, in the case of reflective optics, reflected from an optical element or assembly.
The deformation of the wavefront refers to its departure from the desired shape (“Nominal theoretical
wavefront”). The tilt of the wavefront with respect to a given reference surface is excluded from the scope of
this part of ISO 10110.
There is no requirement that a tolerance for wavefront deformation be indicated. If such a tolerance is
specified, it does not take precedence over a tolerance for the surface deformation according to ISO 10110-5.
If tolerances for both the surface deformation and the wavefront deformation are given, they must both be
upheld.
NOTE In this part of ISO 10110, the term “wavefront” used alone stands for either “transmitted wavefront” or
“reflected wavefront”, according to the type of system to be specified.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
ISO 7944:1998, Optics and optical instruments — Reference wavelengths
ISO 10110-1:1996, Optics and optical instruments — Preparation of drawings for optical elements and
systems — Part 1: General
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
3.1
wavefront deformation
distance between a wavefront transmitted and/or reflected once through, or in the case of reflective optics,
reflected once from, the optical element or assembly under test and the nominal theoretical wavefront,
measured normal to the nominal theoretical wavefront
NOTE 1 See also 3.13.
NOTE 2 The illuminating wavefront may be specified to be planar, convergent or divergent. See 7.5 and 7.6.
3.2
peak-to-valley difference between two wavefronts
PV difference between two wavefronts
maximum distance minus the minimum distance between the wavefronts
NOTE It is possible that the wavefronts cross, in which case the minimum distance between the wavefronts is a
negative number; the sign must be taken into account in computing the PV difference.
3.3
total wavefront deformation function
theoretical surface defined by the difference between the wavefront transmitted and/or reflected once through
the optical system under test and the nominal theoretical wavefront, measured normal to the nominal
theoretical wavefront
See Figure 1a).
3.4
approximating spherical wavefront
theoretical spherical wavefront tangent to the exit pupil of the system under test for which the root-mean-
square difference to the wavefront transmitted and/or reflected once through the optical system under test is a
minimum
See Figure 1b).
NOTE 1 For the purpose of this definition, “spherical wavefronts” include the “planar wavefront”. (The planar wavefront
is considered to be a particular case of the spherical wavefront.)
NOTE 2 See Clause 5 in the case of non-circular test areas.
3.5
wavefront sagitta error
peak-to-valley difference between the approximating spherical wavefront and the reference sphere
NOTE 1 The wavefront sagitta error represents the extent to which the radius of curvature of the approximating
wavefront departs from that of the nominal theoretical wavefront.
NOTE 2 If no restrictions are specified on the location of the image of the optical system under test, the reference
sphere is identical to the approximating spherical wavefront, and the wavefront sagitta error is defined to be zero.
3.6
wavefront irregularity function
theoretical surface defined by the difference between the total wavefront deformation function and the
approximating spherical wavefront
See Figure 1c).
3.7
wavefront irregularity
peak-to-valley difference between the wavefront irregularity function and the plane which best approximates it
NOTE The wavefront irregularity represents the departure of the wavefront from sphericity.
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3.8
approximating aspheric wavefront
rotationally symmetric aspheric wavefront for which the root-mean-square difference to the wavefront
irregularity function is a minimum
See Figure 1d).
NOTE See Clause 5 in the case of non-circular test areas.

Figure 1 — Example of a measured wavefront and its decomposition into wavefront deformation types

3.9
rotationally symmetric wavefront irregularity
peak-to-valley difference between the approximating aspheric wavefront and the plane which best
approximates it
NOTE The rotationally symmetric wavefront irregularity is the rotationally symmetric irregularity of the wavefront
irregularity function. Its value cannot exceed that of the wavefront irregularity function.
3.10
total rms wavefront deformation
RMSt
root-mean-square difference between the wavefront transmitted once through, and/or reflected once from, the
optical system under test and the nominal theoretical wavefront, which includes any specified target
aberrations
3.11
rms wavefront irregularity
RMSi
root-mean-square value of the wavefront irregularity function defined in 3.6
3.12
rms wavefront asymmetry
RMSa
root-mean-square value of the difference between the wavefront irregularity function and the approximating
aspheric wavefront
See Figure 1e).
3.13
single-pass
testing arrangement in which the light beam passes once through, or in the case of reflective optics, is
reflected once by, the element under test
NOTE 1 For corner-cubes, roof prisms, “cat's eyes”, and other types of retroreflectors, a single retroreflection from the
element constitutes a “single-pass” configuration, even though the light actually passes through much of the element
twice.
NOTE 2 Although the wavefront deformation as defined in 3.1 refers to a “single-pass” measurement, many types of
optical systems are commonly tested in a “double-pass” configuration, in which the light passes through or reflects from
the element twice. In many cases, when an element is tested in a double-pass configuration, the observed deformation of
the wavefront is approximately twice the wavefront deformation as defined in 3.1. Regardless of how the system is actually
to be tested or used, the tolerance for wavefront deformation always refers to the “wavefront deformation” as defined in
3.1, that is, as if used in a single-pass configuration.
NOTE 3 When an element of poor optical quality is tested in a double-pass configuration, it is possible that the rays of
the test beam are disturbed sufficiently (for example, made divergent or convergent) so that they do not pass through the
same positions of the test element on the second transmission. In this case, the wavefront deformation is not equal to one-
half the observed deformation, and a precise determination of the (single-pass) wavefront deformation is difficult.
NOTE 4 In some cases, the double-pass wavefront deformation is not even approximately equal to twice the single-
pass wavefront deformation. For instance, an optical system containing a wedged prism will convert a test beam of circular
cross-section into one having an elliptical cross-section. When converting between single-pass and double-pass results, it
is necessary to take such effects into account.
3.14
target aberrations
aspheric deformations of the wavefront which have been specified for inclusion in the nominal theoretical
wavefront
3.15
nominal theoretical wavefront
theoretical wavefront equal to the reference sphere plus any target aberrations which may be specified
NOTE This is the “Desired shape” of the wavefront mentioned in Clause 1.
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3.16
reference sphere
the theoretical spherical wavefront tangent to the exit pupil of the system under test, for which the root-mean-
square difference to the wavefront transmitted once through and/or reflected once from the optical system
under test is a minimum, and consistent with any restrictions which may be specified for the location of the
image of the system
NOTE 1 See Clause 5 in the case of non-circular test areas.
NOTE 2 If no restrictions are specified on the image position, the reference sphere is identical to the approximating
spherical surface.
4 Tolerances for wavefront deformation
The tolerances for wavefront deformation are indicated by specifying the maximum permissible values of the
wavefront sagitta error (3.5), wavefront irregularity (3.7), and/or rotationally symmetric wavefront irregularity
(3.9). In addition, tolerances for three root-mean-square (rms) measures of wavefront deformation may be
specified (see 3.10, 3.11 and 3.12). These rms measures of the wavefront deformation represent the rms
value of the function remaining after the subtraction of various types of wavefront deformation.
The wavefront sagitta error is meaningful only when the location of the image is specified. If the location of the
image is left unspecified, the wavefront sagitta error, as defined in 3.5, is defined to be zero, and shall not be
specified.
NOTE 1 A method for determining the amount of wavefront sagitta error, wavefront irregularity, and rotationally
symmetric wavefront irregularity of a given wavefront using digital interferogram analysis is described in Annex A. Methods
by which these quantities can be estimated using visual interpretation of interferograms are described in Annex B.
NOTE 2 A method for calculating the total rms wavefront deformation, the rms wavefront irregularity, and the rms
wavefront asymmetry is described in Annex A. These rms measures of wavefront deformation cannot be estimated
visually.
5 Non-circular test areas
The peak-to-valley (PV) and root-mean-square (RMS) wavefront deformation types given in Clause 3 refer to
values calculated within the actual test area. In the case of non-circular test areas, these error types shall be
calculated only over the actual test area.
The approximating spherical wavefront (3.4) is the spherical wavefront which best approximates the
wavefront. If the test area is non-circular, it is important that this approximation be made by a wavefront that is
spherical. In particular, the spherical part of an aspheric approximating function shall not be substituted for the
approximating spherical wavefront.
The approximating aspheric wavefront (see 3.8) is the rotationally symmetric wavefront which best
approximates the wavefront irregularity function. If the test area is non-circular, it is important that this
approximation be made by a wavefront that is rotationally symmetric. In particular, the rotationally symmetric
part of a non-symmetric approximating wavefront shall not be substituted for the approximating aspheric
wavefront (see 3.8).
NOTE 1 If the test area is non-circular, the various wavefront deformation types defined in Clause 3 are not
mathematically orthogonal. Nevertheless, these wavefront deformation types are well-defined (not ambiguous) provided
the above restrictions are upheld.
NOTE 2 Annex A describes a method for calculating the amounts of the various types of wavefront deformation,
regardless of whether or not the test area is circular.
6 Specification of tolerances for wavefront deformation
6.1 General
For the specification of tolerances for wavefront deformation, the stipulations given in 6.2 to 6.5 apply.
NOTE It is not necessary that tolerances be specified for all types of wavefront deformation.
6.2 Units
The maximum permissible values for wavefront sagitta error, wavefront irregularity, rotationally symmetric
wavefront irregularity and, if applicable, any target aberrations (3.14) shall be specified in units of
wavelengths.
These quantities are defined with reference to a wavefront passing once through the element under test
(single-pass). See the appropriate definitions given in Clause 3.
If a specification is to be given for one or more rms wavefront deformation types, the specification shall also
be in units of wavelengths (single-pass).
6.3 Wavelength
Unless otherwise specified, the wavelength is that of the green spectral line of mercury (e-Iine),
λ = 546,07 nm, according to ISO 7944.
If other than λ = 546,07 nm, the wavelength in which the wavefront deformation is specified shall be indicated
on the drawing. See Example 2 in Figure 2. See Clause 7.
6.4 Target aberrations
Frequently, the nominal theoretical wavefront is spherical or planar. In some cases, to allow for the presence
of small amounts of residual aberration in the design of an optical system, non-zero target values may be
specified for the polynomial aberration types defined in Annex A.
6.5 Cemented (or optically contacted) elements
If two or more optical elements are to be cemented (or optically contacted), the wavefront deformation
tolerances given for the individual elements also apply for the elements after assembly, i.e. after cementing (or
optically contacting), unless otherwise specified. See ISO 10110-1:1996, 4.8.3.
7 Indication in drawings
7.1 General
In all cases in which a tolerance for wavefront deformation is to be indicated, the optical axis of the element
shall be indicated on the drawing according to ISO 10110-1:1996, 4.2.
The location of the stop surface or pupil shall be indicated according to ISO 10110-1:1996, 5.3. See Figure 2.
The tolerance for wavefront deformation shall be indicated by a code number (see 7.2) and the indications of
the tolerances for wavefront sagitta error, wavefront irregularity, rotationally symmetric wavefront irregularity
and rms deformation types, as appropriate (see 7.3).
For any type of wavefront deformation indicated on the drawing, the specified wavelength shall be indicated in
accordance with 6.3.
6 © ISO 2003 — All rights reserved

No provision is given for the specification of a PV-tolerance for the total wavefront deformation (that is,
including both the wavefront sagitta error and the wavefront irregularity). If such a specification is necessary,
this information shall be given in a note on the drawing, for example: “Total wavefront deformation shall not
exceed 0,25 wavelength.”
See Clause 8 for examples of tolerance indications.
7.2 Code number
The code number for wavefront deformation is 13/.

a) Example 1
b) Example 2
Figure 2 — Examples of an indication of a tolerance for wavefront deformation,
with planar illumination
7.3 Form of the indication
The indication shall have one of the following three forms:
13/A (B/C); λ = E
or
13/A (B/C) RMSx < D; λ = E (where x is one of the Ietters t, i or a)
or
13/ — RMSx < D; λ = E (where x is one of the letters t, i, or a).
The indication “; λ = E” (last element of the three forms of indication specified above) may be omitted provided
the specified wavelength is λ = 546,07 nm (see 7.1).
NOTE More than one RMSx value may be specified.
The quantity A is either
 the maximum permissible (single-pass) wavefront sagitta error, as defined in 3.5, expressed in wave-
lengths, or
 a dash (—) indicating that no explicit tolerance for wavefront sagitta error is given.
The quantity B is either
 the permissible PV value of (single-pass) wavefront irregularity, as defined in 3.7, expressed in wave-
lengths, or
 a dash (—) indicating that no explicit tolerance for wavefront irregularity is given.
The quantity C is the permissible value of the (single-pass) rotationally symmetric wavefront irregularity, as
defined in 3.9, expressed in wavelengths. If no tolerance is given, the slash (/) is replaced by the final
parenthesis, i.e. 13/A(B).
If no tolerance is given for the all three deformation types, then A, B, C, the divisor line (/) and the parenthesis
are replaced by a single dash (—), i.e. 13/—.
The quantity D is the maximum permissible value of the rms quantity of the type specified by x, where x is one
of the Ietters t, i or a. These quantities are defined in 3.10 to 3.12. The specification of more than one type of
rms deviation is allowed. These specifications shall be separated by a semicolon, as shown in Clause 8,
Example 7.
The quantity E is the wavelength, in nanometres, in which the wavefront deformation is specified.
The wavefront deformation tolerance indicated applies to the optically effective area, except when the
indication is to apply to a smaller test field for all possible positions within the optically effective area. In this
case, the diameter of the test field shall be appended to the tolerance indication as follows:
13/A (B/C) RMSx < D (all ∅.); λ = E
See Clause 8, Examples 4a) and 4b).
8 © ISO 2003 — All rights reserved

7.4 Location
The indication shall be entered near the optical element to which it refers. If necessary, the indication may be
connected to the optical axis by a leader, as shown in Figure 2.
In cases where the optical axis is not normal to the surfaces of the element, it may be necessary to indicate
the test area for wavefront deformation in a cross-section perpendicular to the optical axis. In this case, the
indication of wavefront deformation shall be associated with the test area (see Figure 3).
For elements requiring indications for wavefront deformation along multiple test paths, the various test paths
shall be indicated with reference letters, as shown in Figure 4. The indications for wavefront deformation shall
be associated with the Ietters of the input and output test paths, as shown in Figure 4.

a) Example 1
b) Example 2
Figure 3 — Examples of indication of the wavefront quality specification
referencing an indicated test area
CE: 13/3 (1) (∞)
CF: 13/1 (0,2) (∞)
DE: 13/3 (1) (∞)
DF: 13/1 (0,2) (∞)
Figure 4 — Indication of the wavefront quality specification for an element having multiple test paths

7.5 Indication of type of illumination
For collimated (planar wavefront) illumination, the infinity symbol (∞) shall be appended between parentheses
to the indication for wavefront deformation, as shown in Figure 2. For diverging or converging illumination, the
position of the object point (ob) shall be indicated on the drawing. See Figure 5.

Figure 5 — Example showing the indication of the object point (ob) on the drawing

7.6 Specification of the image-point location
Optionally, the location of the image point may be given with a dimensional tolerance. If the image location is
given, it shall be distinguished from the object location by the letters “im” associated with the indicated
position. See Figure 6.
NOTE The wavefront sagitta error, which is a measure of the extent to which this tolerance is upheld, is not
meaningful unless the object and image position are indicated. See 3.5.
10 © ISO 2003 — All rights reserved

a
P indicates the pupil.
Figure 6 — Example showing the indication of the object and image positions

7.7 Indication of target aberrations
Target values for one or more of the polynomial aberrations defined in Annex A may be specified following the
word “Target”. The form for the indication of a target aberration is as follows:
C = x
i
where
i is the identifying index of the desired polynomial term;
x is the numerical value of the target.
See Clause 8, Example 8.
8 Examples of tolerance indications
The following examples are designed to illustrate the indications in drawings in accordance with this part of
ISO 10110.
EXAMPLE 1 13/— (1); λ = 632,8
The wavefront irregularity shall not exceed 1 wavelength (at λ = 632,8 nm) of single-pass wavefront deformation. No
tolerance for wavefront sagitta error is given.
EXAMPLE 2 13/5 (—) RMSi < 0,05; λ = 632,8
The tolerance for the wavefront sagitta error (in addition to the amount corresponding to the dimensional tolerance given in
the indication of the image position) is 5 wavelengths of single-pass wavefront deformation. No specific tolerance is given
for wavefront irregularity or rotationally symmetric wavefront irregularity, but the rms-value of the wavefront irregularity
shall be less than 0,05 wavelength of single-pass wavefront deformation. The wavelength for all wavefront deformation
specifications is λ = 632,8 nm.
EXAMPLE 3 13/3 (1/0,5)
The tolerance for the wavefront sagitta error is 3 wavelengths of single-pass wavefront deformation. The total wavefront
irregularity shall not exceed 1 wavelength of single-pass wavefront deformation. The rotationally symmetric wavefront
irregularity shall not exceed 0,5 wavelength of single-pass wavefront deformation. The wavelength for all wavefront
deformation specifications is λ = 546,07 nm.
EXAMPLE 4a 13/3 (1/0,5); (All ∅ 30)
The wavefront deformation tolerances apply to all possible locations of a 30 mm diameter test area within the optically
effective test area. The tolerance for the wavefront sagitta error is 3 wavelengths of single-pass wavefront deformation.
The total wavefront irregularity shall not exceed 1 wavelength of single-pass wavefront deformation. The rotationally
symmetric wavefront irregularity shall not exceed 0,5 wavelength of single-pass wavefront deformation. The wavelength
for all wavefront deformation specifications is λ = 546,07 nm.
EXAMPLE 4b 13/0,5 — RMSi < 0,05 (all ∅ 12)
For all possible positions of a 12 mm diameter test region within the optically effective test area of the element, the (single-
pass) wavefront sagitta error shall not exceed 0,5 wavelength, and the rms wavefront irregularity shall be less than 0,05
wavelength of single-pass wavefront deformation. The wavelength for all wavefront deformation specifications is
λ = 546,07 nm.
EXAMPLE 5 13/3 (1); λ = 632,8
The tolerance for the wavefront sagitta error is 3 wavelengths in single-pass; the total wavefront irregularity shall not
exceed 1 wavelength of single-pass wavefront deformation. The wavelength for all wavefront deformation specifications is
λ = 632,8 nm.
EXAMPLE 6 13/— RMSt < 0,07; λ = 632,8
No specific tolerance for the wavefront sagitta error, wavefront irregularity or rotationally symmetric wavefront irregularity is
given; however, the total rms difference between the experimental wavefront and the theoretical wavefront shall be less
than 0,07 wavelength of single-pass wavefront deformation. The wavelength for all wavefront deformation specifications is
λ = 632,8 nm.
EXAMPLE 7a 13/— RMSi < 0,07; RMSa < 0,03; λ = 632,8
No specific tolerance for the wavefront sagitta error, wavefront irregularity or rotationally symmetric wavefront irregularity is
given; however, the rms wavefront irregularity shall be less than 0,07 wavelength of single-pass wavefront deformation,
and the rms wavefront asymmetry shall be less than 0,03 wavelength of single-pass wavefront deformation. The
wavelength for all wavefront deformation specifications is λ = 632,8 nm.
EXAMPLE 7b 13/— RMSt < 0,07; RMSi < 0,04
No specific tolerance for the wavefront sagitta error, wavefront irregularity, or rotationally symmetric wavefront irregularity
is given; however, the total rms wavefront deformation shall be less than 0,07 wavelength of single-pass wavefront
deformation, and the rms wavefront irregularity shall be less than 0,04 wavelength of single-pass wavefront deformation.
The wavelength for all wavefront-deformation specifications is λ = 546,07 nm.
EXAMPLE 8 13/— (0,1); λ = 632,8
Target:
C = 1,24;
C = − 0,44
No specific tolerance is given for the wavefront sagitta error or the rotationally symmetric wavefront irregularity. The
nominal theoretical wavefront consists of the reference sphere plus the following polynomial:
polynomial = 1,24 Z − 0,44 Z
8 15
The tolerance for the wavefront irregularity (compared to this aspheric wavefront) is 0,1 wavelength of single-pass
wavefront deformation. The wavelength for all wavefront deformation specifications (including the target aberrations) is
λ = 632,8 nm.
EXAMPLE 9 CE:  13/3 (1)
CF:  13/1 (0,2)
DE:  13/3 (1)
DF:  13/1 (0,2)
The tolerance for the single-pass ray paths from C to E and from D to E is 3 wavelengths for wavefront sagitta error and 1
wavelength for wavefront irregularity. The tolerance for the single-pass ray paths from C to F and from D to F is 1
wavelength for wavefront sagitta error and 0,2 wavelength for wavefront irregularity. The wavelength for all wavefront
deformation specifications is λ = 546,07 nm.

12 © ISO 2003 — All rights reserved

Annex A
(informative)
Method for the analysis of wavefronts
using digital interferogram analysis
A.1 General
A.1.1 Introduction
The contents of this annex are important for users of digital interferometers, as well as for developers of
software for interferometry.
The method described in this annex for the analysis of wavefronts is restricted in its applicability to wavefronts
which can be described in terms of polynomials.
Examples of wavefronts to which this method does not apply are those which are coneshaped and those with
spatially localized deformations.
The amounts of the various types of wavefront deformation are determined through a process of successive
fitting and removal of wavefront deformation types. At each stage, the removal of one type of wavefront
deformation exposes the next type of deformation.
The procedure by which a function of a certain type which “best fits” a certain original function is determined is
the well-known method of least squares, which minimizes the rms difference between the original function and
the approximation to it. The rms value of a function is defined in A.4.
Various approximations to the wavefront are represented as linear combinations of the Zernike polynomials
defined in A.3. These combinations are given by corresponding coefficients. The coordinates r and θ are as
defined in A.1.3.
A.1.2 lnterferometric reference wavefront
The interferometric reference wavefront is a physically existing wavefront generated by the interferometer, to
represent the nominal theoretical wavefront. Typically, the interferometric reference wavefront consists of a
planar or spherical wavefront corresponding to the reference sphere defined in 3.16. If the nominal theoretical
wavefront is weakly aspheric, it may be possible to use a planar or spherical reference wavefront and account
for the asphericity through software. If the nominal theoretical wavefront is strongly aspheric, the
interferometer shall have a physical means, such as a “null lens” or a computer-generated hologram, of
modifying the asphericity of a wavefront. In principle, it would be possible to create an aspheric interferometric
reference wavefront to match the desired asphericity of the test wavefront. It is more common, however, to
use a null lens or computer-generated hologram to remove the desired amount of asphericity of the test beam,
so that it may be compared with a spherical reference beam.
A.1.3 Coordinate system
The wavefront under test is described in polar coordinates by the variables r and θ; the origin of the
coordinate system is the centre of the test area, and r is normalised to 1 at the edge of the test area. For non-
circular test areas, the “centre” of the test area refers to its centroid, and the radius of the test area refers to
the distance from the centre to the most distant point. The parameter r ranges therefore between zero and 1.
Various approximations to the wavefront are represented as linear combinations of the polynomials –
commonly called Zernike polynomials − Z (r,θ), Z (r,θ) ., given in A.3.2. These linear combinations are given
0 1
by corresponding coefficients C , C , .
0 1
A.1.4 Single-pass and double-pass measurements
Wavefront deformation is defined in 3.1 in reference to a wavefront which passes through or, in the case of
reflective optics, reflects from the optical element once (single-pass). If the element is tested in this manner,
the equations given in this annex may be used directly. (Figure B.1 gives an example of a single-pass
interferometer).
Very often optical elements are tested in a double-pass arrangement, an example of which is shown in
Figure B.2. If the element is tested in double-pass, the results of all the equations given in this annex will have
to be adjusted appropriately to yield single-pass results. In many cases, this adjustment is simply to divide the
results by two; however, this is not always true. See Notes 1 and 2 of 3.1.
A.2 Procedure
A.2.1 General
The procedure for finding the amounts of the various wavefront deformation types is given in A.2.2 to A.2.8.
Although this procedure is described in terms of the Zernike polynomials, any mathematically equivalent
procedure based on another set of functions may be used. However, since the order of operations is important
when using non-orthogonal polynomials, the equivalence between the procedure used and that given here
shall be maintained at each step of the entire procedure. This is of particular importance when the test region
is not circular (see A.3.3).
A.2.2 Total wavefront deformation
The total-optical-path-difference function, OPD(r,θ), refers to the difference between the test and reference
wavefronts, as measured by the interferometer, including any tilt between the test wavefront and the
interferometric reference wavefront. The total-wavefront-deformation function, TWD(r,θ), refers to the optical
path difference after subtraction of the best-fitting plane, P(r,θ).
Specifically, P(r,θ) is given by the linear function
P(r,θ) = C Z (r,θ) + C Z (r,θ) + C Z (r,θ)
0 0 1 1 2 2
where the coefficients C , C and C are found by the least-squares procedure. From this, the total wavefront
0 1 2
deformation function TWD(r,θ) is found by subtracting the best-fitting plane and any target aberrations
specified according to 7.7 from the measured wavefront deformation W(r,θ):
TWD(rr,θ )=−W ( ,θθ) P(r, )−CZ (r,θ )
ii

i
where the coefficients C are the indicated amounts of the target aberrations (see 7.7).
i
A.2.3 Total rms wavefront deformation RMSt
The total rms wavefront deviation, RMSt (3.10), is equal to the rms value of the total-wavefront-deformation
function, TWD (r,θ).
14 © ISO 2003 — All rights reserved

A.2.4 Approximating spherical wavefront and wavefront sagitta error
The best approximating spherical wavefront is found from the total wavefront deformation function. For
reasonable amounts of wavefront deformation, this can be approximated by the parabolic deformation defined
by the Zernike term number 3:
Approximating sphere = C Z (r,θ),
3 3
where the coefficient C is determined by the least-squares method. (For non-circular test areas, the
restrictions of Clause 5 and of A.3.3 apply.) The wavefront sagitta error (3.5) is then determined from the
coefficient C :
Wavefront sagitta error = 2C
A.2.5 Wavefront irregularity function
The wavefront irregularity function IRR(r,θ) is the difference between the total wavefront deformation function
TWD(r,θ) and the approximating sphere. This corresponds to the function remaining after the approximating
sphere has been subtracted from the wavefront.
IRR(r,θ) = TWD(r,θ) − C Z (r,θ)
3 3
A.2.6 Wavefront irregularity and rms wavefront irregularity, RMSi
The rms wavefront irregularity RMSi (3.11) is equal to the rms value of the wavefront irregularity function. The
wavefront irregularity (3.7) is equal to the peak-to-valley value of the wavefront irregularity function.
Some form of smoothing (e.g. convolution or replacement of the function with a polynomial of sufficient order)
is usually required to remove the effects of isolated surface defects (scratches, local material defects, etc.)
scattering of light from dust particles and measurement “noise”, which are not part of the surface-form
deviation. The nature of the smoothing should be reported as part of the test report for the optical element.
A.2.7 Approximating aspheric wavefront and rotationally symmetric wavefront irregularity
The approximating aspheric wavefront AAW(r,θ) is obtained by a least-squares fit of a series of rotationally
symmetric Zernike polynomials to the irregularity function IRR(r,θ):
AAW(r,θ) = C Z (r,θ) + C Z (r,θ) + C Z (r,θ) + C Z (r,θ) + .
8 8 15 15 24 24 35 35
(For non-circular test areas, the restrictions of Clause 5 and of A.3.3 apply.)
In most cases, the approximation is sufficiently accurate using the four terms given above. Higher-order terms
may be used if necessary. In cases where sp
...


NORME ISO
INTERNATIONALE 10110-14
Première édition
2003-04-01
Optique et instruments d'optique —
Indication sur les dessins pour éléments
et systèmes optiques —
Partie 14:
Tolérance de déformation des fronts
d'onde
Optics and optical instruments — Preparation of drawings for optical
elements and systems —
Part 14: Wavefront deformation tolerance

Numéro de référence
©
ISO 2003
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Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2003 — Tous droits réservés

Sommaire Page
Avant-propos. iv
Introduction . v
1 Domaine d'application. 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions. 2
4 Tolérances de déformation du front d'onde. 5
5 Zones d'essai non circulaires. 5
6 Spécification des tolérances de déformation du front d'onde. 6
6.1 Généralités. 6
6.2 Unités . 6
6.3 Longueurs d’onde. 6
6.4 Aberrations cibles. 6
6.5 Éléments collés (ou en contact optique). 6
7 Indication sur les dessins . 6
7.1 Généralités. 6
7.2 Numéro de code. 7
7.3 Forme de l’indication. 8
7.4 Position de l'indication. 9
7.5 Indication du type d'éclairage. 10
7.6 Spécification de la position du point image. 10
7.7 Indication des aberrations cibles. 11
8 Exemples d'indications de tolérances.11
Annexe A (informative) Méthode d’analyse des fronts d’onde par analyse numérique des
interférogrammes. 13
Annexe B (informative) Analyse visuelle des interférogrammes . 19

Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée
aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du
comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec
la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI,
Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d'élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur
publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités membres
votants.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne
pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L'ISO 10110-14 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 172, Optique et instruments d'optique,
sous-comité SC 1, Normes fondamentales.
L'ISO 10110 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Optique et instruments
d'optique — Indication sur les dessins pour éléments et systèmes optiques:
 Partie 1: Généralités
 Partie 2: Imperfections des matériaux — Biréfringence sous contrainte
 Partie 3: Imperfections des matériaux — Bulles et inclusions
 Partie 4: Imperfections des matériaux — Hétérogénéités et stries
 Partie 5: Tolérances de forme de surface
 Partie 6: Tolérances de centrage
 Partie 7: Tolérances d'imperfection de surface
 Partie 8: État de surface
 Partie 9: Traitement de surface et revêtement
 Partie 10: Tableau représentant les données d'un élément ou d'un assemblage collé
 Partie 11: Données non tolérancées
 Partie 12: Surfaces asphériques
 Partie 14: Tolérance de déformation des fronts d'onde
 Partie 16: Surfaces asphéro-diffractives
 Partie 17: Seuil de dommage au rayonnement laser
iv © ISO 2003 — Tous droits réservés

Introduction
La présente partie de l’ISO 10110 permet de spécifier une tolérance fonctionnelle pour la performance
(exprimée en longueurs d’onde de déformation du front d’onde en simple passe) d’un système optique.
Cette tolérance comprend donc l'effet des déformations de surface, les hétérogénéités et les interactions
possibles entre les différentes erreurs individuelles.
La qualité d'un élément optique dépend non seulement de la qualité des surfaces, mais également de
plusieurs autres facteurs, comme l'homogénéité des matériaux optiques et la façon dont les surfaces
optiques d'un système réagissent entre elles. À cause de ces effets, la sélection des tolérances pour des
dégradations spécifiques (comme les surfaces et l'hétérogénéité) peut s'avérer difficile. Par exemple l'effet
des hétérogénéités du verre sur la qualité optique d'un prisme dépend en grande partie de la forme et de
l'orientation des hétérogénéités; ceci est particulièrement vrai lorsque la lumière passe à travers le verre
dans plusieurs directions, comme c'est le cas avec un prisme pentagonal. Dans le cas d'un élément optique
mince, il arrive souvent que les déformations de la surface arrière correspondent étroitement à celles de la
surface avant, en raison du cintrage de l'élément pendant la fabrication. Malheureusement, on ne sait pas à
l'avance si ce sera le cas, et pour cette raison, en l’absence d’une tolérance de déformation du front d’onde,
les tolérances des surfaces individuelles d'un système doivent être très strictes afin de se prémunir contre la
possibilité que les déformations s'additionnent les unes aux autres au lieu de s'annuler.
Il convient de noter qu’il est possible de spécifier une tolérance de déformation du front d'onde uniquement,
sans avoir à spécifier les tolérances de chaque surface. Dans ce cas, le fabricant doit s'assurer que le front
d'onde satisfait à la tolérance spécifiée, sans être lié par les tolérances de chaque surface de l'élément et en
ayant la latitude, par exemple, de tolérer de fortes déformations de surface pourvu qu'elles s'annulent
mutuellement.
Il est également possible d'indiquer une tolérance de déformation du front d'onde, conformément à la
présente partie de l'ISO 10110, en plus des tolérances des surfaces individuelles et/ou de l'hétérogénéité
(conformément à l’ISO 10110-5 et à l’ISO 10110-4 respectivement). Dans ce cas, le fabricant doit s'assurer
que toutes les tolérances individuelles (déformations de surface et hétérogénéité) sont satisfaites et
également que le front d'onde possède la qualité spécifiée.
NORME INTERNATIONALE ISO 10110-14:2003(F)

Optique et instruments d'optique — Indication sur les dessins
pour éléments et systèmes optiques —
Partie 14:
Tolérance de déformation des fronts d'onde
1 Domaine d'application
La Norme internationale ISO 10110 s'applique à la représentation des exigences de conception et des
exigences fonctionnelles des éléments et sous-ensembles optiques dans les dessins techniques utilisés pour
la fabrication et le contrôle.
La présente partie de l'ISO 10110 fournit des règles pour indiquer la tolérance de déformation d'un front
d'onde transmis à travers ou, dans le cas des systèmes optiques réfléchissants, réfléchi sur un élément ou un
sous-ensemble optique.
La déformation du front d'onde se réfère à sa déviation par rapport à la forme souhaitée («Front d’onde
théorique nominal»). L'inclinaison du front d'onde par rapport à une surface de référence donnée est exclue
du domaine d'application de la présente partie de l'ISO 10110.
Il n'y a pas d'exigence d'indication de la tolérance de déformation du front d'onde. Si une telle tolérance est
indiquée, elle ne prend pas le pas sur une tolérance de déformation de la surface, conformément à
l’ISO 10110-5. Si des tolérances sont indiquées à la fois pour la déformation de surface et pour la déformation
du front d'onde, elles doivent toutes les deux être respectées.
NOTE Dans la présente partie de l’ISO 10110, le terme «front d’onde» sans qualificatif signifie soit «front d’onde
transmis», soit «front d’onde réfléchi», selon le type de système spécifié.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l'application du présent document. Pour les
références datées, seule l'édition citée s'applique. Pour les références non datées, la dernière édition du
document de référence s'applique (y compris les éventuels amendements).
ISO 7944:1998, Optique et instruments d'optique — Longueurs d'onde de référence
ISO 10110-1:1996, Optique et instruments d'optique — Indications sur les dessins pour éléments et systèmes
optiques — Partie 1: Généralités
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s'appliquent.
3.1
déformation du front d'onde
distance entre un front d'onde transmis et/ou réfléchi une fois à travers ou, dans le cas des systèmes optiques
réfléchissants, réfléchi une fois sur, l'élément optique ou l’ensemble soumis à l’essai et le front d'onde
théorique nominal, mesurée orthogonalement au front d’onde théorique nominal
NOTE 1 Voir également 3.13.
NOTE 2 Il est utile d’indiquer si le front d’onde éclairant est plan, convergent ou divergent. Voir 7.5 et 7.6.
3.2
différence des maximums et minimums entre deux fronts d'onde
différence PV entre deux fronts d'onde
distance maximale moins distance minimale entre les fronts d'onde
NOTE Il est possible que les fronts d'onde se croisent, auquel cas la distance minimale entre les fronts d'onde est un
nombre négatif dont il faut tenir compte du signe dans le calcul de la différence PV.
3.3
fonction de déformation totale du front d'onde
surface théorique définie par la différence entre le front d'onde transmis et/ou réfléchi une fois à travers le
système optique soumis à l’essai et le front d'onde théorique nominal, mesurée orthogonalement au front
d’onde théorique nominal
Voir la Figure 1a).
3.4
front d'onde sphérique approchant
front d'onde sphérique théorique tangent à la pupille de sortie du système soumis à l’essai, pour lequel la
différence moyenne quadratique par rapport au front d'onde transmis et/ou réfléchi une fois à travers le
système optique soumis à l’essai est au minimum
Voir la Figure 1b).
NOTE 1 Pour les besoins de la présente définition, la classe des «fronts d’onde sphériques» comprend le «front
d’onde plan». (Le plan est traité dans cette définition comme un simple cas particulier de la sphère.)
NOTE 2 Voir l'Article 5 à propos des zones d'essai non circulaires.
3.5
erreur sagittale du front d'onde
différence des maximums et minimums entre le front d'onde sphérique approchant et la sphère de référence
NOTE 1 L'erreur sagittale du front d'onde représente la mesure dans laquelle le rayon de courbure du front d’onde
approchant s’écarte de celui du front d’onde théorique nominal.
NOTE 2 Si aucune restriction n’est spécifiée quant à l’emplacement de l’image du système optique soumis à l’essai, la
sphère de référence est identique au front d’onde sphérique approchant, et l’erreur sagittale du front d’onde est égale à
zéro par définition.
3.6
fonction d'irrégularité du front d'onde
surface théorique définie par la différence entre la fonction de déformation totale du front d'onde et le front
d'onde sphérique approchant
Voir la Figure 1c).
2 © ISO 2003 — Tous droits réservés

3.7
irrégularité du front d'onde
différence des maximums et minimums entre la fonction d'irrégularité du front d'onde et le plan qui s'en
approche le plus
NOTE L'irrégularité du front d'onde représente l'écart du front d'onde expérimental par rapport à la sphéricité.
3.8
front d'onde asphérique approchant
front d'onde asphérique à symétrie de révolution pour lequel la différence moyenne quadratique par rapport à
la fonction d'irrégularité du front d'onde est au minimum
Voir la Figure 1d).
NOTE Voir l'Article 5 à propos des zones d'essai non circulaires.

Figure 1 — Exemple de mesure d’un front d’onde
et de sa décomposition en types de déformation du front d’onde
3.9
irrégularité à symétrie de révolution du front d'onde
différence des maximums et minimums entre le front d'onde asphérique approchant et le plan qui s'en
approche le plus
NOTE L'irrégularité à symétrie de révolution du front d'onde est la partie à symétrie de révolution de la fonction
d'irrégularité du front d'onde. Sa valeur ne peut pas dépasser celle de la fonction d'irrégularité du front d'onde.
3.10
déformation moyenne quadratique totale du front d'onde
RMSt
différence moyenne quadratique entre le front d'onde transmis une fois à travers, et/ou réfléchi une fois sur, le
système optique soumis à l’essai et le front d'onde théorique nominal, incluant toute aberration cible spécifiée
3.11
irrégularité moyenne quadratique du front d'onde
RMSi
valeur moyenne quadratique de la fonction d'irrégularité du front d'onde telle que définie en 3.6
3.12
asymétrie moyenne quadratique du front d'onde
RMSa
valeur moyenne quadratique de la différence entre la fonction d'irrégularité du front d'onde et le front d'onde
asphérique approchant
Voir la Figure 1e).
3.13
simple passe
configuration de l'essai telle que le faisceau de lumière passe une fois à travers ou, dans le cas des systèmes
optiques réfléchissants, est réfléchi une fois par, l'élément soumis à l’essai
NOTE 1 Pour les «coins de cubes», prismes en toit, systèmes «œil-de-chat» et autres types de rétroréflecteurs, une
rétroréflexion unique issue de l'élément constitue une configuration en «simple passe», même si la lumière passe en fait
deux fois à travers la plus grande partie de l'élément.
NOTE 2 Bien que la déformation du front d'onde, telle que définie en 3.1, se réfère à un mesurage en «simple passe»,
de nombreux types de systèmes optiques sont couramment soumis à l’essai dans une configuration en «double passe»,
dans laquelle la lumière passe à travers l'élément, ou s'y réfléchit, deux fois. Dans de nombreux cas, lorsqu'un élément
est soumis à l’essai dans une configuration en double passe, la déformation observée du front d'onde est environ le
double de la déformation du front d'onde telle que définie en 3.1. Quelle que soit la façon dont le système est soumis à
l’essai ou utilisé dans la réalité, la tolérance de déformation du front d'onde se réfère toujours à la définition de 3.1;
c'est-à-dire comme s'il était utilisé dans une configuration en simple passe.
NOTE 3 Lorsqu’un élément de qualité optique médiocre est soumis à l’essai dans une configuration en double passe, il
est possible que les rayons constituant le faisceau optique d'essai soient suffisamment perturbés (par exemple rendus
divergents ou convergents) pour qu'ils ne passent pas à travers les mêmes positions de l'élément d'essai lors du second
passage. Dans ce cas, la déformation du front d'onde n'est pas égale à la moitié de la déformation observée et une
détermination précise de la déformation du front d’onde (en simple passe) est difficile.
NOTE 4 Parfois, la déformation du front d’onde en double passe n’est même pas approximativement égale au double
de la déformation du front d’onde en simple passe. Par exemple, un système optique contenant un prisme transformera le
faisceau d’essai d’une coupe transversale circulaire en un faisceau présentant une coupe transversale elliptique. Lors de
la conversion des résultats entre simple passe et double passe, il est nécessaire de tenir compte de tels effets.
3.14
aberrations cibles
déformations asphériques du front d’onde ajoutées, suivant spécifications, au front d’onde théorique nominal
3.15
front d’onde théorique nominal
front d’onde théorique égal à la sphère de référence, plus toute aberration cible éventuellement spécifiée
NOTE Ceci est la «forme souhaitée» pour le front d’onde mentionnée dans l'Article 1.
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3.16
sphère de référence
front d’onde sphérique théorique tangent à la pupille de sortie du système soumis à l’essai, pour lequel la
différence moyenne quadratique par rapport au front d’onde transmis une fois à travers et/ou réfléchi sur le
système optique soumis à l’essai est, au minimum en accord avec toute restriction susceptible d’être indiquée
pour l’emplacement de l’image du système
NOTE 1 Voir l’Article 5 à propos des zones d’essai non circulaires.
NOTE 2 Si aucune restriction n’est spécifiée quant à la position de l’image, la sphère de référence est identique à la
surface sphérique approchante.
4 Tolérances de déformation du front d'onde
Les tolérances de déformation du front d'onde s'indiquent en spécifiant les valeurs maximales admises de
l'erreur sagittale du front d'onde (3.5), l'irrégularité du front d'onde (3.7) et/ou l'irrégularité à symétrie de
révolution du front d'onde (3.9). De plus, il est possible de spécifier les tolérances pour les trois mesures des
moyennes quadratiques de la déformation du front d'onde (voir 3.10, 3.11 et 3.12). Ces mesures des
moyennes quadratiques de la déformation du front d'onde représentent la valeur moyenne quadratique de la
fonction restant après soustraction des différents types de déformation du front d'onde.
L’erreur sagittale du front d’onde n’a de sens que lorsque l’emplacement de l’image est spécifié. Si
l’emplacement n’est pas spécifié, l’erreur sagittale du front d’onde, telle que définie en 3.5, est égale à zéro
par définition, et ne doit pas être spécifiée.
NOTE 1 Une méthode de calcul de l’importance de l’erreur sagittale du front d’onde, de l’irrégularité du front d’onde et
de l’irrégularité à symétrie de révolution du front d’onde pour un front d’onde donné, en utilisant une analyse numérique
d’interférogramme, est décrite à l’Annexe A. Les méthodes grâce auxquelles cette importance peut être estimée, en
utilisant une interprétation visuelle des interférogrammes, sont décrites à l’Annexe B.
NOTE 2 Une méthode de calcul de la déformation moyenne quadratique totale du front d'onde, de l'irrégularité
moyenne quadratique du front d'onde et de l’asymétrie moyenne quadratique du front d’onde est décrite à l’Annexe A. Ces
mesures de moyennes quadratiques de déformation du front d’onde ne peuvent pas être estimées visuellement.
5 Zones d'essai non circulaires
Les valeurs des maximums et minimums (PV) et les valeurs des moyennes quadratiques (RMS) des types de
déformation du front d’onde cités à l'Article 3 sont calculées dans la zone d'essai utile. Dans le cas de zones
d’essai non circulaires, ces types d’erreurs doivent être calculés uniquement sur une zone d’essai utile.
Le front d’onde sphérique approchant (3.4) est le front d’onde sphérique qui se rapproche le plus du front
d’onde. Si la zone d’essai n’est pas circulaire, il est important que cette approximation soit effectuée par un
front d’onde sphérique. En particulier, la partie sphérique d’une fonction approchante asphérique ne doit pas
remplacer le front d’onde sphérique approchant.
Le front d’onde asphérique approchant (voir 3.8) est le front d’onde à symétrie de révolution qui se rapproche
le plus de la fonction d’irrégularité du front d’onde. Si la zone d’essai est non circulaire, il est important que
cette approximation soit faite par un front d’onde à symétrie de révolution. En particulier, la partie à symétrie
de révolution d’un front d’onde approchant non symétrique ne doit pas remplacer le front d’onde asphérique
approchant (voir 3.8).
NOTE 1 Si la zone d’essai est non circulaire, les différents types de déformation du front d’onde définis dans l’Article 3
ne sont pas mathématiquement orthogonaux. Néanmoins, ces types de déformation du front d’onde sont bien définis (non
ambigus) à condition que les restrictions ci-dessus soient respectées.
NOTE 2 L'Annexe A décrit une méthode de calcul de l'importance des différents types de déformation du front d'onde,
que la zone d'essai soit circulaire ou non.
6 Spécification des tolérances de déformation du front d'onde
6.1 Généralités
Pour la spécification des tolérances de déformation du front d'onde, les prescriptions données de 6.2 à 6.5
s'appliquent.
NOTE Il n'est pas nécessaire de spécifier les tolérances pour tous les types de déformation du front d'onde.
6.2 Unités
Les valeurs maximales admises pour l'erreur sagittale du front d'onde, l'irrégularité du front d'onde et
l'irrégularité à symétrie de révolution du front d'onde et, le cas échéant, pour les aberrations cibles (3.14)
doivent être spécifiées en unités de longueurs d'onde.
Ces quantités sont définies par référence à un front d'onde passant une fois à travers l'élément soumis à
l’essai (simple passe). Voir les définitions appropriées de l’Article 3.
Si une spécification doit être fournie pour un ou plusieurs type(s) de déformation moyenne quadratique du
front d'onde, la spécification doit également être donnée en unités de longueurs d'onde (simple passe).
6.3 Longueurs d’onde
Sauf indication contraire, la longueur d'onde est celle de la raie spectrale verte du mercure (raie e),
λ = 546,07 nm, selon l'ISO 7944.
Si une autre longueur d’onde que λ = 546,07 nm est utilisée, la longueur d’onde dans laquelle la déformation
du front d’onde est spécifiée doit être indiquée sur le dessin. Voir l'Exemple 2 de la Figure 2. Voir l’Article 7.
6.4 Aberrations cibles
Fréquemment, le front d’onde théorique nominal est sphérique ou plan. Dans certains cas, pour permettre la
présence de petites quantités d’aberration résiduelle dans la conception d’un système optique, des valeurs
cibles non nulles peuvent être spécifiées pour les types d’aberration polynomiale définis à l’Annexe A.
6.5 Éléments collés (ou en contact optique)
Si deux ou plusieurs éléments doivent être collés (ou être en contact optique), les tolérances de déformation
du front d'onde données pour chaque élément s'appliquent également aux éléments après assemblage, c’est-
à-dire après collage (ou contact optique), sauf indication contraire. Voir l'ISO 10110-1:1996, 4.8.3.
7 Indication sur les dessins
7.1 Généralités
Dans tous les cas où il est nécessaire d’indiquer une tolérance de déformation du front d'onde, l'axe optique
de l'élément doit être indiqué sur le dessin conformément à l'ISO 10110-1:1996, 4.2.
La position de la surface du diaphragme ou de la pupille doit être indiquée conformément à
l’ISO 10110-1:1996, 5.3. Voir la Figure 2.
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a) Exemple 1
b) Exemple 2
Figure 2 — Exemples d'une indication de la tolérance de
déformation du front d'onde, avec un éclairage plan
La tolérance de déformation du front d'onde doit être indiquée par un numéro de code (voir 7.2) et par les
indications de tolérance de l'erreur sagittale du front d'onde, de l'irrégularité du front d'onde, de l'irrégularité à
symétrie de révolution du front d'onde et les types de déformations moyennes quadratiques, selon le cas (voir
7.3).
Quel que soit le type de déformation du front d’onde indiquée sur le dessin, la longueur d’onde spécifiée doit
être indiquée conformément à 6.3.
Aucune prescription n'est définie pour la spécification de la tolérance des maximums et minimums de la
déformation totale du front d'onde (c'est-à-dire incluant à la fois l'erreur sagittale du front d'onde et l'irrégularité
du front d'onde). Si ce type de spécification est nécessaire, cette information doit être indiquée dans une note
sur le dessin, par exemple: «Déformation totale du front d'onde obligatoirement inférieure à 0,25 longueur
d'onde».
Voir l’Article 8 pour des exemples d’indications de tolérances.
7.2 Numéro de code
Le numéro de code de la déformation du front d’onde est 13/.
7.3 Forme de l’indication
L'indication doit avoir l'une des trois formes suivantes:
13/A(B/C); λ = E
ou
13/A(B/C) RMSx < D; λ = E (où x est une des lettres t, i ou a)
ou
13/— RMSx < D; λ = E (où x est une des lettres t, i ou a).
L’indication «; λ = E» (l’élément dernier des trois formes de l’indication spécifiées ci-dessus) n’est pas
nécessaire si la longueur d’onde spécifiée est λ = 546,07 nm (voir 7.1).
NOTE Plusieurs valeurs RMSx peuvent être spécifiées.
La quantité A est
 soit l'erreur sagittale maximale admise du front d'onde (simple passe), telle que définie en 3.5, exprimée
en longueurs d'onde,
 soit un tiret (—) indiquant qu'aucune tolérance explicite d'erreur sagittale du front d'onde n'est donnée.
La quantité B est
 soit la valeur des maximums et minimums admise de l'irrégularité du front d'onde (simple passe), telle
que définie en 3.7, exprimée en longueurs d'onde,
 soit un tiret (—) indiquant qu'aucune tolérance explicite de l'irrégularité du front d'onde n'est donnée.
La quantité C est la valeur admise de l'irrégularité à symétrie de révolution du front d'onde (simple passe),
telle que définie en 3.9, exprimée en longueurs d'onde. Si aucune tolérance n'est indiquée, la barre oblique (/)
est remplacée par la parenthèse finale, c’est-à-dire 13/A(B).
Si aucune tolérance n'est indiquée pour les trois types de déformation, alors A, B, C, la barre oblique (/) et la
parenthèse sont remplacées par un simple tiret (—), c’est-à-dire 13/—.
La quantité D est la valeur maximale admise pour la quantité moyenne quadratique du type spécifié par x, où
x est une des lettres t, i ou a. Ces quantités sont définies de 3.10 à 3.12. Il est possible de spécifier plusieurs
types de déviations moyennes quadratiques. Ces spécifications doivent être séparées par des points-virgules,
comme indiqué dans l'Article 8, Exemple 7.
La quantité E est la longueur d’onde, en nanomètres, dans laquelle la déformation du front d’onde est
spécifiée.
La tolérance de déformation du front d'onde indiquée s'applique à la zone optique utile, sauf quand l'indication
doit s'appliquer à un champ d'essai plus petit pour toutes les positions possibles situées à l'intérieur de la
zone optique utile. Dans ce cas, le diamètre du champ d'essai doit être ajouté à l'indication de la tolérance de
la façon suivante:
13/A(B/C) RMSx < D (tout ∅.); λ = E
Voir l'Article 8, Exemples 4a et 4b.
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7.4 Position de l'indication
L'indication doit être inscrite près de l'élément optique auquel elle se réfère. Si nécessaire, l'indication peut
être reliée à l'axe optique par une ligne de repère, comme illustré à la Figure 2.
Dans les cas où l'axe optique n'est pas normal aux surfaces de l'élément, il peut être nécessaire d'indiquer la
zone d'essai de la déformation du front d'onde dans une coupe transversale perpendiculaire à l'axe optique.
Dans ce cas, l'indication de la déformation du front d'onde doit être associée à la zone d'essai (voir la
Figure 3).
Pour les éléments nécessitant des indications de la déformation du front d'onde le long de plusieurs
trajectoires d'essai, les différentes trajectoires d’essai doivent être indiquées par des lettres de référence,
comme illustré à la Figure 4. Les indications des déformations du front d'onde doivent être associées aux
lettres correspondant aux trajectoires d'essai d'entrée et de sortie, comme illustré à la Figure 4.

a) Exemple 1
b) Exemple 2
Figure 3 — Exemples d’indication de la spécification de la qualité du front d'onde
se rapportant à une zone d'essai déterminée

CE: 13/3(1) (∞)
CF: 13/1(0,2) (∞)
DE: 13/3(1) (∞)
DF: 13/1(0,2) (∞)
Figure 4 — Indication de la spécification de la qualité du front d'onde
pour un élément à trajectoires d'essai multiples

7.5 Indication du type d'éclairage
Pour l’éclairage de collimateur (front d'onde plan), le symbole infini (∞) doit être ajouté entre parenthèses à
l’indication de la déformation du front d’onde, comme illustré à la Figure 2. Pour un éclairage divergent ou
convergent, la position du point objet (ob) doit être indiquée sur le dessin. Voir la Figure 5.

Figure 5 — Exemple d'indication du point objet (ob) sur le dessin

7.6 Spécification de la position du point image
La position du point image peut éventuellement être donnée avec une tolérance dimensionnelle. Si la position
de l’image est donnée, elle doit être distinguée de la position de l’objet par les lettres «im» associées à la
position indiquée. Voir la Figure 6.
NOTE L’erreur sagittale du front d’onde, qui est une mesure de l’étendue selon laquelle cette tolérance est
maintenue, n’a de sens que lorsque les positions des points objet et image sont indiquées. Voir 3.5.
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Figure 6 — Exemple d'indication des positions des points objet et image
7.7 Indication des aberrations cibles
Les valeurs cibles de l’une ou plusieurs des aberrations polynomiales définies à l’Annexe A peuvent être
spécifiées après le mot «Cible». La forme de l’indication d’une aberration cible est la suivante:
C = x
i

i est l’indice d’identification du terme polynomial requis;
x est la valeur numérique de la cible.
Voir l'Article 8, Exemple 8.
8 Exemples d'indications de tolérances
Les exemples suivants sont destinés à illustrer les indications de tolérances sur des dessins selon la présente
partie de l’ISO 10110.
EXEMPLE 1 13/—(1); λ = 632,8
L’irrégularité du front d’onde ne doit pas dépasser 1 longueur d’onde (à λ = 632,8 nm) de déformation du front d’onde en
simple passe. Il n’y a aucune indication de tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde.
EXEMPLE 2 13/5(—) RMSi < 0,05 ; λ = 632,8
La tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde (en plus de la quantité correspondant à la tolérance dimensionnelle
donnée dans l’indication de la position de l’image) est de 5 longueurs d’onde de déformation du front d’onde en simple
passe. Il n’y a aucune indication de tolérance pour l’irrégularité du front d’onde ni pour l’irrégularité à symétrie de
révolution du front d’onde, mais la valeur de la moyenne quadratique de l’irrégularité du front d’onde doit être inférieure à
0,05 longueur d’onde de déformation du front d’onde en simple passe. La longueur d’onde pour toutes les spécifications
de déformation du front d’onde est λ = 632,8 nm.
EXEMPLE 3 13/3(1/0,5)
La tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde est de 3 longueurs d’onde de déformation du front d’onde en simple
passe. L’irrégularité totale du front d’onde ne doit pas dépasser 1 longueur d’onde de déformation du front d’onde en
simple passe. L’irrégularité à symétrie de révolution du front d’onde doit être inférieure à 0,5 longueur d’onde de
déformation du front d’onde en simple passe. La longueur d’onde pour toutes les spécifications de déformation du front
d’onde est λ = 546,07 nm.
EXEMPLE 4a 13/3(1/0,5); (Tout ∅ 30)
Les tolérances de déformation du front d’onde s’appliquent à toutes les positions possibles d’une zone d’essai de 30 mm
de diamètre située dans la zone d’essai optique utile. La tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde est de
3 longueurs d’onde de déformation du front d’onde en simple passe. L’irrégularité totale du front d’onde ne doit pas
dépasser 1 longueur d’onde de déformation du front d’onde en simple passe. L’irrégularité à symétrie de révolution du
front d’onde doit être inférieur à 0,5 longueur d’onde de déformation du front d’onde en simple passe. La longueur d’onde
pour toutes les spécifications de déformation du front d’onde est λ = 546,07 nm.
EXEMPLE 4b 13/0,5 — RMSi < 0,05 (tout ∅ 12)
Pour toutes les positions possibles d'une zone d'essai de 12 mm de diamètre située dans la zone d'essai optique utile de
l'élément, l'erreur sagittale du front d'onde (en simple passe) doit être inférieure à 0,5 longueur d'onde et l'irrégularité
moyenne quadratique du front d'onde ne doit pas dépasser 0,05 longueur d'onde de déformation du front d’onde en
simple passe. La longueur d’onde pour toutes les spécifications de déformation du front d’onde est λ = 546,07 nm.
EXEMPLE 5 13/3(1); λ = 632,8
La tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde est de 3 longueurs d’onde en simple passe; l’irrégularité totale du front
d’onde ne doit pas dépasser 1 longueur d’onde de déformation du front d’onde en simple passe. La longueur d’onde pour
toutes les spécifications de déformation du front d’onde est λ = 632,8 nm.
EXEMPLE 6 13/— RMSt < 0,07; λ = 632,8
Il n’y a aucune indication de tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde, l’irrégularité du front d’onde ou l’irrégularité à
symétrie de révolution du front d’onde; toutefois, la différence totale des moyennes quadratiques entre le front d’onde
expérimental et le front d’onde théorique doit être inférieure à 0,07 longueur d’onde de déformation du front d’onde en
simple passe. La longueur d’onde pour toutes les spécifications de déformation du front d’onde est λ = 632,8 nm.
EXEMPLE 7a 13/— RMSi < 0,07; RMSa < 0,03; λ = 632,8
Il n’y a aucune indication de tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde, l’irrégularité du front d’onde ou l’irrégularité à
symétrie de révolution du front d’onde; toutefois, l’irrégularité moyenne quadratique du front d'onde doit être inférieure à
0,07 longueur d’onde de déformation du front d’onde en simple passe, et l’asymétrie moyenne quadratique du front d'onde
doit être inférieure à 0,03 longueur d’onde de déformation du front d’onde en simple passe. La longueur d’onde pour
toutes les spécifications de déformation du front d’onde est λ = 632,8 nm.
EXEMPLE 7b 13/— RMSt < 0,07; RMSi < 0,04
Il n'y a aucune indication de tolérance pour l'erreur sagittale du front d'onde, l'irrégularité du front d'onde ou l'irrégularité à
symétrie de révolution du front d'onde; toutefois, la déformation moyenne quadratique du front d'onde doit être inférieure à
0,07 longueur d'onde de déformation du front d’onde en simple passe et l’irrégularité moyenne quadratique du front
d'onde doit être inférieure à 0,04 longueur d'onde de déformation du front d'onde en simple passe. La longueur d’onde
pour toutes les spécifications de déformation du front d’onde est λ = 546,07 nm.
EXEMPLE 8 13/—(0,1); λ = 632,8
Cible:
C = 1,24
C = − 0,44
Il n’y a aucune indication de tolérance pour l’erreur sagittale du front d’onde ou pour l’irrégularité à symétrie de révolution
du front d’onde. Le front d’onde théorique nominal se compose de la sphère de référence et du polynôme suivant:
polynôme = 1,24 Z − 0,44 Z
8 15
La tolérance pour l’irrégularité du front d’onde (comparée à ce front d’onde asphérique) est de 0,1 longueur d’onde de
déformation du front d’onde en simple passe. La longueur d’onde pour toutes les spécifications de déformation (y compris
les aberrations cibles) du front d’onde est λ = 632,8 nm.
EXEMPLE 9 CE: 13/3(1)
CF: 13/1(0,2)
DE: 13/3(1)
DF: 13/1(0,2)
La tolérance pour des trajectoires d'essai en simple passe allant de C à E et de D à E est de 3 longueurs d'onde pour
l'erreur sagittale du front d'onde et de 1 longueur d'onde pour l'irrégularité du front d'onde. La tolérance pour les
trajectoires d'essai en simple passe allant de C à F et de D à F est de 1 longueur d'onde pour l'erreur sagittale du front
d'onde et de 0,2 longueur d'onde pour l'irrégularité du front d'onde. La longueur d’onde pour toutes les spécifications de
déformation du front d’onde est λ = 546,07 nm.

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Annexe A
(informative)
Méthode d’analyse des fronts d’onde par analyse numérique
des interférogrammes
A.1 Généralités
A.1.1 Introduction
Le contenu de la présente annexe est important pour les utilisateurs d'interféromètres numériques, ainsi que
pour les développeurs de logiciels destinés à l'interférométrie.
La méthode décrite dans la présente annexe pour l'analyse des fronts d'onde se limite aux fronts d’onde qui
peuvent être représentés par des polynômes.
Des exemples de fronts d'onde pour lesquels la présente méthode ne s'applique pas sont ceux de forme
conique et ceux présentant des déformations localisées dans l’espace.
Les valeurs des différents types de déformation du front d'onde sont déterminées au moyen d'un processus
d'établissements et de retraits successifs de types de déformation du front d'onde. À chaque étape, le retrait
d'un type de déformation de front d'onde expose le type de déformation suivant.
Le procédé par lequel est déterminée une fonction d'un certain type qui «correspond le mieux» à une fonction
originale donnée est la méthode bien connue des moindres carrés qui minimise la différence moyenne
quadratique entre la fonction originale et son approximation. La valeur moyenne quadratique d'une fonction
est définie en A.4.
Différentes approximations du front d’onde sont représentées par des combinaisons linéaires des polynômes
de Zernike définis en A.3. Ces combinaisons sont données par des coefficients correspondants. Les
coordonnées r et θ sont définies en A.1.3.
A.1.2 Front d'onde interférométrique de référence
Le front d’onde interférométrique de référence est un front d’onde existant physiquement, généré par
l’interféromètre, pour représenter le front d’onde théorique nominal. Typiquement, le front d’onde
interférométrique de référence se compose d’un front d’onde plan ou sphérique correspondant à la sphère de
référence définie en 3.16. Si le front d’onde théorique nominal est faiblement asphérique, il est possible
d’utiliser un front d’onde plan ou sphérique de référence et de représenter l’asphéricité par le biais du logiciel.
Si le front d’onde théorique nominal est fortement asphérique, l’interféromètre doit avoir un dispositif physique,
tel qu’une «lentille nulle» ou un hologramme généré par ordinateur, permettant la modification de l’asphéricité
du front d’onde. En principe, il est possible de créer un front d’onde interférométrique asphérique de référence
pour obtenir une concordance avec l’asphéricité désirée du front d’onde d’essai. Toutefois, il est plus courant
d’utiliser une lentille nulle ou un hologramme généré par ordinateur pour éliminer la valeur désirée
d’asphéricité du faisceau d’essai; ainsi, il peut être comparé à un faisceau sphérique de référence.
A.1.3 Système de coordonnées
Le front d'onde soumis à l’essai est décrit en coordonnées polaires par les variables r et θ; l'origine du
système de coordonnées est le centre de la zone d'essai, et r est normalisé à 1 au niveau du bord de la zone
d'essai. Pour les zones d'essai non circulaires, le «centre» de la zone d'essai se réfère à son centre de
gravité, et le rayon de la zone d'essai se réfère à la distance entre le centre et le point le plus éloigné. Le
paramètre r varie entre zéro et 1.
Différentes approximations du front d'onde sont représentées par des combinaisons linéaires de polynômes
(couramment appelés polynômes de Zernike), Z (r,θ), Z (r,θ), . énumérés en A.3.2. Ces combinaisons
0 1
linéaires sont déterminées par les coefficients correspondants C , C , .
0 1
A.1.4 Mesurages en simple passe et en double p
...

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