ISO 20146:2019
(Main)Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges. This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when calibrating CDGs and using them as reference standards.
Technique du vide — Manomètres à vide — Spécifications, étalonnage et incertitudes de mesure des manomètres capacitifs à membrane
Le présent document définit les termes relatifs aux manomètres capacitifs à membrane (CDG), il spécifie quels paramètres sont à fournir pour les manomètres capacitifs à membrane, il détaille leur procédure d'étalonnage et décrit quelles incertitudes de mesure sont à prendre en compte lors de l'utilisation de ces manomètres. Le présent document complète l'ISO 3567 et l'ISO 27893 pour l'étalonnage des manomètres capacitifs à membrane et leur utilisation comme étalons de référence.
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INTERNATIONAL ISO
STANDARD 20146
First edition
2019-01
Vacuum technology — Vacuum
gauges — Specifications, calibration
and measurement uncertainties for
capacitance diaphragm gauges
Technique du vide — Manomètres à vide — Spécifications, étalonnage
et incertitudes de mesure des manomètres capacitifs à membrane
Reference number
ISO 20146:2019(E)
©
ISO 2019
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ISO 20146:2019(E)
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below or ISO’s member body in the country of the requester.
ISO copyright office
CP 401 • Ch. de Blandonnet 8
CH-1214 Vernier, Geneva
Phone: +41 22 749 01 11
Fax: +41 22 749 09 47
Email: copyright@iso.org
Website: www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2019 – All rights reserved
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 20146:2019(E)
Contents Page
Foreword .v
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 Components . 1
3.2 Physical parameters . 2
3.3 Other parameters. 4
4 Symbols and abbreviated terms . 6
5 Capacitance diaphragm gauge . 6
5.1 Principle . 6
6 Specifications for capacitance diaphragm gauge . 7
6.1 Type of capacitance diaphragm gauge . 7
6.2 Temperature control of gauge head . 7
6.3 Display and measurement signal output unit . 7
6.4 Measurement range of capacitance diaphragm gauge . 7
6.5 Expected measurement uncertainty . 7
6.6 Temperature coefficients of zero readings and span . 7
6.7 Resolution . 7
6.8 Response time of the gauge head .
...
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 20146
First edition
2019-01
Vacuum technology — Vacuum
gauges — Specifications, calibration
and measurement uncertainties for
capacitance diaphragm gauges
Technique du vide — Manomètres à vide — Spécifications, étalonnage
et incertitudes de mesure des manomètres capacitifs à membrane
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Foreword .v
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 Components . 1
3.2 Physical parameters . 2
3.3 Other parameters. 4
4 Symbols and abbreviated terms . 6
5 Capacitance diaphragm gauge . 6
5.1 Principle . 6
6 Specifications for capacitance diaphragm gauge . 7
6.1 Type of capacitance diaphragm gauge . 7
6.2 Temperature control of gauge head . 7
6.3 Display and measurement signal output unit . 7
6.4 Measurement range of capacitance diaphragm gauge . 7
6.5 Expected measurement uncertainty . 7
6.6 Temperature coefficients of zero readings and span . 7
6.7 Resolution . 7
6.8 Response time of the gauge head .
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 20146
Première édition
2019-01
Technique du vide — Manomètres
à vide — Spécifications, étalonnage
et incertitudes de mesure des
manomètres capacitifs à membrane
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration
and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
Numéro de référence
ISO 20146:2019(F)
©
ISO 2019
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CH-1214 Vernier, Genève
Tél.: +41 22 749 01 11
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Web: www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2019 – Tous droits réservés
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ISO 20146:2019(F)
Sommaire Page
Avant-propos .v
Introduction .vi
1 Domaine d'application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Composants . 2
3.2 Paramètres physiques. 2
3.3 Autres paramètres . 4
4 Symboles et abréviations . 6
5 Manomètre capacitif à membrane . 6
5.1 Principe . 6
6 Spécifications du manomètre capacitif à membrane . 7
6.1 Type de manomètre capacitif à membrane . 7
6.2 Contrôle de la température du capteur . 7
6.3 Unité d'affichage et sortie du signal de mesure . 7
6.4 Étendue de mesure du CDG . 8
6.5 Incertitude de mesure prévue . 8
6.6 Coefficients de température des relevés à zéro et étendue . 8
6.7 Résolution . 8
6.8 Temps de réponse
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 20146
Première édition
2019-01
Technique du vide — Manomètres
à vide — Spécifications, étalonnage
et incertitudes de mesure des
manomètres capacitifs à membrane
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration
and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
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Avant-propos .v
Introduction .vi
1 Domaine d'application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Composants . 2
3.2 Paramètres physiques. 2
3.3 Autres paramètres . 4
4 Symboles et abréviations . 6
5 Manomètre capacitif à membrane . 6
5.1 Principe . 6
6 Spécifications du manomètre capacitif à membrane . 7
6.1 Type de manomètre capacitif à membrane . 7
6.2 Contrôle de la température du capteur . 7
6.3 Unité d'affichage et sortie du signal de mesure . 7
6.4 Étendue de mesure du CDG . 8
6.5 Incertitude de mesure prévue . 8
6.6 Coefficients de température des relevés à zéro et étendue . 8
6.7 Résolution . 8
6.8 Temps de réponse
...
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