Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments

ISO 25178-605:2014 describes the metrological characteristics of a non-contact instrument for measuring surface texture using point autofocus probing.

Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (capteur autofocus à point)

l'ISO 25178-605:2014 décrit les caractéristiques métrologiques d'un instrument sans contact pour le mesurage de l'état de surface à l'aide d'un capteur autofocus à point.

General Information

Status
Published
Publication Date
21-Jan-2014
Current Stage
9599 - Withdrawal of International Standard
Start Date
14-Feb-2025
Completion Date
14-Feb-2026

Relations

Effective Date
09-Feb-2026
Effective Date
12-Feb-2026
Effective Date
23-Apr-2020

Overview

ISO 25178-605:2014 - Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 605 - specifies the metrological characteristics of non-contact areal surface texture instruments that use a point autofocus probe (point autofocus optical profilers). This part of the ISO 25178 family defines terms, measurement concepts and influence quantities needed to describe instrument behaviour, performance limits and interpretation of areal surface texture data from point autofocus systems.

Key Topics and Requirements

  • Scope and purpose: Describes nominal characteristics for non-contact (point autofocus probe) instruments used for areal and profile surface texture measurement.
  • Instrument configuration: Defines the three basic elements - autofocus optical system, autofocus mechanism, and electronic controller - and provides classification of possible set-ups (see Annex A).
  • Measurement coordinate system and measurement loop: Standardizes the X, Y, Z axes, the measuring volume and the closed measurement loop concept to support consistent metrology.
  • Metrological quantities and response:
    • Response curve and amplification coefficients for linearity and correction of measured vs actual quantities.
    • Definitions of instrument noise and measurement noise, and guidance on their impact on areal data quality.
    • Sampling intervals (Dx, Dy) and digitisation step (Dz) definitions relevant to data resolution.
    • Spatial height resolution, lateral resolution, and width limit for full height transmission as measures of an instrument’s ability to resolve surface features.
  • Influence quantities: Identification and description of environmental, optical and mechanical factors that affect measurement uncertainty.
  • Informative annexes: Practical guidance on spot size and focal shift, beam offset and slope limits, instrument features, and relation to the GPS matrix.

Practical Applications and Who Uses This Standard

ISO 25178-605 is used by:

  • Metrology laboratories and calibration houses to assess and report profiler performance.
  • Instrument manufacturers to specify, design and validate point autofocus optical profilers.
  • Quality engineers and inspection teams in automotive, aerospace, medical device and precision manufacturing for selecting instruments and defining measurement capability.
  • R&D teams and surface metrology specialists for method selection, uncertainty analysis and comparing areal surface texture data across instruments.

Practical uses include instrument acceptance testing, defining measurement uncertainty contributors, optimizing sampling and resolution for specific surface textures, and ensuring consistent areal surface texture specifications.

Related Standards

  • ISO 25178 series (Parts 1–7, 70–71) - areal surface texture framework
  • ISO 25178-601 / -602 / -603 / -604 / -606 - nominal characteristics for other instrument types (stylus, confocal, interferometric, focus variation)
  • ISO 25178-701 / -702 / -703 - calibration and measurement standards

Keywords: ISO 25178-605, surface texture, areal, non-contact, point autofocus probe, optical profiler, metrological characteristics, surface metrology, measurement uncertainty, spatial resolution.

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ISO 25178-605:2014 - Spécification géométrique des produits (GPS) -- État de surface: Surfacique

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Frequently Asked Questions

ISO 25178-605:2014 is a standard published by the International Organization for Standardization (ISO). Its full title is "Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments". This standard covers: ISO 25178-605:2014 describes the metrological characteristics of a non-contact instrument for measuring surface texture using point autofocus probing.

ISO 25178-605:2014 describes the metrological characteristics of a non-contact instrument for measuring surface texture using point autofocus probing.

ISO 25178-605:2014 is classified under the following ICS (International Classification for Standards) categories: 17.040.20 - Properties of surfaces. The ICS classification helps identify the subject area and facilitates finding related standards.

ISO 25178-605:2014 has the following relationships with other standards: It is inter standard links to EN ISO/ASTM 52945:2024, EN ISO 25178-605:2014, ISO 25178-605:2025. Understanding these relationships helps ensure you are using the most current and applicable version of the standard.

ISO 25178-605:2014 is available in PDF format for immediate download after purchase. The document can be added to your cart and obtained through the secure checkout process. Digital delivery ensures instant access to the complete standard document.

Standards Content (Sample)


INTERNATIONAL ISO
STANDARD 25178-605
First edition
2014-02-01
Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal —
Part 605:
Nominal characteristics of non-contact
(point autofocus probe) instruments
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(capteur autofocus à point)
Reference number
©
ISO 2014
© ISO 2014
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized otherwise in any form
or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting on the internet or an intranet, without prior
written permission. Permission can be requested from either ISO at the address below or ISO’s member body in the country of
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Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2014 – All rights reserved

Contents Page
Foreword .iv
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods . 2
3.2 Terms and definitions related to x- and y-scanning systems . 9
3.3 Terms and definitions related to optical systems .11
3.4 Terms and definitions related to optical properties of workpiece .12
3.5 Terms and definitions specific to point autofocus profiling .13
4 Descriptions of the influence quantities .14
4.1 General .14
4.2 Influence quantities .14
Annex A (informative) General principles .16
Annex B (informative) Spot size and focal shift.20
Annex C (informative) Beam offset direction and maximum acceptable local slope .23
Annex D (informative) Features of an areal surface texture measuring instrument .26
Annex E (informative) Others: Non-measured point (autofocus error) .28
Annex F (informative) Relation to the GPS matrix .29
Bibliography .31
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2. www.iso.org/directives
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any
patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on
the ISO list of patent declarations received. www.iso.org/patents
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation on the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity
assessment, as well as information about ISO’s adherence to the WTO principles in the Technical
Barriers to Trade (TBT) see the following URL: Foreword - Supplementary information
The committee responsible for this document is ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product
specifications and verification.
ISO 25178 consists of the following parts, under the general title Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal:
— Part 1: Indication of surface texture
— Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters
— Part 3: Specification operators
— Part 6: Classification of methods for measuring surface texture
— Part 70: Material measures
— Part 71: Software measurement standards
— Part 601: Nominal characteristics of contact (stylus) instruments
— Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
— Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)
instruments
— Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
— Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments
— Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation) instruments
— Part 701: Calibration and measurement standards for contact (stylus) instruments
The following parts are under preparation:
iv © ISO 2014 – All rights reserved

— Part 72: XML file format x3p
Calibration and measurement standards for non-contact (confocal chromatic probe) instruments and
calibration and measurement standards for non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)
instruments are to form the subject of future parts 702 and 703.
A part 600 is planned which is intended to contain provisions common with the other 600-level parts of
ISO 25178. Once it has been submitted as a Final Draft International Standard, those provisions in the
other 600-level parts that are then redundant will be removed from them.
Introduction
This part of ISO 25178 is a Geometrical Product Specification standard and is to be regarded as a General
GPS standard (see ISO/TR 14638). It influences the chain link 5 of the chains of standards on roughness
profile, waviness profile, primary profile, and areal surface texture.
For more detailed information on the relationship of this standard to the GPS matrix model, see Annex G.
The ISO/GPS Masterplan given in ISO/TR 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which
this standard is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this standard and
the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to specifications made in accordance with this
standard, unless otherwise indicated.
The point autofocus optical principle can be implemented in various set-ups. The configuration described
in this document comprises three basic elements: an autofocus optical system, an autofocus mechanism,
and an electronic controller.
This type of instrument is mainly designed for areal measurements, but it is also able to perform profile
measurements.
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of an optical profiler using a point
autofocus probe for the measurement of areal surface texture.
For more detailed information on the point autofocus method, see Annex A. Reading this annex before
the main body may lead to a better understanding of this standard.
vi © ISO 2014 – All rights reserved

INTERNATIONAL STANDARD ISO 25178-605:2014(E)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface
texture: Areal —
Part 605:
Nominal characteristics of non-contact (point autofocus
probe) instruments
1 Scope
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of a non-contact instrument for
measuring surface texture using point autofocus probing.
2 Normative references
The following documents, in whole or in part, are normatively referenced in this document and are
indispensable for its application. For dated references, only the edition cited applies. For undated
references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.
ISO 4287:1997, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Terms,
definitions and surface texture parameters
ISO 10360-1, Geometrical Product Specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate
measuring machines (CMM) — Part 1: Vocabulary
ISO 14406:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Extraction
ISO 14978:2006, Geometrical product specifications (GPS) — General concepts and requirements for GPS
measuring equipment
ISO 25178-2:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 2: Terms,
definitions and surface texture parameters
ISO 25178-3:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 3: Specification
operators
ISO 25178-6:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 6: Classification
of methods for measuring surface texture
ISO 25178-601:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 601:
Nominal characteristics of contact (stylus) instruments
ISO 25178-602:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 602:
Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 4287, ISO 10360-1, ISO 14406,
ISO 14978, ISO 25178-2, ISO 25178-3, ISO 25178-6, ISO 25178-601, ISO 25178-602 and the following
apply.
3.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods
3.1.1
areal reference
component of the instrument that generates a reference surface with respect to which the surface
topography is measured
3.1.2
coordinate system of the instrument
right hand orthonormal system of axes (x,y,z)
Note 1 to entry: In this system (x,y) is the plane established by the areal reference of the instrument (Note that
there are optical instruments that do not posses a physical areal guide).
Note 2 to entry: In this system, z-axis is mounted parallel to the optical axis and is perpendicular to the (x,y) plane
for an optical instrument. The z-axis is in the plane of the stylus trajectory and is perpendicular to the (x,y) plane
for a stylus instrument (see Figure 1)
Note 3 to entry: Normally, the x-axis is the tracing axis and the y-axis is the stepping axis. (This note is valid for
instruments that scan in the horizontal plane.)
Note 4 to entry: See also specification coordinate system and measurement coordinate system, as defined in
ISO 25178-2:2012, 3.1.2 and ISO 25178-6:2010, 3.1.1, respectively.
3.1.3
measurement loop
closed chain which comprises all components connecting the workpiece and the probe, e.g. the means of
positioning, the work holding fixture, the measuring stand, the drive unit, the probing system
Note 1 to entry: See Figure 1. The measurement loop will be subjected to external and internal disturbances that
influence the measurement uncertainty.
Z
Y
X
Key
1 coordinate system of the instrument
2 measurement loop
Figure 1 — Coordinate system and measurement loop of instrument
2 © ISO 2014 – All rights reserved

3.1.4
real surface of a workpiece
set of features which physically exist and separate the entire workpiece from the surrounding medium
[SOURCE: ISO 14660-1:1999, 2.4]
Note 1 to entry: The real surface is a mathematical representation of the surface that is independent of the
measurement process.
Note 2 to entry: See also mechanical surface, as defined in ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1 or ISO 14406:2010, 3.1.1, and
electromagnetic surface, as defined in ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2 or ISO 14406:2010, 3.1.2.
Note 3 to entry: The electromagnetic surface considered for one type of optical instrument may be different from
the electromagnetic surface for other types of optical instruments.
3.1.5
surface probe
device that converts the surface height into a signal during measurement
Note 1 to entry: In earlier standards this was termed transducer.
3.1.6
measuring volume
range of the instrument stated in terms of the limits on all three coordinates measured by the instrument
Note 1 to entry: For areal surface texture measuring instruments, the measuring volume is defined by:

—   the measuring range of the x- and y- drive units,

—   the measuring range of the z-probing system.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.1]
3.1.7
response curve
F , F , F
x y z
graphical representation of the function that describes the relation between the actual quantity and the
measured quantity
Note 1 to entry: See Figure 2.
Note 2 to entry: An actual quantity in x (respectively y or z) corresponds to a measured quantity x (respectively
M
y or z ).
M M
Note 3 to entry: The response curve can be used for adjustments and error corrections.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.2]
3.1.8
amplification coefficient
α , α , α
x y z
slope of the linear regression curve obtained from the response curve
Note 1 to entry: See Figure 3.
Note 2 to entry: There will be amplification coefficients applicable to the x, y and z quantities.
Note 3 to entry: The ideal response is a straight line with a slope equal to 1 which means that the values of the
measurand are equal to the values of the input quantities.
[1]
Note 4 to entry: See also sensitivity of a measuring system (VIM, 4.12)
[ISO 25178-601:2010, 3.4.3, modified — Note 4 has been added.]
Key
1 response curve
2 assessment of the linearity deviation by polynomial approximation
3 measured quantities
4 input quantities
Figure 2 — Example of nonlinear response curve
4 © ISO 2014 – All rights reserved

Key
1 measured quantities
2 input quantities
3 ideal response curve
linearization of the response curve of Figure 2
5 line from which the amplification coefficient α (slope) is derived
6 local residual correction error
Figure 3 — Example of linearization of response curve
3.1.9
instrument noise
N
I
internal noise added to the output signal caused by the instrument if ideally placed in a noise-free
environment
Note 1 to entry: Internal noise can be due to electronic noise, as e.g. amplifiers, or to optical noise, as e.g. stray
light.
Note 2 to entry: This noise typically has high frequencies and it limits the ability of the instrument to detect small
scale spatial wavelengths of the surface texture.
Note 3 to entry: The S-filter according ISO 25178-3 may reduce this noise.
Note 4 to entry: For some instruments, instrument noise cannot be estimated because the instrument only takes
data while moving.
3.1.10
measurement noise
N
M
noise added to the output signal occurring during the normal use of the instrument
Note 1 to entry: Notes 2 and 3 of 3.1.9 apply as well to this definition.
Note 2 to entry: Measurement noise includes the instrument noise.
3.1.11
surface topography repeatability
repeatability of topography map in successive measurements of the same surface under the same
conditions of measurement
Note 1 to entry: Surface topography repeatability provides a measure of the likely agreement between repeated
measurements normally expressed as a standard deviation
[1]
Note 2 to entry: See VIM, 2.15 and 2.21, for a general discussion of repeatability and related concepts.
Note 3 to entry: Evaluation of surface topography repeatability is a common method for determining the
measurement noise.
3.1.12
sampling interval in x [y]
D [D ]
x y
distance between two adjacent measured points along the x- [y-] axis
Note 1 to entry: In many microscopy systems the sampling interval is determined by the distance between
sensor elements in a camera, called pixels. For such systems, the terms pixel pitch and pixel spacing are often used
interchangeably with the term sampling interval. Another term, pixel width, indicates a length associated with
one side (x or y) of the sensitive area of a single pixel and is always smaller than the pixel spacing. Yet another
term, sampling zone, may be used to indicate the length or region over which a height sample is determined. This
quantity could either be larger or smaller than the sampling interval.
3.1.13
digitisation step in z
D
Z
smallest height variation along the z-axis between two ordinates of the extracted surface
3.1.14
lateral resolution
R
l
smallest distance between two features which can be detected
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.10]
3.1.15
width limit for full height transmission
W
l
width of the narrowest rectangular groove whose measured height remains unchanged by the
measurement
Note 1 to entry: Instrument properties such as

—  the sampling interval in x and y,

—  the digitisation step in z, and

—  the short wavelength cut-off filter

should be chosen so that they do not influence the lateral resolution and the width limit for full height transmission.
Note 2 to entry: When determining this parameter by measurement, the depth of the rectangular groove should
be close to that of the surface to be measured.
Note 3 to entry: An example is the measuring of a grid for which the grooves are wider than the width limit for full
height transmission. This leads to a correct measurement of the groove depth (see Figures 4 and 5).
6 © ISO 2014 – All rights reserved

Note 4 to entry: Another example is the measuring of a grid for which the grooves are narrower than the width
limit for full height transmission. This leads to an incorrect groove depth (see Figures 6 and 7). In this situation, the
signal is generally disturbed and may contain non-measured points.
[ISO 25178-601:2010, 3.4.11, modified — The original notes have been replaced.]
Figure 4 — Grid with horizontal spacing and t greater than or equal to W
l
Figure 5 — Measurement of grid in Figure 4 — Spacing and depth of grid measured correctly
Figure 6 — Grid with horizontal spacing and t′ smaller than W
l
Figure 7 — Measurement of grid in Figure 6 — Spacing measured correctly but depth smaller
(d’ < d)
3.1.16
lateral period limit
D
LIM
spatial period of a sinusoidal profile at which the height response of an instrument falls to 50 %
Note 1 to entry: The lateral period limit is one metric for describing spatial or lateral resolution of a surface
topography measuring instrument and its ability to distinguish and measure closely spaced surface features. Its
value depends on the heights of surface features and on the method used to probe the surface. Maximum values
for this parameter are listed in ISO 25178-3:2012, Table 3, in comparison with recommended values for short
wavelength (s-)filters and sampling intervals.
Note 2 to entry: Spatial period is the same concept as spatial wavelength and is the inverse of spatial frequency.
Note 3 to entry: One factor related to the value of D for optical tools is the Rayleigh criterion (3.3.7). Another is
LIM
the degree of focus of the objective on the surface.
Note 4 to entry: One factor related to the value of D for contact tools is the stylus tip radius, r (see
LIM TIP
ISO 25178-601).
Note 5 to entry: Other terms related to lateral period limit are structural resolution and topographic spatial
resolution
3.1.17
maximum local slope
greatest local slope of a surface feature that can be assessed by the probing system
Note 1 to entry: The term local slope is defined in ISO 4287:1997, 3.2.9.
3.1.18
instrument transfer function
ITF
f
ITF
function of spatial frequency describing how a surface topography measuring instrument responds to
an object surface topography having a specific spatial frequency
Note 1 to entry: Ideally, the ITF tells us what the measured amplitude of a sinusoidal grating of a specified spatial
frequency, ν, would be relative to the true amplitude of the grating.
Note 2 to entry: For several types of optical instruments, the ITF may be a nonlinear function of height except for
heights much smaller than the optical wavelength.
3.1.19
hysteresis
x , y , z
HYS HYS HYS
property of measuring equipment or characteristic whereby the indication of the equipment or value of
the characteristic depends on the orientation of the preceding stimuli
Note 1 to entry: Hysteresis can also depend, for example, on the distance travelled after the orientation of stimuli
has changed.
Note 2 to entry: For lateral scanning systems, the hysteresis is mainly a repositioning error.
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.24]
3.1.20
metrological characteristic
characteristic of measuring equipment, which may influence the results of
measurement
Note 1 to entry: Calibration of metrological characteristics may be necessary.
Note 2 to entry: The metrological characteristics have an immediate contribution to measurement uncertainty.
8 © ISO 2014 – All rights reserved

Note 3 to entry: Metrological characteristics for areal surface texture measuring instruments are given in Table 1.
[ISO 14978:2006, 3.12, modified — The original notes have been replaced.]
Table 1 — List of metrological characteristics for surface texture measurement methods
Main potential
Metrological characteristic Symbol Definition
error along
Amplification coefficient α , α , α 3.1.8 (see Figure 3) x, y, z
x y z
Linearity deviation l , l , l Maximum local difference between x, y, z
x y z
the line from which the amplification
coefficient is derived (see Figure 3, key
item 5) and the response curve (see
Figure 3, key item 4)
Residual flatness z Flatness of the areal reference z
FLT
Measurement noise N 3.1.10 z
M
Lateral period limit D 3.1.16 z
LIM
Perpendicularity Δ Deviation from 90° of the angle x, y
PERxy
between the x- and y-axes
3.2 Terms and definitions related to x- and y-scanning systems
3.2.1
areal reference guide
component(s) of the instrument that generate(s) the reference surface, in which the probing system
moves relative to the surface being measured according to a theoretically exact trajectory
Note 1 to entry: Note to entry: In the case of x- and y-scanning areal surface texture measuring instruments, the
areal reference guide establishes a reference surface [ISO 25178-2:2012, 3.1.8]. It can be achieved through the use
of two linear and perpendicular reference guides [ISO 3274:1996, 3.3.2] or one reference surface guide.
3.2.2
lateral scanning system
system that performs the scanning of the surface to be measured in the (x,y) plane
Note 1 to entry: There are essentially four aspects to a surface texture scanning instrument system: the x-axis
drive, the y-axis drive, the z-measurement probe and the surface to be measured. There are different ways in
which these may be configured and thus there will be a difference between different configurations as explained
in Table 2.
Note 2 to entry: When a measurement consists of a single field of view of a microscope, x- and y-scanning is not
used. However, when several fields of view are linked together by stitching methods [2], the system is considered
to be a scanning system.
Table 2 — Possible different configurations for reference guides (x and y)
Drive unit
Two reference guides (x and y) One areal reference guide
Px o Cy Px o Py Cx o Cy Pxy Cxy
A: without arcuate
Px o Cy-A Px o Py-A Cx o Cy-A Pxy-A Cxy-A
error correction
Probing
S: without arcuate
system
error or with arcuate Px o Cy-S Px o Py-S Cx o Cy-S Pxy-S Cxy-S
error corrected
For two given functions, f and g, f o g is the combination of these functions.
Px = probing systems moving along the x-axis
Py = probing systems moving along the y-axis
Cx = component moving along the x-axis
Cy = component moving along the y-axis
3.2.3
drive unit x [y]
component of the instrument that moves the probing system or the surface being measured along the
reference guide on the x-axis [y-axis] and returns the horizontal position of the measured point in terms
of the lateral x-coordinate [y-coordinate] of the profile
3.2.4
lateral posi
...


NORME ISO
INTERNATIONALE25178-605
Première édition
2014-02-01
Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 605:
Caractéristiques nominales des
instruments sans contact (capteur
autofocus à point)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus
probe) instruments
Numéro de référence
©
ISO 2014
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© ISO 2014
Droits de reproduction réservés. Sauf indication contraire, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée
sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .vi
1 Domaine d’application .1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions .1
3.1 Termes et définitions en rapport avec toutes les méthodes de mesure de l’état de
surface surfacique . 2
3.2 Termes et définitions en rapport avec les systèmes de scanning x et y .10
3.3 Termes et définitions en rapport avec les systèmes optiques .12
3.4 Termes et définitions en rapport avec les propriétés optiques de la pièce .13
3.5 Termes et définitions spécifiques à la profilométrie par autofocus à point .14
4 Descriptions des grandeurs d’influence .15
4.1 Généralités .15
4.2 Grandeurs d’influence.16
Annexe A (informative) Principes généraux .17
Annexe B (informative) Taille du spot et déplacement focal .21
Annexe C (informative) Direction du décalage du faisceau et pente locale maximale acceptable .24
Annexe D (informative) Caractéristiques d’un instrument de mesure de l’état de
surface surfacique .27
Annexe E (informative) Autres: Point non mesuré (erreur d’autofocus) .29
Annexe F (informative) Relation avec la matrice GPS .30
Bibliographie .32
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/CEI, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2 (voir www.
iso.org/directives).
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou sur la liste ISO des déclarations de
brevets reçues (voir www.iso.org/brevets).
Les éventuelles appellations commerciales utilisées dans le présent document sont données pour
information à l’intention des utilisateurs et ne constituent pas une approbation ou une recommandation.
Pour une explication de la signification des termes et expressions spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation
de la conformité, aussi bien que pour des informations au sujet de l’adhésion de l’ISO aux principes de
l’OMC concernant les obstacles techniques au commerce (OTC) voir le lien suivant: Avant-propos —
Informations supplémentaires.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 213, Spécifications et vérification
dimensionnelles et géométriques des produits.
L’ISO 25178 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Spécification géométriques
des produits (GPS) — État de surface: Surfacique:
— Partie 1: Indication des états de surface
— Partie 2: Termes, définitions et paramètres d’états de surface
— Partie 3: Opérateurs de spécification
— Partie 6: Classification des méthodes de mesurage de l’état de surface
— Partie 70: Mesure matérialisées
— Partie 71: Étalons logiciels
— Partie 601: Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
— Partie 602: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
— Partie 603: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques
à glissement de franges)
— Partie 604: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques
par balayage à cohérence)
— Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (capteur autofocus à point)
— Partie 606: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à variation focale)
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— Partie 701: Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments à contact (à palpeur)
Les parties suivantes sont en préparation:
— Partie 72: Format de fichier XML x3p
L’étalonnage et les étalons de mesure pour les instruments sans contact, à capteur confocal chromatique
et microscopes interférométriques à glissement de franges, feront l’objet des futures Parties 702 et 703.
Une Partie 600 est prévue, qui comportera des dispositions communes aux autres parties du niveau 600
de l’ISO 25178. Une fois la Partie 600 soumise en tant que projet final de Norme internationale (FDIS),
les dispositions des autres parties du niveau 600 en redondance avec les dispositions de la Partie 600
en seront retirées.
Introduction
La présente partie de l’ISO 25178 est une norme traitant de la spécification géométrique des produits et
doit être considérée comme une norme GPS générale (voir l’ISO/TR 14638). Elle influence le maillon 5
des chaînes de normes concernant le profil de rugosité, le profil d’ondulation, le profil primaire et l’état
de surface surfacique.
Pour de plus amples informations sur la relation de la présente norme avec la matrice GPS, voir l’Annexe G.
Le schéma directeur ISO/GPS de l’ISO/TR 14638 donne une vue d’ensemble du système ISO/GPS
dont la présente norme fait partie intégrante. Les règles fondamentales de l’ISO/GPS indiquées dans
l’ISO 8015 s’appliquent à la présente norme et les règles de décision par défaut de l’ISO 14253-1
s’appliquent aux spécifications établies conformément à la présente norme, sauf indication contraire.
Le principe optique d’autofocus à point peut être mis en œuvre de diverses manières. La configuration
décrite dans le présent document comprend trois éléments de base: un système optique autofocus, un
mécanisme autofocus et un dispositif de commande électronique.
Ce type d’instrument est principalement conçu pour les mesurages surfaciques, mais est également
capable d’effectuer des mesurages de profil.
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques d’un profilomètre optique
utilisant un capteur autofocus à point pour le mesurage de l’état de surface surfacique.
Pour de plus amples informations sur la méthode par autofocus à point, voir l’Annexe A. La consultation
de cette annexe avant la lecture du corps principal peut aider à comprendre la présente norme.
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NORME INTERNATIONALE ISO 25178-605:2014(F)
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de
surface: Surfacique —
Partie 605:
Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(capteur autofocus à point)
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques d’un instrument sans contact
pour le mesurage de l’état de surface à l’aide d’un capteur autofocus à point.
2 Références normatives
Les documents suivants, en tout ou partie, sont référencés de manière normative dans le présent
document et sont indispensables à son application. Pour les références datées, seule l’édition citée
s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition du document de référence s’applique (y
compris les éventuels amendements).
ISO 4287:1997, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Méthode du profil —
Termes, définitions et paramètres d’état de surface
ISO 10360-1, Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification
périodique des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) — Partie 1: Vocabulaire
ISO 14406:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — Extraction
ISO 14978:2006, Spécification géométrique des produits (GPS) - Concepts et exigences généraux pour les
équipements de mesure GPS
ISO 25178-2:2012, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 2:
Termes, définitions et paramètres d’états de surface
ISO 25178-3:2012, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 3:
Opérateurs de spécification
ISO 25178-6:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 6:
Classification des méthodes de mesurage de l’état de surface
ISO 25178-601:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique —
Partie 601: Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
ISO 25178-602:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique —
Partie 602: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 4287, l’ISO 10360-1,
l’ISO 14406, l’ISO 14978, l’ISO 25178-2, l’ISO 25178-3, l’ISO 25178-6, l’ISO 25178-601, l’ISO 25178-602,
ainsi que les suivants s’appliquent.
3.1 Termes et définitions en rapport avec toutes les méthodes de mesure de l’état de
surface surfacique
3.1.1
référence surfacique
composant de l’instrument générant la surface de référence par rapport à laquelle la topographie de la
surface est mesurée
3.1.2
système de coordonnées de l’instrument
système d’axes (x,y,z) orthonormé de sens direct
Note 1 à l’article: Dans ce système, (x,y) est le plan constitué par la référence surfacique de l’instrument (il est à
noter que certains instruments optiques ne possèdent pas de guide surfacique physique).
Note 2 à l’article: Dans ce système, l’axe z est monté parallèle à l’axe optique et perpendiculaire au plan (x,y) pour
un instrument optique. L’axe z est dans le plan de la trajectoire du stylet et perpendiculaire au plan (x,y) pour un
instrument à stylet (voir Figure 1).
Note 3 à l’article: Normalement, l’axe X est l’axe d’avance et l’axe Y, celui de déplacement entre chaque profil (la
présente note est valable pour les instruments à balayage dans le plan horizontal).
Note 4 à l’article: Voir aussi système de coordonnées de spécification et système de coordonnées du mesurage, comme
définis dans l’ISO 25178-2:2012, 3.1.2, et l’ISO 25178-6:2010, 3.1.1, respectivement.
3.1.3
boucle de mesure
chaine fermée comprenant tous les composants connectant la pièce et le palpeur, par exemple le matériel
de positionnement, le dispositif de serrage de la pièce, la table de mesure, les unités d’avance et de
déplacement transversal, le système de palpage
Note 1 à l’article: Voir Figure 1. La boucle de mesure sera soumise à des perturbations extérieures et intérieures
qui influencent l’incertitude de mesure.
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Z
Y
X
Légende
1 système de coordonnées de l’instrument
2 boucle de mesure
Figure 1 — Système de coordonnées et boule de mesure de l’instrument
3.1.4
surface réelle d’une pièce
ensemble des éléments qui existent physiquement et séparent la totalité de la pièce de son environnement
[SOURCE: ISO 14660-1:1999, 2.4]
Note 1 à l’article: La surface réelle est une représentation mathématique de la surface qui est indépendante du
processus de mesurage.
Note 2 à l’article: Voir aussi surface mécanique, comme défini dans l’ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1, ou ISO 14406:2010,
3.1.1, et surface électromagnétique, comme défini dans l’ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2, ou ISO 14406:2010, 3.1.2.
Note 3 à l’article: La surface électromagnétique considérée pour un type d’instrument optique peut être différente
de la surface électromagnétique pour d’autres types d’instruments optiques.
3.1.5
palpeur de surface
dispositif convertissant la hauteur de la surface en un signal pendant le mesurage
Note 1 à l’article: Appelé «transducteur» dans les normes antérieures.
3.1.6
volume de mesure
étendue de l’instrument définie par les limites simultanées de toutes les coordonnées spatiales mesurées
par l’instrument
Note 1 à l’article: Pour les instruments mesurant l’état de surface surfacique, le volume de mesure est défini par:

—  l’étendue de mesure des unités d’avance x et à déplacement transversal y,
—  l’étendue de mesure du système de palpage z.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.1]
3.1.7
courbe de réponse
F , F , F
x y z
représentation graphique de la fonction décrivant la relation entre la grandeur réelle et la grandeur
mesurée
Note 1 à l’article: Voir Figure 2.
Note 2 à l’article: Une grandeur réelle en x (respectivement y ou z) correspond à une grandeur mesurée x
M
(respectivement y ou z ).
M M
Note 3 à l’article: La courbe de réponse peut être utilisée pour l’ajustage d’un système de mesure et la correction
des erreurs.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.2]
3.1.8
coefficient d’amplification
α , α , α
x y z
pente de la courbe de régression linéaire obtenue à partir de la courbe de réponse
Note 1 à l’article: Voir Figure 3.
Note 2 à l’article: Il y aura des coefficients d’amplification applicables aux grandeurs en x, y et z.
Note 3 à l’article: La réponse idéale est une ligne droite avec une pente égale à 1, signifiant que les valeurs du
mesurande sont égales aux valeurs des grandeurs d’entrée.
[1]
Note 4 à l’article: Voir aussi sensibilité (VIM , 4.12).
[ISO 25178-601:2010, 3.4.3, modifiée — La Note 4 a été ajoutée.]
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Légende
1 courbe de réponse
2 évaluation de l’écart de linéarité par approximation polynomiale
3 grandeurs mesurées
4 grandeurs d’entrée
Figure 2 — Exemple de courbe de réponse non linéaire
Légende
1 grandeurs mesurées
2 grandeurs d’entrée
3 courbe de réponse idéale
linéarisation de la courbe de réponse de la Figure 2
5 ligne à partir de laquelle le coefficient d’amplification α (pente) est dérivé
6 erreur locale résiduelle de correction
Figure 3 — Exemple de linéarisation d’une courbe de réponse
3.1.9
bruit de l’instrument
N
I
bruit interne ajouté au signal de sortie, causé par l’instrument lorsqu’il est placé de façon idéale dans un
environnement non générateur de bruit
Note 1 à l’article: Le bruit interne peut être dû au bruit électronique, tel que celui des amplificateurs, ou au bruit
optique, tel que celui de la lumière parasite.
Note 2 à l’article: Ce bruit a généralement des fréquences élevées et il limite la capacité de l’instrument à détecter
les longueurs d’onde spatiales à petite échelle de l’état de surface.
Note 3 à l’article: Le filtre S conforme à l’ISO 25178-3 peut réduire ce bruit.
Note 4 à l’article: Pour certains instruments, le bruit généré ne peut pas être estimé car l’instrument n’acquiert
des données que lorsqu’il est en mouvement.
3.1.10
bruit de mesure
N
M
bruit ajouté au signal de sortie, survenant pendant l’utilisation normale de l’instrument
Note 1 à l’article: Les notes 2 et 3 en 3.1.9 s’appliquent aussi à cette définition.
Note 2 à l’article: Le bruit de mesure inclut le bruit de l’instrument.
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3.1.11
répétabilité de la topographie d’une surface
répétabilité de la carte topographique lors de mesurages successifs de la même surface dans les mêmes
conditions de mesure
Note 1 à l’article: La répétabilité de la topographie d’une surface fournit une grandeur de l’accord probable entre
des mesurages répétés, normalement exprimée en écart-type.
[1]
Note 2 à l’article: Voir le VIM , 2.15 et 2.21, pour une discussion générale sur la répétabilité et les concepts sous-
jacents.
Note 3 à l’article: L’évaluation de la répétabilité de la topographie d’une surface est la méthode couramment
utilisée pour déterminer le bruit de mesure.
3.1.12
pas d’échantillonnage en x [y]
D [D ]
x y
distance entre deux points adjacents mesurés suivant l’axe x- ou -y
Note 1 à l’article: Dans de nombreux systèmes de microscopie, le pas d’échantillonnage est déterminé par la
distance entre les éléments capteurs d’une caméra, appelés pixels. Pour ces systèmes, les termes pas des pixels et
espacement des pixels sont souvent utilisés à la place du terme pas d’échantillonnage. Un autre terme, largeur de
pixel, désigne une longueur associée à un côté (x ou y) de la zone sensible d’un seul pixel et est toujours inférieure
à l’espacement des pixels. Un autre terme, zone d’échantillonnage, peut également être utilisé pour indiquer la
longueur ou région sur laquelle un échantillon de hauteur est déterminé. Cette grandeur pourrait être supérieure
ou inférieure au pas d’échantillonnage.
3.1.13
pas de numérisation en z
D
Z
plus petite variation de hauteur suivant l’axe z entre deux ordonnées de la surface extraite
3.1.14
résolution latérale
R
l
plus petite distance pouvant être détectée entre deux éléments de surface
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.10]
3.1.15
largeur limite pour une transmission de la hauteur totale
W
l
plus petite largeur de rainure rectangulaire dont la hauteur mesurée reste inchangée par le mesurage
Note 1 à l’article: Il convient de choisir les propriétés de l’instrument telles que:

—  le pas d’échantillonnage en x et en y,

—  le pas de numérisation en z, et

—  le filtre de coupure des longueurs d’onde courtes;

de sorte qu’elles n’influencent pas la résolution latérale et la largeur limite pour une transmission de la hauteur
totale.
Note 2 à l’article: Lors de la détermination de ce paramètre par mesurage, il convient que la profondeur de la
rainure rectangulaire soit proche de celle de la surface à mesurer.
Note 3 à l’article: Un exemple est le mesurage d’une grille dont les rainures sont plus larges que la largeur limite
pour une transmission de la hauteur totale. Cela conduit à un mesurage correct de la profondeur de rainure (voir
Figures 4 et 5).
Note 4 à l’article: Un autre exemple est mesurage d’une grille dont les rainures sont plus étroites que la largeur
limite pour une transmission de la hauteur totale. Cela conduit à un mesurage incorrect de la profondeur de rainure
(voir Figures 6 et 7). Dans cette situation, le signal est généralement perturbé et peut contenir des points non
mesurés.
[ISO 25178-601:2010, 3.4.11, modifiée — Les notes originales ont été remplacées.]
Figure 4 — Grille avec espacement horizontal où t est supérieur ou égal à W
l
Figure 5 — Mesurage de la grille de la Figure 4 — L’espacement et la profondeur de la grille sont
correctement mesurés
Figure 6 — Grille avec espacement horizontal où t’ est inférieur à W
l
Figure 7 — Mesurage de la grille de la Figure 6 — L’espacement est correctement mesuré mais
la profondeur est plus petite (d’ < d)
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3.1.16
période latérale limite
D
LIM
période spatiale d’un profil sinusoïdal à laquelle la réponse d’un instrument lors du mesurage de la
hauteur chute à 50 %
Note 1 à l’article: La période latérale limite est une grandeur de mesure utilisée pour décrire la résolution
spatiale ou latérale d’un instrument de mesure de topographie d’une surface, ainsi que sa capacité à distinguer
et mesurer les éléments de surface faiblement espacés. Sa valeur dépend de la hauteur des éléments de surface
et de la méthode de palpage utilisée sur la surface. Les valeurs maximales de ce paramètre sont indiquées dans
le Tableau 3 de l’ISO 25178-3:2012 en fonction des valeurs recommandées pour les filtres (S) de faible longueur
d’onde et des pas d’échantillonnage.
Note 2 à l’article: La période spatiale utilise le même concept que la longueur d’onde spatiale et correspond à
l’inverse de la fréquence spatiale.
Note 3 à l’article: Un facteur lié à la valeur de D pour les outils optiques est le critère de Rayleigh (3.3.7). Un
LIM
autre facteur est le degré de focalisation de l’objectif sur la surface.
Note 4 à l’article: Un facteur associé à la valeur de D pour les outils à contact est le rayon de la touche du stylet,
LIM
r (voir l’ISO 25178-601).
TIP
Note 5 à l’article: Les autres termes liés à la période latérale limite sont la résolution structurelle et la résolution
spatiale topographique
3.1.17
pente locale maximale
pente locale la plus raide d’un élément de la surface pouvant être évaluée par le système de palpage
Note 1 à l’article: Le terme «pente locale» est défini dans l’ISO 4287:1997, 3.2.9.
3.1.18
fonction de transfert d’un instrument
ITF
f
ITF
fonction de fréquence spatiale décrivant la réponse d’un instrument de mesure de topographie d’une
surface, à une topographie de surface d’un objet ayant une fréquence spatiale spécifique
Note 1 à l’article: De façon idéale, la valeur ITF indique l’amplitude qui serait mesurée pour une grille sinusoïdale
d’une fréquence spatiale spécifiée, υ, par rapport à l’amplitude réelle de la grille.
Note 2 à l’article: Pour plusieurs types d’instruments optiques, la valeur ITF peut être une fonction non linéaire de
la hauteur, sauf pour les hauteurs nettement inférieures à la longueur d’onde optique.
3.1.19
hystérésis
x , y , z
HYS HYS HYS
propriété d’un équipement de mesure ou d’une caractéristique dont l’indication, lorsqu’il s’agit d’un
équipement de mesure, ou la valeur, lorsqu’il s’agit d’une caractéristique, dépend de l’orientation des
signaux d’entrée
Note 1 à l’article: L’hystérésis peut également dépendre, par exemple, de la longueur du déplacement après
modification de l’orientation des signaux d’entrée.
Note 2 à l’article: Pour les systèmes de scanning latéral, l’hystérésis est principalement une erreur de
repositionnement.
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.24]
3.1.20
caractéristique métrologique
<équipement de mesure> caractéristique susceptible d’avoir une influence sur les résultats de mesurage
Note 1 à l’article: L’étalonnage des caractéristiques métrologiques peut être nécessaire.
Note 2 à l’article: Les caractéristiques métrologiques ont une contribution immédiate à l’incertitude de mesure.
Note 3 à l’article: Les caractéristiques métrologiques des instruments de mesure de l’état de surface surfacique
sont données dans le Tableau 1.
[ISO 14978:2006, 3.12, modifiée — Les notes originales ont été remplacées.]
Tableau 1 — Liste des caractéristiques métrologiques pour les méthodes de mesure de l’état de
surface
Caractéristique métrologique Symbole Définition Erreur poten-
tielle principale
suivant l’axe
Coefficient d’amplification α , α , α 3.1.8 (voir Figure 3) x, y, z
x y z
Écart de linéarité l , l , l Écart local maximal entre la droite qui sert x, y, z
x y z
à déterminer le coefficient d’amplification
(voir Figure 3, point 5) et la courbe de
réponse (voir Figure 3, point 4)
Planéité résiduelle z Planéité de la référence surfacique z
FLT
Bruit de mesure N 3.1.10 z
M
Période latérale limite D 3.1.16 z
LIM
Perpendicularité Δ Écart par rapport à 90° de l’angle entre les x, y
PERxy
axes x et y
3.2 Termes et définitions en rapport avec les systèmes de scanning x et y
3.2.1
référence de guidage surfacique
composant(s) de l’instrument générant la surface de référence, sur laquelle le système de palpage se
déplace suivant une trajectoire théoriquement exacte par rapport à la surface mesurée
Note 1 à l’article: Dans le cas d’instruments de mesure de l’état de surface surfacique par scanning x et y, la
référence de guidage surfacique fournit une surface de référence [ISO 25178-2:2012, 3.1.8]. Elle peut être obtenue
en utilisant deux références de guidage linéaire et perpendiculaire [ISO 3274:1996, 3.3.2] ou une référence de
guidage surfacique.
3.2.2
système de scanning latéral
système réalisant le balayage de la surface à mesurer dans le plan (x,y)
Note 1 à l’article: Il existe essentiellement quatre composants à considérer dans un instrument de mesure de l’état
de surface à contact: l’unité d’avance (x), l’unité à déplacement transversal ( y), le palpeur de mesure de la hauteur
(z) et la surface à mesurer. Ces composants peuvent être configurés de différentes manières et les différentes
configurations présenteront donc des différences, comme l’explique le Tableau 2.
Note 2 à l’article: Lorsqu’un mesurage comprend un champ de vision unique d’un microscope, le scanning x et y
[2]
n’est pas utilisé. En revanche, lorsque plusieurs champs de vision sont assemblés par des méthodes de stitching,
le système est assimilé à un système de scanning.
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Tableau 2 — Différentes configurations possibles des références de guidage (x et y)
Unités d’avance et à déplacement transversal
Deux références de guidage Une référence de guidage
(x et y) surfacique
Px o Cy Px o Py Cx o Cy Pxy Cxy
A: sans correction de
l’erreur de distorsion Px o Cy-A Px o Py-A Cx o Cy-A Pxy-A Cxy-A
Système
d’arc
de pal-
S: avec ou sans cor-
page
rection de l’erreur de Px o Cy-S Px o Py-S Cx o Cy-S Pxy-S Cxy-S
distorsion d’arc
Pour deux fonctions données f et g, f o g est la combinaison de ces fonctions
.
Px = systèmes de palpage se déplaçant suivant l’axe x
Py = systèmes de palpage se déplaçant suivant l’axe y
Cx = composant se déplaçant suivant l’axe x
Cy = composant se déplaçant suivant l’axe y
3.2.3
unité d’avance x [à déplacement transversal y]
composant de l’instrument déplaçant le système de palpage ou la surface mesurée su
...

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