Vapour vacuum pumps - Measurement of performance characteristics - Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping speed)

The measurements deal with diffusion pumps, ejector pumps, and booster pumps, i.e. pumps capable of operation in both the molecular and laminar flow regions.

Pompes à vide à jet de vapeur — Mesurage des caractéristiques fonctionnelles — Partie 1: Mesurage du débit-volume

General Information

Status
Published
Publication Date
24-Nov-1993
Technical Committee
ISO/TC 112 - Vacuum technology
Current Stage
9092 - International Standard to be revised
Start Date
26-Nov-2024
Completion Date
13-Dec-2025

Relations

Effective Date
15-Apr-2008

Overview

ISO 1608-1:1993 - Vapour vacuum pumps - Measurement of performance characteristics - Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping speed) specifies standardized methods for measuring the volume rate of flow (pumping speed) of vapour vacuum pumps. It covers diffusion pumps, ejector pumps and booster pumps (capable of operation in both molecular and laminar flow regions). The standard aims to ensure uniform test procedures and comparable performance data across manufacturers and laboratories.

Key topics and requirements

  • Scope and pump types: Applies to oil- and mercury-vapour diffusion, ejector and booster pumps (with or without baffles/traps).
  • Definition: Pumping speed S is defined as S = Q / P (throughput Q divided by equilibrium pressure P). Ideal gas behavior at 20 °C is assumed.
  • Test method: Uses the constant-pressure method - maintain a stable pressure in a test dome while measuring gas throughput. Measurements proceed point-by-point from the lowest pressures upward (minimum five pressure points recommended).
  • Test dome and geometry: A cylindrical test dome with axial dimension 1.5·D (D = internal diameter); gas inlet located on axis at distance D from the pump flange; pressure gauge connection at 0.5·D perpendicular to dome axis. The dome internal diameter equals the pump mouth or inlet plane.
  • Instrumentation and accuracy: Pressure gauges calibrated to specified accuracies (e.g., ±5% for pressures ≥ 1 Pa and ±10% for lower pressures). Throughput measuring device accuracy varies by throughput range (examples in the standard: ±3% for >9.9×10⁻⁷ Pa·m³/s, ±5% for intermediate ranges, ±10% for lowest throughputs). Dry air is the default test gas.
  • Test conditions: Pump must be run with specified fluid charge and heating power; ambient temperature controlled to ±1 °C (15–25 °C); allow pump/dome to reach equilibrium before recording.
  • Reporting: Results graphed as pumping speed vs inlet pressure (logarithmic pressure axis, linear S axis) and throughput vs pressure (log–log), with full test-report details (gauges used, gasket type, baffles/traps and temperatures, fluid type/quantity, backing pump info, temperatures, flowrates, etc.).

Applications and users

  • Manufacturers: performance characterization, product datasheets, quality control.
  • Independent test laboratories: acceptance testing and certification of pumping speed.
  • System designers and purchasers: compare pump performance for vacuum systems, select appropriate diffusion/ejector/booster pumps.
  • R&D and maintenance teams: baseline measurements, fault diagnosis and verification after repairs or modifications.

Related standards

  • ISO 1608-2: Measurement of critical backing pressure (companion part of the ISO 1608 series) - for complementary performance data.

Keywords: ISO 1608-1:1993, vapour vacuum pumps, pumping speed, measurement of volume rate of flow, diffusion pump test, ejector pump test, booster pump performance, vacuum pump testing.

Standard

ISO 1608-1:1993 - Vapour vacuum pumps -- Measurement of performance characteristics

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ISO 1608-1:1993 - Pompes a vide a jet de vapeur -- Mesurage des caractéristiques fonctionnelles

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ISO 1608-1:1993 - Pompes a vide a jet de vapeur -- Mesurage des caractéristiques fonctionnelles

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Frequently Asked Questions

ISO 1608-1:1993 is a standard published by the International Organization for Standardization (ISO). Its full title is "Vapour vacuum pumps - Measurement of performance characteristics - Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping speed)". This standard covers: The measurements deal with diffusion pumps, ejector pumps, and booster pumps, i.e. pumps capable of operation in both the molecular and laminar flow regions.

The measurements deal with diffusion pumps, ejector pumps, and booster pumps, i.e. pumps capable of operation in both the molecular and laminar flow regions.

ISO 1608-1:1993 is classified under the following ICS (International Classification for Standards) categories: 23.160 - Vacuum technology. The ICS classification helps identify the subject area and facilitates finding related standards.

ISO 1608-1:1993 has the following relationships with other standards: It is inter standard links to ISO 1608-1:1980. Understanding these relationships helps ensure you are using the most current and applicable version of the standard.

ISO 1608-1:1993 is available in PDF format for immediate download after purchase. The document can be added to your cart and obtained through the secure checkout process. Digital delivery ensures instant access to the complete standard document.

Standards Content (Sample)


INTERNATIONAL
ISO
STANDARD
1608-1
Second edition
1993-12-01
Vapour vacuum Pumps - Measurement
of Performance characteristics -
Part 1:
Measurement of volume rate of flow
(pumping Speed)
Pompes 2 vide 2 jet de vapeur
- Mesurage des caracthristiques
fonctionnelles -
Partie 1: Mesurage du debit-volume
Reference number
ISO 1608-1 :1993(E)
ISO 1608=1:1993(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide
federation of national Standards bodies (ISO member bodies). The work
of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Esch member body interested in a subject for
which a technical committee has been established has the right to be
represented on that committee. International organizations, governmental
and non-governmental, in liaison with ISO, also take patt in the work. ISO
collaborates closely with the International Electrotechnical Commission
(IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
Draft International Standards adopted by the technical committees are
circulated to the member bodies for voting. Publication as an International
Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting
a vote.
International Standard ISO 1608-1 was prepared by Technical Committee
lSO/TC 112, Vacuum technology, Sub-Committee SC 3, Measurement of
the Performance characteristics of vacuum Pumps.
This second edition cancels and replaces the first edition
(ISO 1608-1:1980), which has been technically revised.
ISO 1608 consists of the following Parts, under the general title Vapour
vacuum Pumps - Measurement of Performance characteristics:
- Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping Speed)
- Part 2: Measurement of critical backing pressure
0 ISO 1993
All rights reserved. No part of this publication may be reproduced or utilized in any form or
by any means, electronie or mechanical, including photocopying and microfilm, without per-
mission in writing from the publisher.
International Organization for Standardization
Case Postale 56 l CH-l 211 Geneve 20 l Switzerland
Printed in Switzerland
ISO 160891:1993(E)
The purpose of ISO 1608 is to ensure that measurements of the per-
formante characteristics of vapour vacuum Pumps are, as far as possible,
carried out by uniform procedures and under uniform conditions. lt is
hoped that, as a result, measurements conducted by different manufac-
turers or in different laboratories, and Statements of Performance quoted
in manufacturers’ literature will be on a properly comparable basis to the
benefit of both user and manufacturer.
lt is envisaged that the complete International Standard will, in due course,
deal comprehensively with the measurement sf a wide range of perform-
ante characteristics of the main types of vapour vacuum Pumps. In Order,
however, that useful agreements of more restricted scope may be im-
plemented with the least possible delay, ISO 1608 is published in Parts.
. . .
Ill
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INTERNATIONAL STANDARD
ISO 1608=1:1993(E)
Vapour vacuum Pumps -
Measurement of
Performance characteristics -
Part 1:
Measurement of volume rate of flow (pumping Speed)
(I/s). For vapour Pumps this form of expression of
1 Scope
volume rate of flow is considered to be valid only if p
exceeds 10po where po is the ultimate pressure
This part of ISO 1608 specifies methods of measuring
measured by means of the same gauge (see 3.2).
the volume rate of flow of vapour vacuum Pumps.
2.2 test dome; test header: A chamber of specific
The Pumps considered comprise the following three
classes of oil and mercury vapour Pumps: form and dimensions, attached to the inlet of the
pump, through which a measured flow of gas may be
- diffusion Pumps; admitted to the pump, and which is equipped with
means of pressure measurement.
- ejector Pumps;
2.3 ultimate pressure: Limiting pressure ap-
- booster Pumps (i.e. Pumps capable of Operation in proached asymptotically in the dome, with the gas
both the molecular and laminar flow regions, so inlet valve closed and the pump in normal Operation.
combining the properties of diffusion and ejector
pumps).
3 Apparatus
These Pumps may be with or without baffle(s) or
3.1 Test dome, cylindrical and of the form shown in
trap(s).
figure 1. The axial dimension of the dome is 1,5D,
where D is the internal diameter, and the test gas
entrance is on the axis at a distance D from the con-
2 Definitions
necting flange and so arranged that the gas entrance
into the dome is in a direction away from the pump
For the purposes of this part of ISO 1608, the follow-
mouth. The connection to the pressure-measuring
ing definitions apply.
gauge is at a distance 0,5D from the connecting
flange with its axis perpendicular to that of the dome.
2.1 volume rate of flow; pumping Speed: Under
The axis of the test dome shall be perpendicular to
ideal conditions, the volume of gas which flows in unit
the plane of the inlet flange (or inlet) of the pump.
time through the pump inlet.
The internal diameter of the test dome shall be the
For practical purposes, howeve
...


NORME
ISO
INTERNATIONALE
1608-I
Deuxième édition
1993-12-01
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage
des caractéristiques fonctionnelles -
Partie 1:
Mesurage du débit-volume
Vapour vacuum pumps - Measurement of performance
charac teris tics -
Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping speed)
Numéro de référence
ISO 1608-I :1993(F)
ISO 1608=1:1993(F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fedération
mondiale d’organismes nationaux de normalisation (comités membres de
I’ISO). L’élaboration des Normes internationales est en général confiée aux
comités techniques de I’ISO. Chaque comite membre interesse par une
étude a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les
organisations internationales, gouvernementales et non gouvernemen-
tales, en liaison avec I’ISO participent également aux travaux. L’ISO colla-
bore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI)
en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les projets de Normes internationales adoptes par les comités techniques
sont soumis aux comités membres pour vote. Leur publication comme
Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des co-
mites membres votants.
La Norme internationale ISO 1608-l a été élaboree par le comité techni-
que lSO/TC 112, Technique du vide, sous-comité SC 3, Mesure des ca-
ractéristiques des pompes 8 vide.
Cette deuxieme edition annule et remplace la Premiere édition
(ISO 1608-l :1980), dont elle constitue une révision technique.
L’ISO 1608 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre gé-
néral Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des caractéristiques
fonctionnelles:
- Partie 1: Mesurage du débit-volume
- Partie 2: Mesurage de la pression critique de refoulement
0 ISO 1993
Droits de reproduction réservés. Aucune partie de cette publication ne peut être reproduite
ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie et les microfilms, sans l’accord écrit de l’éditeur.
Organisation internationale de normalisation
Case Postale 56 l CH-l 211 Genève 20 0 Suisse
Imprimé en Suisse
ii
Introduction
L’ISO 1608 a pour objet d’assurer que le mesurage des caractéristiques
fonctionnelles des pompes à vide à jet de vapeur est effectué, dans toute
la mesure du possible, selon des procédés et dans des conditions unifor-
mes. Le résultat souhaité est que les mesurages effectués par différents
fabricants ou dans différents laboratoires, ainsi que les indications
concernant le fonctionnement, fournies dans la documentation des fabri-
cants, soient bien comparables, tant au profit de l’utilisateur que du fabri-
cant.
II est envisagé que la Norme internationale complète englobe, en temps
voulu, tous les mesurages d’une large gamme des caractéristiques fonc-
tionnelles des principaux types de pompes à vide à jet de vapeur. Toute-
fois, pour pouvoir, dans le plus bref délai possible, obtenir des accords
utiles dans un domaine plus restreint, I’ISO 1608 est publiée en plusieurs
parties.
Page blanche
NQRME INTERNATICI ISO 1608-1:1993(F)
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles -
Partie 1:
Mesurage du débit-volume
détermine dans un dôme d’essai donne et dans des
1 Domaine d’application
conditions de fonctionnement déterminées:
La présente partie de I’ISO 1608 prescrit les métho-
S = Q/P
des de mesurage du debit-volume des pompes à vide
à jet de vapeur.
Les unités adoptées pour le débit-volume sont le
mètre cube par heure (m3/h) ou le litre par seconde
Les pompes considérées comprennent les trois clas-
(I/s). Pour les pompes à vide à jet de vapeur, cette
ses suivantes de pompes à jet de vapeur d’huile et
façon d’exprimer le débit-volume est considérée
de mercure:
comme valable seulement si p est supérieur à 10po
où p. est la pression limite mesurée à l’aide du même
- pompes à diffusion;
manomètre (3.2).
- pompes à éjecteurs;
2.2 dôme d’essai: Enceinte de forme et de dimen-
sions déterminées, fixée à l’entrée de la pompe, par
- pompes intermédiaires à jet de vapeur (c’est-à-dire
laquelle un débit mesure de gaz peut être admis dans
des pompes pouvant fonctionner à la fois dans des
la pompe, et qui est munie d’appareils de mesurage
zones d’écoulement moléculaire et laminaire, ré-
de la pression.
unissant ainsi les caractéristiques des pompes à
diffusion et à éjecteurs).
2.3 pression limite: Valeur vers laquelle tend
asymptotiquement la pression dans le dôme, le robi-
Ces pompes peuvent être équipées ou non de
net d’admission du gaz étant fermé et la pompe
baffle(s) ou de piège(s).
fonctionnant normalement.
3 Appareillage
3.1 Dôme d’essai, de forme cylindrique, tel que re-
2 Définitions présenté sur la figure 1. La hauteur du dôme, selon
son axe, est égale à 1,50 (D étant le diamètre inte-
rieur); l’entrée du gaz d’essai dans le dôme se trouve
Pour les besoins de la présente partie de I’ISO 1608,
sur l’axe à une distance D de la bride de raccordement
les définitions suivantes s’appliquent.
et est placée de façon qu’elle soit dans la direction
s’éloignant de l’orifice d’admission de la pompe. Le
2.1 débit-volume: Dans des conditions idéales, vo-
raccordement au manomètre de mesurage de la
lume de gaz s’écoulant en une unité de temps par
pression se trouve à une distance de 0,5O de la bride
l’orifice d’admission de la pompe.
de raccordement, son axe étant perpendiculaire à ce-
lui du dôme. L’axe du dôme d’essai doit être perpen-
Toutefois, pour des raisons pratiques, le dé
...


NORME
ISO
INTERNATIONALE
1608-I
Deuxième édition
1993-12-01
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage
des caractéristiques fonctionnelles -
Partie 1:
Mesurage du débit-volume
Vapour vacuum pumps - Measurement of performance
charac teris tics -
Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping speed)
Numéro de référence
ISO 1608-I :1993(F)
ISO 1608=1:1993(F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fedération
mondiale d’organismes nationaux de normalisation (comités membres de
I’ISO). L’élaboration des Normes internationales est en général confiée aux
comités techniques de I’ISO. Chaque comite membre interesse par une
étude a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les
organisations internationales, gouvernementales et non gouvernemen-
tales, en liaison avec I’ISO participent également aux travaux. L’ISO colla-
bore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI)
en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les projets de Normes internationales adoptes par les comités techniques
sont soumis aux comités membres pour vote. Leur publication comme
Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des co-
mites membres votants.
La Norme internationale ISO 1608-l a été élaboree par le comité techni-
que lSO/TC 112, Technique du vide, sous-comité SC 3, Mesure des ca-
ractéristiques des pompes 8 vide.
Cette deuxieme edition annule et remplace la Premiere édition
(ISO 1608-l :1980), dont elle constitue une révision technique.
L’ISO 1608 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre gé-
néral Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des caractéristiques
fonctionnelles:
- Partie 1: Mesurage du débit-volume
- Partie 2: Mesurage de la pression critique de refoulement
0 ISO 1993
Droits de reproduction réservés. Aucune partie de cette publication ne peut être reproduite
ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie et les microfilms, sans l’accord écrit de l’éditeur.
Organisation internationale de normalisation
Case Postale 56 l CH-l 211 Genève 20 0 Suisse
Imprimé en Suisse
ii
Introduction
L’ISO 1608 a pour objet d’assurer que le mesurage des caractéristiques
fonctionnelles des pompes à vide à jet de vapeur est effectué, dans toute
la mesure du possible, selon des procédés et dans des conditions unifor-
mes. Le résultat souhaité est que les mesurages effectués par différents
fabricants ou dans différents laboratoires, ainsi que les indications
concernant le fonctionnement, fournies dans la documentation des fabri-
cants, soient bien comparables, tant au profit de l’utilisateur que du fabri-
cant.
II est envisagé que la Norme internationale complète englobe, en temps
voulu, tous les mesurages d’une large gamme des caractéristiques fonc-
tionnelles des principaux types de pompes à vide à jet de vapeur. Toute-
fois, pour pouvoir, dans le plus bref délai possible, obtenir des accords
utiles dans un domaine plus restreint, I’ISO 1608 est publiée en plusieurs
parties.
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NQRME INTERNATICI ISO 1608-1:1993(F)
Pompes à vide à jet de vapeur - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles -
Partie 1:
Mesurage du débit-volume
détermine dans un dôme d’essai donne et dans des
1 Domaine d’application
conditions de fonctionnement déterminées:
La présente partie de I’ISO 1608 prescrit les métho-
S = Q/P
des de mesurage du debit-volume des pompes à vide
à jet de vapeur.
Les unités adoptées pour le débit-volume sont le
mètre cube par heure (m3/h) ou le litre par seconde
Les pompes considérées comprennent les trois clas-
(I/s). Pour les pompes à vide à jet de vapeur, cette
ses suivantes de pompes à jet de vapeur d’huile et
façon d’exprimer le débit-volume est considérée
de mercure:
comme valable seulement si p est supérieur à 10po
où p. est la pression limite mesurée à l’aide du même
- pompes à diffusion;
manomètre (3.2).
- pompes à éjecteurs;
2.2 dôme d’essai: Enceinte de forme et de dimen-
sions déterminées, fixée à l’entrée de la pompe, par
- pompes intermédiaires à jet de vapeur (c’est-à-dire
laquelle un débit mesure de gaz peut être admis dans
des pompes pouvant fonctionner à la fois dans des
la pompe, et qui est munie d’appareils de mesurage
zones d’écoulement moléculaire et laminaire, ré-
de la pression.
unissant ainsi les caractéristiques des pompes à
diffusion et à éjecteurs).
2.3 pression limite: Valeur vers laquelle tend
asymptotiquement la pression dans le dôme, le robi-
Ces pompes peuvent être équipées ou non de
net d’admission du gaz étant fermé et la pompe
baffle(s) ou de piège(s).
fonctionnant normalement.
3 Appareillage
3.1 Dôme d’essai, de forme cylindrique, tel que re-
2 Définitions présenté sur la figure 1. La hauteur du dôme, selon
son axe, est égale à 1,50 (D étant le diamètre inte-
rieur); l’entrée du gaz d’essai dans le dôme se trouve
Pour les besoins de la présente partie de I’ISO 1608,
sur l’axe à une distance D de la bride de raccordement
les définitions suivantes s’appliquent.
et est placée de façon qu’elle soit dans la direction
s’éloignant de l’orifice d’admission de la pompe. Le
2.1 débit-volume: Dans des conditions idéales, vo-
raccordement au manomètre de mesurage de la
lume de gaz s’écoulant en une unité de temps par
pression se trouve à une distance de 0,5O de la bride
l’orifice d’admission de la pompe.
de raccordement, son axe étant perpendiculaire à ce-
lui du dôme. L’axe du dôme d’essai doit être perpen-
Toutefois, pour des raisons pratiques, le dé
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